[實用新型]用于等離子反應裝置的襯套單元

有效

• 申請號: 201520264626.3
• 申請日: 2015-04-28
• 公開（公告）號: CN204668276U
• 公開（公告）日: 2015-09-23
• 發明（設計）人: 姜文興
• 申請（專利權）人: 姜文興
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H01L21/67
• 代理公司: 上海翼勝專利商標事務所(普通合伙) 31218
• 代理人: 翟羽

1.一種用于等離子反應裝置的襯套單元，其特征在于，所述等離子反應裝置具有一第一腔體以及一第二腔體，所述襯套單元包含：

一第一連接部，用于與所述第一腔體連接，并且所述第一連接部與所述第一腔體的一內側壁的結構互補；以及

一第二連接部，用于與所述第二腔體的一對接部對接，所述第一連接部及所述第二連接部兩者的橫向邊長尺寸不同。

2.如權利要求1所述的襯套單元，其特征在于，所述第一連接部的橫向邊長尺寸小于所述第二連接部的橫向邊長尺寸。

3.如權利要求1所述的襯套單元，其特征在于，所述襯套單元的所述第一連接部與所述第一腔體結合后，所述襯套單元的所述第二連接部突伸出所述第一腔體的一第一端口，并且所述第二連接部收容于所述第二腔體之內。

4.如權利要求1所述的襯套單元，其特征在于，所述第一連接部的橫向邊長尺寸大于所述第二連接部的橫向邊長尺寸。

5.如權利要求1所述的襯套單元，其特征在于，所述襯套單元的所述第一連接部與所述第一腔體結合后，所述第二腔體的所述對接部突伸入所述襯套單元，并且收容于所述襯套單元之內。

6.如權利要求1所述的襯套單元，其特征在于，所述等離子反應裝置包含一第三腔體，并且所述襯套單元進一步包含一第三連接部，相對于所述第二連接部，所述襯套單元連貫所述第二腔體并且所述第三連接部用于與所述第三腔體的一對接部連接。

7.如權利要求6所述的襯套單元，其特征在于，所述第一連接部及所述第三連接部兩者的橫向邊長尺寸不同。

8.如權利要求1所述的襯套單元，其特征在于，所述第一連接部和所述第二連接部兩者至少其中之一包含環形結構或其他幾何結構。

9.如權利要求1所述的襯套單元，其特征在于，所述襯套單元進一步包含一第一襯套和一第二襯套，所述第一襯套和所述第二襯套分別包含用于與所述第一腔體連接的所述第一連接部和用于與另一腔體連接的所述第二連接部，所述第一襯套的所述第一連接部及所述第二連接部兩者的橫向邊長尺寸不同，以及所述第二襯套的所述第一連接部及所述第二連接部兩者的橫向邊長尺寸不同。

10.如權利要求9所述的襯套單元，其特征在于，所述第一襯套和所述第二襯套分別包含結構互補的第三連接部，并且當所述第一襯套和所述第二襯套分別與所述第一腔體結合后，所述第一襯套和所述第二襯套的所述數個第三連接部互相接合。

11.如權利要求1所述的襯套單元，其特征在于，所述襯套單元進一步包含多個襯套，所述多個襯套分別包含用于與所述第一腔體連接的所述第一連接部和用于與另一腔體連接的所述第二連接部，所述多個襯套的所述第一連接部及第二連接部兩者的橫向邊長尺寸不同。

12.如權利要求1所述的襯套單元，其特征在于，當所述襯套單元的所述第二連接部與所述第二腔體的所述對接部對接后，所述第二連接部與所述第二腔體之間形成一容置空間，用于容置一氣密元件。

13.如權利要求12所述的襯套單元，其特征在于，所述襯套單元的所述第二連接部形成為一階梯狀，包含一第一階、一第二階和一第三階，當所述襯套單元的所述第二連接部與所述第二腔體的所述對接部對接后，所述第二腔體的所述對接部與所述第一階的一第一水平階梯面和所述第三階的一第三水平階梯面連接，并且與所述第二階共同形成容置所述氣密元件的所述容置空間。

14.一種用于等離子反應裝置的襯套單元，其特征在于，所述等離子反應裝置具有一第一腔體以及多個第二腔體，所述襯套單元包含：

一第一連接部，用于與所述第一腔體連接，并且所述第一連接部與所述第一腔體的一內側壁的結構互補；以及

多個第二連接部，用于分別與所述多個第二腔體的一對接部對接，所述第一連接部及每一所述第二連接部兩者的橫向邊長尺寸不同。