[實用新型]一種預應力梁壓電振子

有效

• 申請號: 201520347609.6
• 申請日: 2015-05-26
• 公開（公告）號: CN204578401U
• 公開（公告）日: 2015-08-19
• 發明（設計）人: 吳越;王旭;涂前進
• 申請（專利權）人: 吉林大學
• 主分類號: H02N2/00
• 分類號: H02N2/00;H01L41/09
• 代理公司: 長春市四環專利事務所(普通合伙) 22103
• 代理人: 郭耀輝

1.一種預應力梁壓電振子，包括彈性基板(1)、壓電陶瓷(2)和基座(3)，其特征在于：所述彈性基板(1)為薄片型結構，所述彈性基板(1)包括懸臂連接區(13)、至少一個主懸臂(11)和至少兩個副懸臂(12)即第一副懸臂(121)與第二副懸臂(122)，所述第一副懸臂(121)和第二副懸臂(122)尺寸相同且關于懸臂連接區中軸線(131)對稱布置，所述主懸臂(11)與副懸臂(12)交錯布置在所述懸臂連接區(13)的同側；所述基座(3)包括下基座(31)和上基座(32)，所述下基座(31)中與前側面(315)垂直的上表面布置有沉槽，即主懸臂安裝槽(312)和副懸臂安裝槽(311)，所述副懸臂安裝槽(311)包括第一副懸臂安裝槽(3111)和第二副懸臂安裝槽(3112)，所述主懸臂安裝槽(312)和副懸臂安裝槽(311)與所述前側面(315)貫通且交錯布置，所述第一副懸臂安裝槽(3111)和第二副懸臂安裝槽(3112)尺寸相同且關于下基座中軸線(316)對稱布置，所述第一副懸臂安裝槽(3111)和第二副懸臂安裝槽(3112)的間距與所述第一副懸臂(121)和第二副懸臂(122)的間距相等，所述副懸臂安裝槽(311)為矩形且寬度和所述副懸臂(12)寬度相等，所述主懸臂安裝槽(312)為矩形且寬度與所述主懸臂(11)寬度相等，所述副懸臂安裝槽(311)中與所述前側面(315)平行的側面稱為副懸臂定位面(314)，所述主懸臂安裝槽(312)中與所述前側面(315)平行的側面稱為主懸臂定位面(313)，所述主懸臂定位面(313)和副懸臂定位面(314)之間的距離不等于所述主懸臂(11)和副懸臂(12)的長度差；所述主懸臂(11)布置在所述主懸臂安裝槽(312)內，主懸臂伸出末端面(111)和主懸臂定位面(313)配合，所述主懸臂(11)的下表面和主懸臂安裝槽(312)的底面配合連接，所述副懸臂(12)布置在副懸臂安裝槽(311)內，副懸臂伸出末端面(123)和副懸臂定位面(314)配合，所述副懸臂(12)的下表面和副懸臂安裝槽(311)的底面配合連接；所述上基座(32)為薄片型結構，所述上基座(32)的上表面為矩形且其中第一組對邊的間距大于所述彈性基板(1)的寬度，所述上基座(32)上表面第二組對邊之一所在的側面與下基座(31)的前側面(315)對齊布置；所述壓電陶瓷(2)為薄片型結構，所述壓電陶瓷(2)布置在所述主懸臂(11)表面上。

2.根據權利要求1所述一種預應力梁壓電振子，其特征在于：所述壓電陶瓷(2)可以布置在所述主懸臂(11)表面上，或布置在所述第一副懸臂(121)和第二副懸臂(122)表面上，或同時布置在所述主懸臂(11)、第一副懸臂(121)和第二副懸臂(122)表面上。

3.根據權利要求1所述一種預應力梁壓電振子，其特征在于：所述壓電陶瓷(2)與主懸臂(11)的布置方式采用一片壓電陶瓷(2)與主懸臂(11)粘接構成的單晶片結構，或同時在所述主懸臂(11)的第二面粘接第二片壓電陶瓷(2)構成雙晶片結構。