[實用新型]激光清洗機的結構

有效

• 申請號: 201520335155.0
• 申請日: 2015-05-22
• 公開（公告）號: CN204769733U
• 公開（公告）日: 2015-11-18
• 發明（設計）人: 章尚仁;江尚偉;陳良波
• 申請（專利權）人: 全智科技股份有限公司
• 主分類號: B08B7/00
• 分類號: B08B7/00
• 代理公司: 廈門市新華專利商標代理有限公司 35203
• 代理人: 朱凌

技術領域

本實用新型為提供一種激光清洗機的結構，尤指一種可利用激光對薄膜式探針卡進行清潔的激光清洗機的結構。

背景技術

按，探針，用于檢查受檢查體的電特性，如形成在半導體晶圓上的集成電路、大規模集成電路等電子電路的電特性檢查，皆使用安裝在探針裝置的探針卡進行，而探針卡通常具多數探針，且晶圓電特性的檢查是使多數探針接觸晶圓的電子電路的電極，并從各探針對晶圓上的電子電路的電極，施加檢查用電信號而進行。

為了適切地檢查該晶圓的電子電路上的電特性，必需將位在電極表層的絕緣層的鋁氧化膜削去，使探針接觸電極表層下的鋁，且以既定的接觸壓力使其壓接。并且，該鋁氧化膜的削去量及接觸壓力愈大，則愈容易確保其接觸性良好。但是如此一來，該種雜質容易附著在探針前端，而附著的鋁及雜質會成為凸起物，當探針接觸電極時會造成較深的打痕，而損傷電極。

因此，保持探針的清潔便顯得格外重要，而一般清潔是將探針前端推壓于清潔片上而除去附著物。于此情形，不僅是附著物，也會使探針前端造成磨耗。故上述探針于使用時，為確實存在下列問題與缺失尚待改進：

一、探針清潔方式非常不方便。

二、探針清潔效果有待商榷，且可能導致探針本身功效下降或外型損壞。

是以，要如何解決上述習用的問題與缺失，即為本實用新型的申請人與從事此行業的相關廠商所亟欲研究改善的方向所在者。

實用新型內容

故，本實用新型的設計人有鑒于上述缺失，乃搜集相關資料，經由多方評估及考慮，并以從事于此行業累積的多年經驗，經由不斷試作及修改，始設計出此種利用激光對薄膜式探針卡進行較精準、較有效率的半自動化清潔的激光清洗機的結構的實用新型專利者。

本實用新型的主要目的在于：激光產生裝置對薄膜式探針卡進行清潔時，配合影像捕獲設備的使用，提高清潔的效果及效率，同時借由半自動機械化的操作增加使用者的方便性。

為達上述目的，本實用新型的解決方案是：

一種激光清洗機的結構，包含：

一激光產生裝置，用于清潔薄膜式探針卡(Probecard)；

一位于該激光產生裝置的激光照射路徑上的機構平臺，供承載該薄膜式探針卡；

一設于該激光產生裝置一側的影像捕獲設備，供顯示激光光點處的影像。

進一步，該激光產生裝置包含一移動裝置、及至少一設于該移動裝置一端用于清潔薄膜式探針卡(Probecard)的激光頭。

進一步，該移動裝置包含一雙線性滑軌、及一樞設于該雙線性滑軌上的移動支架，使該激光頭得以前后、左右及上下位移。

進一步，該激光產生裝置內設有一冷卻裝置。

進一步，該機構平臺上設有一控制裝置，供控制該激光產生裝置及該影像捕獲設備的動作。

進一步，該激光產生裝置的充電電壓為650V至1000V的交流電。

進一步，該激光產生裝置的發射振幅波長為532奈米(nm)至1064奈米(nm)。

進一步，該激光產生裝置發出的脈沖能量為800微焦耳(mJ)。

進一步，該影像捕獲設備為高階感光耦合(ChargeCoupledDevice,CCD)數字攝影機。

進一步，該薄膜式探針卡為鎢合金針、萊鎢針、鈹銅合金針、鈀合金針或白金合金其中之一者。

當使用者用本實用新型作薄膜式探針卡的清潔時，將薄膜式探針卡放置在機構平臺上，并調整激光產生裝置的激光頭，使其與待清潔的薄膜式探針卡初步對位后，再利用影像捕獲設備精確調整位置，接著即可以激光產生裝置發出的脈沖波對該薄膜式探針卡進行清潔，借此增加使用者清潔薄膜式探針卡時的方便性，同時提高其清潔效果，且由于影像捕獲設備的高階解析影像，使清潔動作更精準，而不會發生薄膜式探針卡在被清潔時損傷的狀況。

借由上述技術，可針對習用清潔薄膜式探針卡的方式所存在的方便性不足、清潔效果不佳及可能造成探針損傷的問題點加以突破，達到上述優點的實用進步性。

附圖說明

圖1為本實用新型較佳實施例的立體圖；

圖2為本實用新型較佳實施例的結構方塊圖；

圖3為本實用新型較佳實施例的動作示意圖；

圖4為本實用新型較佳實施例的使用狀態圖。

【符號說明】

激光產生裝置1

移動裝置11

雙線性滑軌111

移動支架112

激光頭12

冷卻裝置13

機構平臺2