[實(shí)用新型]一種用于5吋硅晶圓片磷預(yù)擴(kuò)散的石英舟

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520336704.6
• 申請(qǐng)日: 2015-05-22
• 公開（公告）號(hào): CN204732384U
• 公開（公告）日: 2015-10-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李建林;張春風(fēng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 揚(yáng)州晶新微電子有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673
• 代理公司: 揚(yáng)州蘇中專利事務(wù)所(普通合伙) 32222
• 代理人: 許必元

1.一種用于5吋硅晶圓片磷預(yù)擴(kuò)散的石英舟，包括舟體，其特征是，所述舟體由四個(gè)舟節(jié)串聯(lián)而成，每個(gè)舟節(jié)包括四根石英棒以及石英支撐架，四根石英棒平行而置，石英棒兩端分別燒結(jié)在石英支撐架上，四根石英棒在同一平面內(nèi)的橫截面的圓心構(gòu)成一個(gè)圓弧，該圓弧與5吋硅晶圓片的外圓周線重合；

所述石英棒上設(shè)有若干裝載5吋硅晶圓片的置片槽，置片槽垂直于石英棒的軸線，四根石英棒之間的置片槽位置對(duì)應(yīng)，四根石英棒在同一平面內(nèi)的置片槽共同承載一片5吋硅晶圓片。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于5吋硅晶圓片磷預(yù)擴(kuò)散的石英舟，其特征是，所述舟體總長(zhǎng)為819mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于5吋硅晶圓片磷預(yù)擴(kuò)散的石英舟，其特征是，所述石英棒的直徑為12mm，長(zhǎng)度為176.2mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于5吋硅晶圓片磷預(yù)擴(kuò)散的石英舟，其特征是，所述舟體上共有70對(duì)置片槽。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于5吋硅晶圓片磷預(yù)擴(kuò)散的石英舟，其特征是，相鄰兩對(duì)置片槽的間距為7.14mm，每對(duì)置片槽中，兩個(gè)置片槽之間的距離為2.58mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于5吋硅晶圓片磷預(yù)擴(kuò)散的石英舟，其特征是，所述置片槽的深度為3mm，寬度為0.70mm。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種用于5吋硅晶圓片磷預(yù)擴(kuò)散的石英舟，其特征是，所述置片槽槽口設(shè)有60°的倒角，倒角深度為1mm。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于5吋硅晶圓片磷預(yù)擴(kuò)散的石英舟，其特征是，每個(gè)石英支撐架底部設(shè)有兩個(gè)支撐腳，兩個(gè)支撐腳的底部為圓弧形，且沿舟體軸線對(duì)稱，兩個(gè)圓弧的圓心重合在石英擴(kuò)散爐管的中心軸線上。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于5吋硅晶圓片磷預(yù)擴(kuò)散的石英舟，其特征是，所述舟體兩端的石英支撐架上分別燒結(jié)有石英把手。