[實用新型]聲波諧振器有效
| 申請號： | 201520355588.2 | 申請日： | 2015-05-28 |
| 公開（公告）號： | CN204810241U | 公開（公告）日： | 2015-11-25 |
| 發明（設計）人： | 楊清華;歐毅;賴亞明;吳光勝;陳慶;朱麗娜;其他發明人請求不公開姓名 | 申請（專利權）人： | 貴州中科漢天下電子有限公司 |
| 主分類號： | H03H9/17 | 分類號： | H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京漢昊知識產權代理事務所(普通合伙) 11370 | 代理人： | 馮譜 |
| 地址： | 556000 貴州省黔東南苗族侗族自治州凱*** | 國省代碼： | 貴州;52 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 聲波 諧振器 | ||
【權利要求書】：
1.一種聲波諧振器，該聲波諧振器包括：
基底；
聲反射層，該聲反射層形成于所述基底的表面或者位于所述基底上，該聲反射層的材料是多孔性材料；
下電極層，該下電極層位于所述聲反射層上；
壓電層，該壓電層位于所述下電極層上；
上電極層，該上電極層位于所述壓電層上。
2.根據權利要求1所述的聲波諧振器，其中：
所述多孔性材料是多孔硅或多孔氧化硅。
3.根據權利要求1所述的聲波諧振器，其中：
所述聲反射層的厚度范圍是10nm至1000μm。
4.根據權利要求1至3中任一項所述的聲波諧振器，其中：
所述多孔性材料的孔隙度的范圍是10％至90％。
5.根據權利要求1所述的聲波諧振器，其中：
所述基底的材料包括硅、氧化硅、石英、多孔硅、多孔氧化硅中的一種。
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