[實用新型]擴展光源干涉儀

有效

• 申請號: 201520271382.1
• 申請日: 2015-04-27
• 公開（公告）號: CN204807035U
• 公開（公告）日: 2015-11-25
• 發明（設計）人: 林永東
• 申請（專利權）人: 林永東
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種擴展光源干涉儀，其特征在于：所述干涉儀主要由激光器(1)、擴束鏡(2)、SLM(3)、第一透鏡(4)、第二透鏡(6)、毛玻璃(7)、第三透鏡(8)、分光鏡(9)、平面反射鏡(10)和準直鏡(12)構成，按照激光光線的方向依次設置激光器(1)、擴束鏡(2)、SLM(3)、第一透鏡(4)、第二透鏡(6)、毛玻璃(7)、第三透鏡(8)和分光鏡(9)，待測鏡(11)設置在分光鏡(9)的后側。

2.根據權利要求1所述的擴展光源干涉儀，其特征在于：所述第一透鏡(4)和第二透鏡(6)之間設置由小孔光闌(5)。

3.根據權利要求1所述的擴展光源干涉儀，其特征在于：所述激光器(1)出射的是15mW線偏振光。

4.根據權利要求2所述的擴展光源干涉儀，其特征在于：所述毛玻璃(7)為旋轉毛玻璃。

5.根據權利要求1所述的擴展光源干涉儀，其特征在于：所述平面反射鏡(10)和準直鏡(12)的法線方向與激光器(1)的出射激光方向互相垂直，分別設置在分光鏡(9)的兩側。

6.根據權利要求1-5之一所述的擴展光源干涉儀，其特征在于：所述干涉儀還包括CCD(13)和計算機(14)，所述計算機(14)分別與SLM(3)和CCD(13)連接，所述CCD(13)設置在準直鏡(12)后側。