[實用新型]用于測試射頻GSG結構的探針卡

有效

• 申請號: 201520334345.0
• 申請日: 2015-05-21
• 公開（公告）號: CN204758648U
• 公開（公告）日: 2015-11-11
• 發明（設計）人: 孟璇璇;張峻豪;張鴻軍
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及電子檢測設備領域，特別涉及一種用于測試射頻GSG結構的探針卡。

背景技術

射頻地-信號-地(Ground-Signal-Ground，GSG)結構，常用于對被測器件DUT(DeviceUnderTest)進行射頻RF(RadioFrequency)和微波特征的端口參數測量，以便獲取被測器件RF性能的相關參數。

如圖1所示，典型的射頻GSG結構包括焊墊矩陣和被測器件DUT，其中，所述焊墊矩陣包括六個焊墊，這六個焊墊組成兩行，第一行的漏極焊墊D被設置在源極焊墊S和凸塊焊墊B之間，第二行的柵極焊墊G被設置在源極焊墊S和凸塊焊墊B之間，而兩行的源極焊墊S和凸塊焊墊B相互連接在一起并設置為接地點。所述被測器件DUT被設置在漏極焊墊D和柵極焊墊G之間，而所述柵極焊墊G、漏極焊墊D、兩個源極焊墊S分別與被測器件DUT的柵極、漏極、源極連接，從而被測器件DUT的相關參數可以從射頻GSG結構的測試參數中提取。

如圖2和圖3所示，所述射頻GSG結構的測試參數通常是用探針卡100進行測試，具體的，所述探針卡100包括電路板110、探針模組120和連接線130，所述探針模組120包括六根探針，所述六根探針分別為探針121至探針126，使用時，每根探針的一端電連接射頻GSG結構中的焊墊，而另一端通過連接線130與電路板110電連接，由此，通過這六根探針將所述焊墊上的測試信號傳輸至電路板110并進一步分析。

通常的，在使用探針卡100進行測試時，所述射頻GSG結構輸入端的柵極上會施加一個偏置電壓，以控制其輸出端的漏極上的電流，同時經過測試，可以取得一系列柵極上偏置電壓對漏極上電流的測試數據，并通過擬合測試數據得到如圖4所示的電流-電壓(Current-Voltage)特性曲線，簡稱IV特性曲線，其中，橫坐標V代表電壓，縱坐標I代表電流，進而通過分析IV特性曲線獲取被測器件DUT的RF性能。然而，實際測試時，所述測試數據經常顯示異常，具體如圖5所示，其中，曲線1、2分別代表的是兩個不同被測器件DUT的IV特性曲線，所述兩條曲線1、2均不是一條光滑的曲線而是出現了波動(如圖中實線圈所示出現拐點a、b)。

針對上述問題，發明人發現，一方面因為探針卡100通過在電路板110中布置地線來接地，但由于地線布局的不合理而引起了測試信號干擾，故而探針卡100的接地效果不佳，另一方面因為探針卡100沒有采取適當的措施來屏蔽電磁干擾(ElectromagneticInterference，簡稱EMI)，使得當被測器件DUT的測量電流增大時，隨電流增強的EMI加大了對測試信號的干擾影響，因此，探針卡100的抗EMI能力較差。上述兩方面導致了IV特性曲線出現波動問題，降低了測試結果的可靠性。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種用于測試射頻GSG結構的探針卡，以解決探針卡因測試信號受到干擾而造成的IV特性曲線波動問題，提高測試結果的可靠性。

為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種用于測試射頻GSG結構的探針卡，包括電路板、探針模組和連接線，所述探針模組和所述連接線設置于所述電路板上，所述探針模組與所述射頻GSG結構電連接，同時所述探針模組通過所述連接線與所述電路板電連接，以將所述射頻GSG結構的測試信號傳輸至所述電路板，其特征在于，還包括設置于所述射頻GSG結構的測試信號的傳輸通道上的EMI濾波裝置

可選的，在所述的用于測試射頻GSG結構的探針卡中，所述射頻GSG結構包括焊墊和凸塊，所述EMI濾波裝置設置于所述焊墊和/或凸塊的測試信號的傳輸通道上。

可選的，在所述的用于測試射頻GSG結構的探針卡中，所述探針模組包括六根探針，所述射頻GSG結構的焊墊包括一個柵極焊墊、一個漏極焊墊和兩個源極焊墊，所述兩個源極焊墊相互電連接，所述凸塊的數量為兩個并相互電連接，所述兩個源極焊墊和所述兩個凸塊相互電連接并設置為接地點，所述一個柵極焊墊、所述一個漏極焊墊、所述兩個源極焊墊和所述兩個凸塊分別與一根探針電連接。

可選的，在所述的用于測試射頻GSG結構的探針卡中，與所述一個柵極焊墊連接的連接線上設置有至少一個所述EMI濾波裝置。

可選的，在所述的用于測試射頻GSG結構的探針卡中，與所述一個漏極焊墊、所述兩個源極焊墊和/或所述兩個凸塊連接的連接線上設置有至少一個所述EMI濾波裝置。