[實用新型]一種機臺供水循環系統

有效

• 申請號: 201520285698.6
• 申請日: 2015-05-05
• 公開（公告）號: CN204809195U
• 公開（公告）日: 2015-11-25
• 發明（設計）人: 章肖榕;蘇立文;吳志君;鄧義彬
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海光華專利事務所 31219
• 代理人: 余明偉

1.一種機臺供水循環系統，包括：

匯流閥供水端組件；

匯流閥回水端組件；

安裝于機臺頂部的冷卻環；

第一水管鏈路轉接器及第二水管鏈路轉接器；

所述匯流閥供水端組件及所述匯流閥回水端組件均包括至少一個端口，每一個端口分別與所述機臺的一個腔室相對應；

所述匯流閥供水端組件的一個端口與所述第一水管鏈路轉接器之間通過水管連接，所述水管經過所述第一水管鏈路轉接器分為兩路，并經過所述第二水管鏈路轉接器重新合并為一路，連接于所述匯流閥回水端組件的一個端口；其中，分為兩路的水管中，一路水管分為兩段分別連接于腔室入水口及腔室出水口，另一路水管分為兩段分別連接于冷卻環入水口及冷卻環出水口；

其特征在于：

所述匯流閥供水端組件及所述匯流閥回水端組件均包括圓柱體型主體，所述端口設置于所述主體側壁，且所述端口中部設置有電磁閥；所述主體頂端設有清洗水入水口、底端設有清洗水排水口，所述清洗水入水口及所述清洗水排水口中部均設有手動閥；所述主體頂端還設有一攪拌口，所述攪拌口頂部設有一蓋體；

所述匯流閥供水端組件的主體側壁還設有一循環水入水口，所述循環水入水口中部設有一加熱器；所述匯流閥回水端組件的主體側壁還設有一循環水排出管路。

2.根據權利要求1所述的機臺供水循環系統，其特征在于：所述端口中部還設有一手動閥，該手動閥位于所述主體側壁與所述電磁閥之間。

3.根據權利要求1所述的機臺供水循環系統，其特征在于：所述蓋體與所述攪拌口之間螺紋連接。

4.根據權利要求1所述的機臺供水循環系統，其特征在于：所述電磁閥包括電磁閥線圈。

5.根據權利要求1所述的機臺供水循環系統，其特征在于：所述端口通過緊固件與所述主體側壁連接。

6.根據權利要求5所述的機臺供水循環系統，其特征在于：所述緊固件包括螺絲。

7.根據權利要求5所述的機臺供水循環系統，其特征在于：所述端口與所述主體側壁的連接處設有密封圈。

8.根據權利要求7所述的機臺供水循環系統，其特征在于：所述端口與所述主體側壁的連接處設有容納所述密封圈的凹槽。

9.根據權利要求1所述的機臺供水循環系統，其特征在于：所述冷卻環包括兩段圓弧形銅管及一個水流輸入/輸出接頭，該兩段圓弧形銅管及所述水流輸入/輸出接頭依次連接組合成環狀；所述水流輸入/輸出接頭包括水流輸入管道及水流輸出管道，所述水流輸入管道與所述水流輸出管道中部均嵌入一固定支架中，且兩段圓弧形銅管分別與所述水流輸入管道的出水口及所述水流輸出管道的入水口相連接。

10.根據權利要求9所述的機臺供水循環系統，其特征在于：兩段圓弧形銅管及所述水流輸入/輸出接頭彼此之間均通過套接式連接組件連接；所述套接式連接組件包括互相配合的連接公頭及連接母頭；所述連接母頭具有內螺紋，所述連接公頭具有與所述內螺紋相配合的外螺紋。

11.根據權利要求1所述的機臺供水循環系統，其特征在于：所述冷卻環通過可分離式夾塊固定安裝于所述機臺頂部。

12.根據權利要求11所述的機臺供水循環系統，其特征在于：所述可分離式夾塊通過螺絲固定所述冷卻環。