[實用新型]一種應力隔離的MEMS慣性傳感器

有效

• 申請號: 201520287630.1
• 申請日: 2015-05-06
• 公開（公告）號: CN204643828U
• 公開（公告）日: 2015-09-16
• 發明（設計）人: 鄭國光
• 申請（專利權）人: 歌爾聲學股份有限公司
• 主分類號: B81B3/00
• 分類號: B81B3/00;B81B7/02
• 代理公司: 北京博雅睿泉專利代理事務所(特殊普通合伙) 11442
• 代理人: 馬佑平;王昭智

1.一種應力隔離的MEMS慣性傳感器，其特征在于：包括襯底(1)，以及位于襯底(1)上方的應力隔離層(2)，所述應力隔離層(2)通過第一錨點(20)固定在襯底(1)上，所述應力隔離層(2)位于第一錨點(20)兩側的位置懸置在襯底(1)的上方；在所述應力隔離層(2)的上端設置有敏感結構(4)。

2.根據權利要求1所述的MEMS慣性傳感器，其特征在于：所述第一錨點(20)與應力隔離層(2)為一體的。

3.根據權利要求2所述的MEMS慣性傳感器，其特征在于：所述應力隔離層(2)的第一錨點(20)與襯底(1)鍵合在一起。

4.根據權利要求1所述的MEMS慣性傳感器，其特征在于：所述敏感結構(4)包括可動極板，所述可動極板通過第二錨點懸置在應力隔離層(2)的上方。

5.根據權利要求4所述的MEMS慣性傳感器，其特征在于：所述第二錨點與可動極板為一體的。

6.根據權利要求4所述的MEMS慣性傳感器，其特征在于：還包括與可動極板組成電容結構的固定極板(5)。

7.根據權利要求6所述的MEMS慣性傳感器，其特征在于：所述固定極板(5)固定在應力隔離層(2)上與可動極板對應的位置。

8.根據權利要求6所述的MEMS慣性傳感器，其特征在于：所述固定極板(5)固定在襯底(1)上與可動極板對應的位置；所述應力隔離層(2)上位于可動極板、固定極板(5)之間的位置設置有鏤空(21)。

9.根據權利要求1所述的MEMS慣性傳感器，其特征在于：所述襯底(1)、應力隔離層(2)、第一錨點(20)為單晶硅材料，在所述第一錨點(20)與襯底(1)之間還設有絕緣層。

10.根據權利要求1所述的MEMS慣性傳感器，其特征在于：所述第一錨點(20)為一個，其分布在敏感結構(4)的中心位置；或者，所述第一錨點(20)為多個，該多個第一錨點(20)靠近敏感結構(4)的中心分布。