[實用新型]一種氣懸浮微球表面平滑處理裝置

有效

• 申請號: 201520329163.4
• 申請日: 2015-05-21
• 公開（公告）號: CN204661822U
• 公開（公告）日: 2015-09-23
• 發明（設計）人: 張占文;黃勇;李波;李潔;劉一楊;史瑞廷;陳素芬;劉梅芳;蘇琳;李婧;初巧妹;馮建鴻
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院激光聚變研究中心
• 主分類號: C23C16/02
• 分類號: C23C16/02;C23C16/448
• 代理公司: 中國工程物理研究院專利中心 51210
• 代理人: 翟長明;韓志英

1.一種氣懸浮微球表面平滑處理裝置，其特征在于：所述的裝置含有氣懸浮部分、處理液加熱恒溫部分和氣瓶氣體引入氣路部分；所述的氣懸浮部分包括上段氣懸浮觀察罩（18）、下段加熱絲整列外罩（19），氣懸浮觀察罩（18）與加熱絲整列外罩（19）之間設置有氣懸浮室底座（20），氣懸浮觀察罩（18）、加熱絲整列外罩（19）、氣懸浮室底座（20）構成氣懸浮室；在氣懸浮室底座（20）的中心設置有V形氣懸浮噴嘴（16），V形氣懸浮噴嘴（16）的上方設置有V形槽，在V形槽下方頂點向下設有毛細通孔；V形氣懸浮噴嘴（16）的外圍纏繞有聚四氟已烯密封層（23），V形氣懸浮噴嘴（16）沿V形槽中心軸線插入下方的氣懸浮室底座（20）上相匹配的孔中；所述的氣懸浮室底座（20）的下方固定連接有帶內螺紋的螺線狀氣流緩沖管連接座（25），螺線狀氣流緩沖管連接座（25）內設有螺線狀氣流緩沖管連接頭（24），螺線狀氣流緩沖管連接頭（24）的外螺紋與螺線狀氣流緩沖管連接座（25）的內螺紋匹配，并壓緊密封墊圈（22）；螺線狀氣流緩沖管連接頭（24）與設置在加熱絲陣列外罩（19）內的螺線管狀氣流緩沖管（15）的上端焊接相連；螺線狀氣流緩沖管（15）的四周器壁設置有可控溫度的加熱絲陣列（14），加熱絲陣列（14）與外圍的加熱絲陣列外罩（19）通過石棉隔熱；氣懸浮室底座（20）設置有上下對穿的內螺紋通孔，排氣管（21）一端的外螺紋通過氣懸浮室底座（20）對應的內螺紋通孔擰進氣懸浮室底座（20），另一端引出氣懸浮室外，經C端通入大氣；

所述的處理液加熱恒溫部分中包括有儲液罐（12）、液體閥門A（9）、液體閥門B（10），儲液罐（12）上設有液面觀察窗；儲液罐（12）通過液體閥門A（9）的A端進液，通過液體閥門B（10）的B端出液；儲液罐四周設置有儲液罐加熱罩（11），儲液罐（12）上還設置有入氣口、出氣口；

所述的氣瓶氣體引入氣路部分中包括有混氣室（13）、以及與混氣室（13）相連的支路；所述的螺線狀氣流緩沖管（15）的下端通過轉接頭與混氣室（13）相連；混氣室（13）的底端分別設置有支路口Ⅰ、支路口Ⅱ、支路口Ⅲ；所述的氣瓶（1）的氣路通過減壓閥（2），再通過氣體干燥器（3）后分為支路Ⅰ、支路Ⅱ，支路Ⅰ通過質量流量計A（4）、氣體閥門A（6）與混氣室（13）的支路口Ⅰ連接，支路Ⅱ通過質量流量計B（5）、氣體閥門C（8）連接到儲液罐（12）的入氣口；儲液罐（12）的出氣口通過管道與混氣室（13）的支路口Ⅱ連接；排氣管通過氣體閥門B（7）與混氣室（13）的支路口Ⅲ連接，經D端通入大氣；所述的V形氣懸浮噴嘴（16）、加熱絲陣列（14）、螺線管狀氣流緩沖管（15）、螺線狀氣流緩沖管連接頭（24）、螺線狀氣流緩沖管連接座（25）為同軸心設置。

2.根據權利要求1所述的氣懸浮微球表面平滑處理裝置，其特征在于：所述的V形氣懸浮噴嘴（16）的V形槽的夾角為25°～35°,?V形槽底部頂點向下的毛細通孔的孔徑為Φ0.1mm～0.3mm。