[實(shí)用新型]一種PECVD尾氣處理裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201520322291.6 | 申請(qǐng)日： | 2015-05-19 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN204786450U | 公開（公告）日： | 2015-11-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王健;李子良;王占;劉鈺;付向良 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 晶澳光伏科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | F23G7/06 | 分類號(hào)： | F23G7/06 |
| 代理公司： | 廣州知友專利商標(biāo)代理有限公司 44104 | 代理人： | 李海波 |
| 地址： | 055550 河北省*** | 國(guó)省代碼： | 河北;13 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 pecvd 尾氣 處理 裝置 | ||
1.一種PECVD尾氣處理裝置，包括PECVD尾氣進(jìn)氣管（1）、與所述PECVD管（1）的末端相連且底部設(shè)有檢修口（5）的燃燒筒（2）、凈化塔（4）以及連接所述燃燒筒（2）和所述凈化塔（4）的燃燒筒排氣管（3），其特征在于：所述的PECVD尾氣進(jìn)氣管（1）上設(shè)有CDA吹掃旁通管（6）；所述的檢修口（5）處設(shè)有粉塵清理收集裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種PECVD尾氣處理裝置，其特征在于：所述的粉塵清理收集裝置包括水箱（81）和收集濾袋（813），其中所述的水箱（81）包括A槽（811）和B槽（812），所述的A槽（811）和所述的B槽（812）間設(shè)有溢流管（815），所述的收集濾袋（813）設(shè)在所述的溢流管（815）在位于所述A槽（811）中的一端上；所述的B槽（812）與所述的檢修口（5）通過燃燒筒排廢管（7）相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種PECVD尾氣處理裝置，其特征在于：所述的水箱（81）上還設(shè)有氣動(dòng)泵（814），所述的氣動(dòng)泵（814）連通所述水箱（81）的A槽（811）和B槽（812）。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種PECVD尾氣處理裝置，其特征在于：所述的燃燒筒排廢管（7）在其位于所述B槽（812）中的一端上還設(shè)有旋切式曝氣頭（71）。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種PECVD尾氣處理裝置，其特征在于：所述的PECVD尾氣進(jìn)氣管（1）、燃燒筒排氣管（3）、CDA吹掃旁通管（6）、燃燒筒排廢管（7）上均設(shè)有閥門。
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