[實用新型]一種一次性完成的拉晶爐

有效

• 申請號: 201520274633.1
• 申請日: 2015-05-02
• 公開（公告）號: CN204589370U
• 公開（公告）日: 2015-08-26
• 發明（設計）人: 陳磊;劉栓紅;趙麗萍;張文濤;蔡水占;郭晶晶;張會超;陳永平;王東勝;惠小青;辛世明;田紅麗
• 申請（專利權）人: 河南鴻昌電子有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及半導體致冷件生產技術領域的設備，特別是涉及拉晶爐。

背景技術

晶粒是制造半導體致冷件的部件，晶粒的主要成分是三碲化二鉍，作為制造致冷件的晶粒要求其分子排列整齊，晶粒里面的分子排列越整齊，致冷件的效率就越高。

晶粒是由晶棒切割而成的，這就要求晶棒里面的分子排列是整齊的。

制造晶棒時，對其里面的分子進行排列的過程就是拉晶，拉晶是在拉晶爐中進行的。

拉晶爐具有爐腔，在爐腔內有放置拉晶管的卡件，還有個加熱體，加熱體上下移動可以對拉晶管進行加熱，現有技術中，加熱體只有一個加熱部位，隨著對拉晶技術的提高，發現對原材料進行多次拉晶，在拉晶的過程中進行冷卻，可以取得更好的拉晶效果，使用現有技術的拉晶爐就要多次拉晶，具有使用不便的缺點。

發明內容

本實用新型的目的就是針對上述缺點，提供一種拉晶效果好、使用方便、一次就可以完成的拉晶爐——一種一次性完成的拉晶爐。

本實用新型的技術方案是這樣實現的：一種一次性完成的拉晶爐，包括爐體，爐體具有爐腔，在爐腔內有放置拉晶管的卡件，還有加熱體，加熱體可移動可以對拉晶管進行加熱，其特征是：所述的加熱體是空芯圓柱形的結構，加熱體包括多個加熱件，相鄰的加熱件中間是冷卻圈，所述的冷卻圈中間是中空結構，中空結構外面連通循環冷卻液，所述的冷卻圈和加熱體之間有隔熱材料隔斷。

進一步地講，所述的多個加熱體從前至后的加熱溫度是依次升高的。

較好的，所述的多個加熱體從前至后的加熱溫度依次升高5—7℃。

較好的，第一個加熱體溫度達到200—220℃之間，所述的冷卻圈溫度控制在70—90℃之間。

本實用新型的有益效果是：

1、這樣的拉晶爐具有拉晶效果好、使用方便、一次就可以完成的優點；

2、所述的多個加熱體從前至后的加熱溫度是依次升高的，第一個加熱體溫度達到200—220℃之間，所述的冷卻圈溫度控制在70—90℃之間具有拉晶效果更好的優點。

附圖說明

圖1是本實用新型的剖面結構示意圖。

其中：1、爐體???2、爐腔???3、卡件??4、加熱體???5、加熱件???6、冷卻圈???7、第一個加熱體間??8、隔熱材料???9、晶棒。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作進一步說明。

如圖1所示，一種一次性完成的拉晶爐，包括爐體1，爐體具有爐腔2，在爐腔內有放置拉晶管的卡件3，還有加熱體4，加熱體移動可以對拉晶管進行加熱，其特征是：所述的加熱體是空芯圓柱形的結構，加熱體包括多個加熱件5，相鄰的加熱件中間是冷卻圈6，所述的冷卻圈中間是中空結構，中空結構外面連通循環冷卻液，所述的冷卻圈和加熱體之間有隔熱材料8隔斷，如圖，卡件卡著晶棒9，加熱體可左右移動安裝在爐體內，冷卻圈6可以對加熱的晶棒進行冷卻，冷卻圈6里面的冷卻液起著降溫的作用，這樣晶棒一次經過加熱體就可以完成加熱——冷卻——加熱等多個步驟，具有本實用新型的優點。

進一步地講，所述的多個加熱體從前至后的加熱溫度是依次升高的，發明人經過試驗，這樣可以達到更好的效果，所述的從前至后是依據拉晶過程中經過晶棒的順序。

較好的，第一個加熱件7溫度達到200—220℃之間，所述的多個加熱體從前至后的加熱溫度依次升高5—7℃。發明人經過試驗，這樣可以取得晶棒里面的分子排列更整齊的效果。

進一步地講，所述的冷卻圈溫度控制在70—90℃之間。

以上所述僅為本實用新型的具體實施例，但本實用新型的結構特征并不限于此，任何本領域的技術人員在本實用新型的領域內，所作的變化或修飾皆涵蓋在本實用新型的專利范圍內。