[實(shí)用新型]一種低壓工件的氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520316622.5
• 申請(qǐng)日: 2015-05-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204666315U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-09-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 宋懷雙
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 安徽皖儀科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G01M3/20
• 分類號(hào): G01M3/20
• 代理公司: 安徽合肥華信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34112
• 代理人: 余成俊

技術(shù)領(lǐng)域：

????本實(shí)用新型主要涉及真空氦質(zhì)譜檢漏領(lǐng)域，具體是一種低壓工件的氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)方法。

背景技術(shù)：

大家都知道在檢漏行業(yè)，特別是氦質(zhì)譜檢漏，其檢測(cè)時(shí)對(duì)被檢工件達(dá)到的真空度是有要求的。氦質(zhì)譜真空檢漏時(shí)工件的真空度至少應(yīng)達(dá)到1500pa以下，否則很難進(jìn)行開(kāi)閥檢測(cè)。所以通常情況下氦質(zhì)譜檢測(cè)首先是將工件內(nèi)的真空度抽至1500pa以下后才開(kāi)始檢測(cè)。但是有些工件由于材料、韌性等因素的限制不能達(dá)到較高的真空度，但是又需要對(duì)其密封性進(jìn)行檢測(cè)。對(duì)于這類工件的氦質(zhì)譜檢測(cè)就有一定難度，本文提供的方法就是在能保證工件的壓力允許范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)了氦質(zhì)譜檢漏。

實(shí)用新型內(nèi)容：

本實(shí)用新型的目的就提供一種低壓工件的氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)方法，實(shí)現(xiàn)工件內(nèi)部維持在一定壓力下的氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)。

本實(shí)用新型是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：

一種低壓工件的氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)裝置，其特征在于：包括有與低壓檢測(cè)工件的內(nèi)部密封連接的真空管道，真空管道的另一端連接輔助真空泵，真空管道上依次設(shè)有三通、四通、手動(dòng)擋板閥、抽空穩(wěn)壓閥，所述的三通、四通與真空管道的內(nèi)部連通，三通的另一端設(shè)有真空計(jì)，四通的另兩端分別設(shè)有手動(dòng)放氣閥、吸槍，吸槍的吸槍端口深入在四通的中部，吸槍與氦質(zhì)譜檢漏儀連接。

本實(shí)用新型的工作原理為：

輔助真空泵對(duì)工件進(jìn)行抽空，真空計(jì)檢測(cè)工件內(nèi)部的壓力，手動(dòng)放氣閥、抽空穩(wěn)壓閥對(duì)工件內(nèi)部壓力進(jìn)行調(diào)節(jié)，使其在允許的范圍內(nèi)；吸槍端口固定在真空管道中，且吸槍另一端與氦質(zhì)譜檢漏儀相連接。在工件外圍噴氦，如果有泄漏，則氦氣會(huì)被吸槍吸入氦質(zhì)譜檢漏儀中被檢測(cè)到。總之，既能滿足被檢工件允許在一定壓力范圍內(nèi)，又能實(shí)現(xiàn)了氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)：

????本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)了低壓工件的氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)，可操作性強(qiáng)，檢測(cè)精度較高，系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)成本較低。

附圖說(shuō)明：

????圖1為本發(fā)明專利的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式：

如圖1所示，一種低壓工件的氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)裝置，包括有與低壓檢測(cè)工件1的內(nèi)部密封連接的真空管道8，真空管道8的另一端連接輔助真空泵9，真空管道8上依次設(shè)有三通10、四通11、手動(dòng)擋板閥6、抽空穩(wěn)壓閥7，所述的三通10、四通10與真空管道8的內(nèi)部連通，三通10的另一端設(shè)有真空計(jì)2，四通11的另兩端分別設(shè)有手動(dòng)放氣閥3、吸槍4，吸槍4的吸槍端口深入在四通11的中部，吸槍4與氦質(zhì)譜檢漏儀5連接。

手動(dòng)擋板閥6用來(lái)開(kāi)啟、關(guān)閉輔助抽空氣路使用。抽空穩(wěn)壓閥7主要用來(lái)調(diào)節(jié)輔助抽空流量，調(diào)節(jié)低壓檢測(cè)工件1內(nèi)部壓力。輔助抽空泵9主要對(duì)工件進(jìn)行抽空使用，配合氦質(zhì)譜檢漏儀5工作使用。

工作時(shí)，通過(guò)抽空穩(wěn)壓閥7與手動(dòng)放氣閥3調(diào)節(jié)低壓檢測(cè)工件1的內(nèi)部壓強(qiáng)，使其保持在一定壓力下不變，壓力大小可以通過(guò)真空計(jì)2進(jìn)行測(cè)量得到，這樣在低壓檢測(cè)工件1外部噴氦氣，如果有泄漏，氦氣會(huì)被吸槍4吸入進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀5中，實(shí)現(xiàn)工件壓力允許范圍內(nèi)的氦質(zhì)譜檢測(cè)。