[實(shí)用新型]一種晶體硅太陽能電池三氯氧磷存儲(chǔ)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520289432.9
• 申請(qǐng)日: 2015-05-06
• 公開（公告）號(hào): CN204614805U
• 公開（公告）日: 2015-09-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡俊濤;勾憲芳;高榮剛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中節(jié)能太陽能科技（鎮(zhèn)江）有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18;C30B31/16
• 代理公司: 北京天平專利商標(biāo)代理有限公司 11239
• 代理人: 繆友菊

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶體硅太陽能電池?cái)U(kuò)散工藝，具體涉及一種硅太陽能電池的三氯氧磷存儲(chǔ)裝置。

背景技術(shù)

太陽能作為一種清潔、可再生的能源，對(duì)它的利用一直被人們所關(guān)注。晶體硅太陽能電池作為目前太陽能電池的主流，如何降低太陽能電池的成本，提高效率成為國內(nèi)外晶體硅太陽能電池研究的重點(diǎn)。

發(fā)射極作為太陽能電池的關(guān)鍵組成部分決定了太陽能電池的性能，其摻雜濃度及深度，直接影響太陽能電池的效率，為了進(jìn)一步提高晶體硅太陽能電池的效率，高方阻發(fā)射極的制備，目前成為行業(yè)的趨勢(shì)，同時(shí)對(duì)發(fā)射極的均勻性及短波響應(yīng)也提出了更高的要求。傳統(tǒng)的擴(kuò)散工藝，普遍采用氮?dú)鈹y帶三氯氧磷管式靜態(tài)擴(kuò)散，由于三氯氧磷液位隨著工藝消耗不斷變低，而進(jìn)氣管位置不變，導(dǎo)致氮?dú)鈹y帶的三氯氧磷隨液位的變化逐漸降低，從而導(dǎo)致工藝穩(wěn)定性變差，導(dǎo)致發(fā)射極的均勻性變差，無法做到±3ohm/sq的分布，因此硅片的方塊電阻也無法做的更高，給后期工藝的制備帶來一定的困難，造成電池片的轉(zhuǎn)換率無法提到一個(gè)更高的層次。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是：提供一種晶體硅太陽能電池的三氯氧磷恒定供給存儲(chǔ)裝置。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的一種晶體硅太陽能電池三氯氧磷存儲(chǔ)裝置，包括封閉的源瓶和設(shè)置在源瓶上并與源瓶相連通的進(jìn)氣管和出氣管，所述源瓶?jī)?nèi)設(shè)有懸浮塊和伸縮軟管，所述懸浮塊內(nèi)部中空并設(shè)有通氣管道，通氣管道一端通過伸縮軟管與進(jìn)氣管相連通，另一端為出氣口。

上述技術(shù)方案的工作原理為：

對(duì)太陽能電池的發(fā)射極進(jìn)行制備時(shí)，隨著反應(yīng)的進(jìn)行，藥液液位隨之降低，同時(shí)懸浮塊也隨之上下浮動(dòng)，帶動(dòng)通氣管道隨著藥液液位變化而隨之變化，使藥液供給不受液位變化的影響，從而達(dá)到藥液供給過程的平穩(wěn)一致性。

進(jìn)一步地，為使得進(jìn)氣和出氣順暢，進(jìn)氣管和出氣管設(shè)置在源瓶頂部。

進(jìn)一步地，懸浮塊為柱體。

更進(jìn)一步地，懸浮塊為圓柱體或橢圓柱體。

進(jìn)一步地，增加懸浮塊的耐腐蝕性，懸浮塊由石英制成。

進(jìn)一步地，還包括石英套管，石英套管的一端位于源瓶?jī)?nèi)底部且不與源瓶相連，另一端向源瓶外部延伸；石英套管可以保證外部設(shè)施能夠準(zhǔn)確探測(cè)到源瓶?jī)?nèi)部磷源的溫度，且使磷源被密封在源瓶?jī)?nèi)部，不與外部聯(lián)通。

????本實(shí)用新型的有益效果為：通過設(shè)置懸浮塊和伸縮軟管，使得太陽能電池發(fā)射極制造過程中三氯氧磷藥液的液位隨著反應(yīng)的進(jìn)行進(jìn)氣的位置發(fā)生相應(yīng)變化，使藥液供給不受液位變化的影響，從而達(dá)到藥液供給過程的平穩(wěn)一致性。此外，所用材料耐酸堿腐蝕避免了磷源污染問題，懸浮塊為圓形或橢圓形設(shè)計(jì)，避免了棱角端對(duì)源瓶撞擊造成的不安全因素；本實(shí)用新型還可以有效提擴(kuò)散工藝穩(wěn)定性，提高短波響應(yīng)，有效提升三氯氧磷的利用率，避免了源瓶?jī)?nèi)液位不足就要更換磷源等問題。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型一種晶體硅太陽能電池三氯氧磷存儲(chǔ)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述。

圖1示出了本實(shí)用新型一種晶體硅太陽能電池三氯氧磷存儲(chǔ)裝置的一種具體實(shí)施方式，圖示的晶體硅太陽能電池三氯氧磷存儲(chǔ)裝置包括封閉的源瓶2和設(shè)置在源瓶2上并與源瓶相連通的進(jìn)氣管1和出氣管6，源瓶2內(nèi)設(shè)有石英制成的圓柱體懸浮塊4和伸縮軟管3，所述懸浮塊4內(nèi)部中空并設(shè)有通氣管道，通氣管道的一端通過伸縮軟管3與進(jìn)氣管1相連通，另一端為出氣口5，進(jìn)氣管1和出氣管6設(shè)置在源瓶2頂部，存儲(chǔ)裝置還設(shè)有石英套管7，石英套管7的一端位于源瓶2內(nèi)底部且不與源瓶2底部相連，另一端向源瓶2外部延伸。

上述實(shí)施例的工作原理為：

硅片經(jīng)過制絨清洗后進(jìn)入擴(kuò)散工序，擴(kuò)散過程中隨著磷源的使用源瓶液位不斷降低，通氣管道懸浮在磷源內(nèi)，隨著磷源的消耗通氣管道出口位置隨之降低，保證了擴(kuò)散過程中通氣管道內(nèi)氮?dú)鈹y帶的三氯氧磷的量始終恒定。與現(xiàn)有源瓶相比，本三氯氧磷存儲(chǔ)裝置大大提高了發(fā)射極電阻的均勻性。

如上所述，盡管參照特定的優(yōu)選實(shí)施例已經(jīng)表示和表述了本實(shí)用新型，但其不得解釋為對(duì)本實(shí)用新型自身的限制。在本實(shí)用新型權(quán)利要求解釋的精神和范圍前提下，可對(duì)其在形式上和細(xì)節(jié)上作出各種變化。