[實(shí)用新型]智能真空控制系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520353774.2
• 申請(qǐng)日: 2015-05-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204613731U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-09-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 范潤(rùn)龍;鄭瀛;龍濤;張玉海
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)地質(zhì)科學(xué)院地質(zhì)研究所
• 主分類(lèi)號(hào): G05B19/418
• 分類(lèi)號(hào): G05B19/418
• 代理公司: 北京市盛峰律師事務(wù)所 11337
• 代理人: 席小東

1.一種智能真空控制系統(tǒng)，其特征在于，包括：上位機(jī)、RS485控制板卡、RS232控制板卡、真空板閥控制器GVC、放氣閥控制器VVC、真空規(guī)控制器VGC、安裝在相鄰被控腔室之間的第1真空板閥GV、用于測(cè)量每個(gè)被控腔室的真空度的第1真空規(guī)VG、安裝在被控腔室與該被控腔室的前級(jí)真空獲取單元之間的第2真空板閥GV；其中，被控腔室的前級(jí)真空獲取單元包括串接的分子泵TP、第2真空規(guī)VG、放氣閥VV和機(jī)械泵RP；

所述上位機(jī)分別與所述RS485控制板卡的一端和所述RS232控制板卡的一端連接；

所述RS485控制板卡的另一端分別與所述真空板閥控制器GVC的一端、所述放氣閥控制器VVC的一端、所述分子泵TP和所述機(jī)械泵RP連接；所述真空板閥控制器GVC的另一端分別與所述第1真空板閥GV和所述第2真空板閥GV連接；所述放氣閥控制器VVC的另一端與所述放氣閥VV連接；

所述RS232控制板卡的另一端與所述真空規(guī)控制器VGC的一端連接；所述真空規(guī)控制器VGC的另一端分別與所述第1真空規(guī)VG和所述第2真空規(guī)VG連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的智能真空控制系統(tǒng)，其特征在于，所述RS485控制板卡為PXI-8433/4控制板卡；所述RS232控制板卡為PXI-8430/8控制板卡。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的智能真空控制系統(tǒng)，其特征在于，所述上位機(jī)通過(guò)NI?MXI?ExpressX4光纖分別與所述RS485控制板卡和所述RS232控制板卡連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的智能真空控制系統(tǒng)，其特征在于，所述真空板閥控制器GVC和所述放氣閥控制器VVC的結(jié)構(gòu)相同，均包括：n路遠(yuǎn)程繼電器、n路模擬量輸入電路、24V直流電源和12V直流電源；其中，n為自然數(shù)；

所述n路遠(yuǎn)程繼電器的輸入端與所述RS485控制板卡連接，所述n路遠(yuǎn)程繼電器的供電端與所述24V直流電源連接，所述n路遠(yuǎn)程繼電器和所述24V直流電源共同連接到被控閥體，用于控制被控閥體的開(kāi)啟或關(guān)閉狀態(tài)；

所述n路模擬量輸入電路的供電端與所述12V直流電源連接，所述n路模擬量輸入電路和所述12V直流電源共同連接到被控閥體，用于采集被控閥體的開(kāi)啟或關(guān)閉狀態(tài)；所述n路模擬量輸入電路的輸出端連接到所述RS485控制板卡。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的智能真空控制系統(tǒng)，其特征在于，n為8。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的智能真空控制系統(tǒng)，其特征在于，所述遠(yuǎn)程繼電器為ADAM?4168型號(hào)的遠(yuǎn)程繼電器；所述模擬量輸入電路為ADAM?4117型號(hào)的模擬量輸入電路。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的智能真空控制系統(tǒng)，其特征在于，還包括：不間斷電源；所述不間斷電源分別與所述上位機(jī)、所述RS485控制板卡和所述RS232控制板卡連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的智能真空控制系統(tǒng)，其特征在于，所述不間斷電源為10kVA不間斷電源。