[實(shí)用新型]干涉儀中的等厚干涉腔

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520297070.8
• 申請(qǐng)日: 2015-05-04
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204705414U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-10-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王靈浩
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 王靈浩
• 主分類號(hào): G01J9/02
• 分類號(hào): G01J9/02
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種許多其他雙光束干涉儀形成干涉圖樣的過(guò)程提供了雙光束干涉分析的等厚干涉腔，屬于干涉儀領(lǐng)域。

背景技術(shù)

干涉現(xiàn)象是光的波動(dòng)性的最嚴(yán)格、最有效的證明，這個(gè)現(xiàn)象是由于兩束或多束光的重疊，使能量體密度在空間上規(guī)則分布的結(jié)果。光干涉測(cè)量方法作為檢測(cè)高精密光學(xué)元件和系統(tǒng)的最傳統(tǒng)、有效手段之一，已大最的應(yīng)用于科學(xué)研究與工業(yè)生產(chǎn)之中。在實(shí)際使用過(guò)程中，現(xiàn)階段干涉儀大多采用激光器作為照明光源，而激光器具有極強(qiáng)的時(shí)間和空間相干性，因此，在干涉檢測(cè)過(guò)程中，并不需要考慮干涉腔長(zhǎng)的限制，就可以使干涉條紋具有良好的對(duì)比度，并且隨著電子與計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展，產(chǎn)生的位相干涉檢測(cè)技術(shù)，使測(cè)量極限由傳統(tǒng)的λ/10提高了一個(gè)數(shù)量級(jí)以上，且具有很高的重復(fù)性。然而，正是由于激光具有的高度相干性，它雖然降低了干涉儀的使用難度，但由于光學(xué)干涉的極端靈敏性，在光學(xué)元件加工過(guò)程中產(chǎn)生的微觀坑點(diǎn)等缺陷與元件表面污染所產(chǎn)生的散射光會(huì)發(fā)生相干疊加，在干涉圖中會(huì)出現(xiàn)許多牛眼環(huán)或靶心等相干噪聲，它們?cè)谝欢ǔ潭壬细淖兞烁缮鎴D的空間結(jié)構(gòu)，從而引起了被測(cè)面面型或波前形狀的測(cè)量誤差。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，解決好現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題，彌補(bǔ)現(xiàn)有目前市場(chǎng)上現(xiàn)有產(chǎn)品的不足。

本實(shí)用新型提供了一種干涉儀中的等厚干涉腔，主要包括后側(cè)鏡、前側(cè)鏡和準(zhǔn)直鏡，按照光源的光路方向依次設(shè)置準(zhǔn)直鏡、前側(cè)鏡和后側(cè)鏡，所述后側(cè)鏡和前側(cè)鏡為平面鏡，后側(cè)鏡為反射鏡，前側(cè)鏡為半反半透鏡。

優(yōu)選的，上述后側(cè)鏡和前側(cè)鏡并排平行設(shè)置。

優(yōu)選的，上述后側(cè)鏡和前側(cè)鏡的中心點(diǎn)與準(zhǔn)直鏡的中心點(diǎn)處于同一水平面。

優(yōu)選的，上述后側(cè)鏡的中心點(diǎn)與準(zhǔn)直鏡的后焦距點(diǎn)重合，所述前側(cè)鏡與后側(cè)鏡之間的距離根據(jù)光源入射光的入射角度和準(zhǔn)直鏡的焦距確定。

本實(shí)用新型提供的干涉儀中的等厚干涉腔為分析干涉儀和許多其他雙光束干涉儀形成干涉圖樣的過(guò)程提供了雙光束干涉的基礎(chǔ)。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記：1-后側(cè)鏡；2-前側(cè)鏡；3-準(zhǔn)直鏡。

具體實(shí)施方式

為了便于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員理解和實(shí)施本實(shí)用新型，下面結(jié)合附圖及具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。

如圖1所示，本實(shí)用新型提供的干涉儀中的等厚干涉腔，主要包括后側(cè)鏡1、前側(cè)鏡2和準(zhǔn)直鏡3，按照光源的光路方向依次設(shè)置準(zhǔn)直鏡3、前側(cè)鏡2和后側(cè)鏡1，后側(cè)鏡1和前側(cè)鏡2為平面鏡，后側(cè)鏡1為反射鏡，前側(cè)鏡2為半反半透鏡。后側(cè)鏡1和前側(cè)鏡2并排平行設(shè)置。后側(cè)鏡1和前側(cè)鏡2的中心點(diǎn)與準(zhǔn)直鏡3的中心點(diǎn)處于同一水平面。后側(cè)鏡1的中心點(diǎn)與準(zhǔn)直鏡3的后焦距點(diǎn)重合，前側(cè)鏡2與后側(cè)鏡1之間的距離根據(jù)光源入射光的入射角度和準(zhǔn)直鏡3的焦距確定。

由于很多干涉儀和許多其他雙光束干涉儀形成干涉圖樣的過(guò)程都可用本實(shí)用新型的雙光束干涉來(lái)進(jìn)行分析，因此，可以通過(guò)對(duì)圖1所示的等厚干涉腔的計(jì)算來(lái)得到Δ′與θ的關(guān)系。依據(jù)圖1所示的幾何關(guān)系，可以推導(dǎo)出如下公式：

θ≈tanθ=rf]]>