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[實用新型]一種勻強磁場沉積臺有效

專利信息
申請號: 201520327761.8 申請日: 2015-05-19
公開(公告)號: CN204644458U 公開(公告)日: 2015-09-16
發明(設計)人: 喬憲武;吳昊 申請(專利權)人: 中國計量學院
主分類號: C23C14/35 分類號: C23C14/35
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 310018 浙江省*** 國省代碼: 浙江;33
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 磁場 沉積
【權利要求書】:

1.一種勻強磁場沉積臺,包括沉積臺(1)、支架(2)和底座(3),其特征在于:沉積臺(1)與底座(3)中間位置設置平行直導線(4)。

2.根據權利要求1所述一種勻強磁場沉積臺,其特征在于:沉積臺(1)為非磁化材料。

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