[實用新型]一種基于全反射的半導體激光器光束分割重排器件

有效

• 申請號: 201520343354.6
• 申請日: 2015-05-26
• 公開（公告）號: CN204858270U
• 公開（公告）日: 2015-12-09
• 發明（設計）人: 唐淳;余俊宏;郭林輝;吳華玲;顏昊;王昭;高松信;武德勇
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院應用電子學研究所
• 主分類號: H01S5/10
• 分類號: H01S5/10
• 代理公司: 成都九鼎天元知識產權代理有限公司 51214
• 代理人: 卿誠;吳彥峰

1.一種基于全反射的半導體激光器光束分割重排器件，其特征是：包括有平行平板鏡堆、直角棱鏡堆和半導體激光器；所述半導體激光器發射的激光束射入平行平板鏡堆后對光束進行分割，分割后的光束射入直角棱鏡堆，經過直角棱鏡的直角面的反射后對光束進行重排。

2.根據權利要求1所述的一種基于全反射的半導體激光器光束分割重排器件，其特征是：所述平行平板鏡堆由N片高度不同的平行平板鏡組成；所述平行平板鏡的截面形狀為夾角45°的平行四邊形。

3.根據權利要求1所述的一種基于全反射的半導體激光器光束分割重排器件，其特征是：所述直角棱鏡堆由N片形狀相同的直角棱鏡錯位堆疊組成。

4.根據權利要求1所述的一種基于全反射的半導體激光器光束分割重排器件，其特征是：所述平行平板鏡堆的平行平板鏡的數量N等于入射光源慢軸光束質量除以快軸光束質量的平方根。

5.根據權利要求2所述的一種基于全反射的半導體激光器光束分割重排器件，其特征是：所述平行平板鏡堆中高度最低的平行平板鏡沿Y方向高度應大于入射光斑Y方向高度的兩倍，相鄰平行平板鏡沿Y方向高度差等于入射光斑在Y方向高度，其誤差不超過±10μm。

6.根據權利要求2所述的一種基于全反射的半導體激光器光束分割重排器件，其特征是：所述平行平板鏡堆中N片平行平板鏡沿X方向的寬度應等于L/N,其中L為入射光源在X方向的寬度，沿Z方向的長度應大于入射光斑在Y方向高度，其誤差不超過±10μm。

7.根據權利要求3所述的一種基于全反射的半導體激光器光束分割重排器件，其特征是：所述直角棱鏡沿Y方向的厚度等于入射光源在Y方向的高度，直角邊的長度大于入射光源在X方向寬度的N倍。

8.根據權利要求3所述的一種基于全反射的半導體激光器光束分割重排器件，其特征是：所述N片直角棱鏡沿Y方向緊密排布，沿X方向依次錯位的距離等于L/N,其中L為入射光源在X方向的寬度，其誤差不超過±10μm。

9.根據權利要求1所述的一種基于全反射的半導體激光器光束分割重排器件，其特征是：直角棱鏡堆的斜邊和平行平板鏡堆的出光面應緊密接觸，并保證經過平行平板鏡堆分割后的光斑和各片直角棱鏡依次對應。