[實用新型]分光棱鏡波片移相干涉系統

有效

• 申請號: 201520271404.4
• 申請日: 2015-04-27
• 公開（公告）號: CN204881867U
• 公開（公告）日: 2015-12-16
• 發明（設計）人: 林永東
• 申請（專利權）人: 林永東
• 主分類號: G01J9/02
• 分類號: G01J9/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種利用空間移相干涉測量技術進行測試的分光棱鏡波片移相干涉系統，屬于干涉儀領域。

背景技術

移相干涉術是以光波波長為單位的非接觸式測量技術，具有極高的測量精度和靈敏度，被認為是檢測精密元件的最準確技術之一。早在200多年前，人們就注意到了了光的干涉現象，并開始有計劃的控制干涉現象。但是直到1960年第一臺紅寶石激光器的研制成功，干涉現象才開始廣泛應用于測量領域。傳統的干涉測量技術主要是通過照相或人眼直接觀察干涉條紋，手工計算測量結果的方式進行的，效率低下，主觀誤差較大。1974年Bruning等人首次將通訊領域中的相位探測技術引入到光學測量中，使經典的干涉測量技術從微米級跨入納米級，實現光學計量測試的重大突破。80年代以來，隨著激光技術、光電探測技術、計算機技術、圖像處理技術和精密機械等技術在光學測試中的逐步應用，移相干涉技術得到進一步發展，實現了實時、快速、多參數、自動化的測量。

時間移相是在不同時刻引入有序相移并記錄多幅干涉圖，并通過不同的算法得出待測的相位分布。而時間移相法是通過探測器在同一空間位置不同時刻采集，得到不同相移的干涉圖，此方法對作用于被測元件的振動非常敏感，因此只適用于靜態或準靜態位相的測量，不能用于動態測量。

實用新型內容

為了克服現有技術的不足，解決好現有技術的問題，彌補現有目前市場上現有產品的不足。

本實用新型提供了一種分光棱鏡波片移相干涉系統，主要包括光源、多個半反半透鏡、多個反射鏡、多個探測器和多個波片，其中，每個探測器對應一個波片，多個探測器之間并列平行設置，多個波片也并列平行設置，所述多個半反半透鏡包括第一半反半透鏡、第二半反半透鏡和第三半反半透鏡，所述多個反射鏡包括第一反射鏡、第二反射鏡、第三反射鏡，所述多個探測器包括第一探測器、第二探測器、第三探測器和第四探測器。

優選的，上述多個波片包括第一波片、第二波片、第三波片和第四波片。

優選的，上述第一波片和第四波片為/波片，所述第二波片和第三波片為/波片。

優選的，上述第一半反半透鏡對應第一反射鏡和第二半反半透鏡設置，所述第一反射鏡對應第三半反半透鏡設置。

優選的，上述第二反射鏡設置在第一波片前側，第二半反半透鏡設置在第二波片前側，第三半反半透鏡設置在第三波片前側，第三反射鏡設置在第四波片前側。

本實用新型提供的分光棱鏡波片移相干涉系統采用分光系統將入射光分成完全相同的四組光束，經過波片時，通過四路探測器分別接收對應相移的干涉圖，計算此時的相位分布。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖。

附圖標記：1-光源；2-第一半反半透鏡；3-第一反射鏡；41-第二反射鏡；42-第一波片；43-第一探測器；51-第二半反半透鏡；52-第二波片；53-第二探測器；61-第三半反半透鏡；62-第三波片；63-第三探測器；71-第三反射鏡；72-第四波片；73-第四探測器。

具體實施方式

為了便于本領域普通技術人員理解和實施本實用新型，下面結合附圖及具體實施方式對本實用新型作進一步的詳細描述。

如圖1所示，本實用新型提供的分光棱鏡波片移相干涉系統，主要包括光源1、多個半反半透鏡、多個反射鏡、多個探測器和多個波片，其中，每個探測器對應一個波片，多個探測器之間并列平行設置，多個波片也并列平行設置，多個半反半透鏡包括第一半反半透鏡2、第二半反半透鏡51和第三半反半透鏡61，多個反射鏡包括第一反射鏡3、第二反射鏡41、第三反射鏡71，多個探測器包括第一探測器43、第二探測器53、第三探測器63和第四探測器73。多個波片包括第一波片42、第二波片52、第三波片62和第四波片72。第一波片42和第四波片72為1/4波片，第二波片52和第三波片62為1/2波片。第一半反半透鏡2對應第一反射鏡3和第二半反半透鏡51設置，第一反射鏡3對應第三半反半透鏡61設置。第二反射鏡41設置在第一波片42前側，第二半反半透鏡51設置在第二波片52前側，第三半反半透鏡61設置在第三波片62前側，第三反射鏡71設置在第四波片72前側。

本實用新型提供的分光棱鏡波片移相干涉系統如圖1所示，是在同一時刻不同位置獲得具有特定相移的多幅干涉圖，這時盡管系統依然處于振動環境中，但對各干涉圖的影響相同，從根本上克服了振動的影響，實現了相位的動態測量。采用分光系統將入射光分成完全相同的四組光束，經過波片時，通過四路探測器分別接收對應相移的干涉圖，計算此時的相位分布。

以上所述之具體實施方式為本實用新型的較佳實施方式，并非以此限定本實用新型的具體實施范圍，本實用新型的范圍包括并不限于本具體實施方式，凡依照本實用新型之形狀、結構所作的等效變化均在本實用新型的保護范圍內。