[實用新型]小面積離子束輻照小樣品注入劑量實時在線準確監測裝置

有效

• 申請號: 201520299769.8
• 申請日: 2015-05-11
• 公開（公告）號: CN204666821U
• 公開（公告）日: 2015-09-23
• 發明（設計）人: 任曉堂
• 申請（專利權）人: 北京大學
• 主分類號: G01T1/02
• 分類號: G01T1/02
• 代理公司: 北京萬象新悅知識產權代理事務所(普通合伙) 11360
• 代理人: 王巖

1.一種小面積離子束輻照小樣品注入劑量實時在線準確監測裝置，其特征在于，所述監測裝置包括：測束金屬接收筒筒底、金屬樣品臺、待輻照材料樣品、測束金屬接收筒、絕緣隔離圈、抑制電極、接線柱、束流積分儀和離子束調控裝置；其中，所述金屬樣品臺安裝固定在測束金屬接收筒筒底的中心上，二者有機結合為一體，金屬樣品臺在測束金屬接收筒筒底上形成圓形凸臺；所述待輻照材料樣品安裝固定在金屬樣品臺上；所述測束金屬接收筒筒底安裝在測束金屬接收筒的底部；在測束金屬接收筒的側壁上設置有接線柱；所述接線柱連接至束流積分儀；在測束金屬接收筒的離子束入口端固定絕緣隔離圈；在絕緣隔離圈上固定抑制電極，測束金屬接收筒與抑制電極間為電絕緣；所述抑制電極的中心設置有通束孔，通束孔的孔徑和金屬樣品臺的直徑尺寸一致，并同軸，待輻照材料樣品不越過金屬樣品臺的周邊；離子束的入射方向與測束金屬接收筒的中心軸方向一致；在抑制電極之前設置離子束調控裝置，從而入射離子束的束斑能完全覆蓋抑制電極內的通束孔。

2.如權利要求1所述的監測裝置，其特征在于，所述離子束調控裝置設置在抑制電極之前3～5米處。

3.如權利要求1所述的監測裝置，其特征在于，進一步包括金屬屏蔽層，所述金屬屏蔽層設置在測束金屬接收筒的外層，與其內部的結構絕緣并且接地。

4.如權利要求1所述的監測裝置，其特征在于，所述金屬樣品臺與測束金屬接收筒筒底之間通過螺絲固定的方式連接。

5.如權利要求1所述的監測裝置，其特征在于，所述測束金屬接收筒筒底與測束金屬接收筒之間采用螺紋方式進行連接，或者采用螺絲固定的方式進行連接。

6.如權利要求1所述的監測裝置，其特征在于，所述離子束調試裝置采用四極透鏡或光闌。