[實用新型]真空室殼體有效
| 申請號： | 201520295953.5 | 申請日： | 2015-05-08 |
| 公開（公告）號： | CN204676147U | 公開（公告）日： | 2015-09-30 |
| 發明（設計）人： | 馬爾科·肯內;約亨·克勞瑟;賴因哈德·耶格 | 申請（專利權）人： | 馮·阿登納有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/56 | 分類號： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 劉明海;楊生平 |
| 地址： | 德國德*** | 國省代碼： | 德國;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 真空 殼體 | ||
1.一種真空室殼體(100)，其包括：
帶有至少一個基體-轉運-縫隙(102a)的室壁(102)，用于基體沿著基體運送方向(101)運送通過真空室殼體(100)；和
隔板結構(104)，其這樣地設置并相對于基體-轉運-縫隙(102a)固定在室壁(102)上，即基體-轉運-縫隙(102a)部分地被蓋住，從而減小基體-轉運-縫隙(102a)的有效縫隙高度。
2.根據權利要求1所述的真空室殼體，
其中基體-轉運-縫隙(102a)在垂直于基體運送方向(101)的平面沿著具有縫隙寬度(103a)的寬度方向(103)和沿著具有縫隙高度(105a)的高度方向(105)延伸。
3.根據權利要求2所述的真空室殼體，
其中基體-轉運-縫隙(102a)沿著高度方向(105)被兩個平行面(102f)限制。
4.根據權利要求3所述的真空室殼體，
其中基體-轉運-縫隙(102a)沿著寬度方向(103)被兩個相對置的彎曲邊緣面(102r)限制。
5.根據權利要求4所述的真空室殼體，
其中相對置的彎曲的邊緣面(102r)圓形地或橢圓形地彎曲。
6.根據權利要求5所述的真空室殼體，
其中圓形地或橢圓形地彎曲的邊緣面(102r)的彎曲半徑或半軸大于基體-轉運-縫隙(102a)的縫隙高度(105a)的一半。
7.根據權利要求2所述的真空室殼體，
其中隔板結構(104)具有或形成隔板開口(104a)，其中隔板開口(104a)沿著高度方向(105)的開口高度(105b)小于基體-轉運-縫隙(102a)的縫隙高度(105a)。
8.根據權利要求6所述的真空室殼體，
其中隔板結構(104)具有或形成隔板開口(104a)，其中隔板開口(104a)沿著高度方向(105)的開口高度(105b)等于基體-轉運-縫隙(102a)的縫隙高度(105a)。
9.一種真空室殼體(100)，其包括：
帶有至少一個基體-轉運-開口(102a)的室壁(102)，用于基體沿著基體運送方向(101)運送通過真空室殼體(100)；
其中基體-轉運-開口(102a)在垂直于基體運送方向(101)的平面中沿著寬度方向(103)和沿著高度方向(105)延伸，
其中基體-轉運-開口(102a)具有沿著寬度方向(103)被兩個邊緣區域(202r)限制的縫隙區域(202m)，和
其中基體-轉運-開口(102a)在邊緣區域(202r)中的高度(205r)大于基體-轉運-開口在縫隙區域(202m)中的高度(205a)。
10.根據權利要求9所述的真空室殼體，其此外具有：
帶有隔板開口(104a)的隔板結構(104)，其中隔板結構(104)這樣地設置并且相對于基體-轉運-開口(102a)固定在室壁(102)上，即基體-轉運-開口(102a)的邊緣區域(202r)借助于隔板結構(104)部分地被蓋住。
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