[實(shí)用新型]一種快速生長(zhǎng)無(wú)包裹物碳化硅單晶的生長(zhǎng)室有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201520285511.2 | 申請(qǐng)日： | 2015-05-05 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN204570085U | 公開(kāi)（公告）日： | 2015-08-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 宗艷民;高玉強(qiáng);宋建;張志海;劉家朋;張紅巖;李加林 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 山東天岳先進(jìn)材料科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C30B23/00 | 分類號(hào)： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 濟(jì)南舜源專利事務(wù)所有限公司 37205 | 代理人： | 苗峻;楊婷 |
| 地址： | 250000 山東省濟(jì)南市歷下區(qū)*** | 國(guó)省代碼： | 山東;37 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 快速 生長(zhǎng) 包裹 碳化硅 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
1.一種快速生長(zhǎng)無(wú)包裹物碳化硅單晶的生長(zhǎng)室，生長(zhǎng)室內(nèi)壁頂部設(shè)有籽晶托(1)，其特征在于：生長(zhǎng)室內(nèi)部套有與生長(zhǎng)室同軸且頂端低于生長(zhǎng)室頂端的內(nèi)筒，所述的內(nèi)筒由石墨濾網(wǎng)(2)圍繞而成；內(nèi)筒頂端外沿與生長(zhǎng)室內(nèi)壁之間設(shè)有石墨濾網(wǎng)(2)；所述的石墨濾網(wǎng)(2)兩側(cè)表面均涂有耐高溫金屬化合物涂層(3)；
所述的耐高溫金屬化合物涂層(3)選自稀有金屬的碳化物或稀有金屬的氮化物或其混合物；
所述的稀有金屬選自鉭或鉿或鈮或鈦或鋯或鎢或釩。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的快速生長(zhǎng)無(wú)包裹物碳化硅單晶的生長(zhǎng)室，其特征在于：所述的石墨濾網(wǎng)(2)的孔徑小于10微米。
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