[實用新型]空間移相系統

有效

• 申請號: 201520261942.5
• 申請日: 2015-04-25
• 公開（公告）號: CN204831569U
• 公開（公告）日: 2015-12-02
• 發明（設計）人: 林燕彬
• 申請（專利權）人: 林燕彬
• 主分類號: G01J9/02
• 分類號: G01J9/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種利用空間移相干涉測量技術進行測試的空間移相系統，屬于干涉儀領域。

背景技術

移相干涉術是以光波波長為單位的非接觸式測量技術，具有極高的測量精度和靈敏度，被認為是檢測精密元件的最準確技術之一。早在200多年前，人們就注意到了了光的干涉現象，并開始有計劃的控制干涉現象。但是直到1960年第一臺紅寶石激光器的研制成功，干涉現象才開始廣泛應用于測量領域。傳統的干涉測量技術主要是通過照相或人眼直接觀察干涉條紋，手工計算測量結果的方式進行的，效率低下，主觀誤差較大。1974年Bruning等人首次將通訊領域中的相位探測技術引入到光學測量中，使經典的干涉測量技術從微米級跨入納米級，實現光學計量測試的重大突破。80年代以來，隨著激光技術、光電探測技術、計算機技術、圖像處理技術和精密機械等技術在光學測試中的逐步應用，移相干涉技術得到進一步發展，實現了實時、快速、多參數、自動化的測量。

時間移相是在不同時刻引入有序相移并記錄多幅干涉圖，并通過不同的算法得出待測的相位分布。而時間移相法是通過探測器在同一空間位置不同時刻采集，得到不同相移的干涉圖，此方法對作用于被測元件的振動非常敏感，因此只適用于靜態或準靜態位相的測量，不能用于動態測量。

實用新型內容

為了克服現有技術的不足，解決好現有技術的問題，彌補現有目前市場上現有產品的不足。

本實用新型提供了一種空間移相系統，主要包括光源、多個半反半透鏡、多個反射鏡、多個探測器和多個移相器，其中，每個探測器對應一個移相器，多個探測器之間并列平行設置，多個移相器也并列平行設置。

優選的，上述多個半反半透鏡包括第一半反半透鏡、第二半反半透鏡和第三半反半透鏡。

優選的，上述多個反射鏡包括第一反射鏡、第二反射鏡、第三反射鏡。

優選的，上述第一半反半透鏡對應第一反射鏡和第二半反半透鏡設置，所述第一反射鏡對應第三半反半透鏡設置。

優選的，上述第二反射鏡設置在第一移相器前側，第二半反半透鏡設置在第二移相器前側，第三半反半透鏡設置在第三移相器前側，第三反射鏡設置在第四移相器前側。

優選的，上述光源發出的光線經過第一半反半透鏡后，一路經過第二半反半透鏡后分別到達第二移相器和到達第二反射鏡，另一路經第一反射鏡反射后到達第三半反半透鏡，再分別到達第三移相器和第三反射鏡。

本實用新型提供的空間移相系統是在同一時刻不同位置獲得具有特定相移的多幅干涉圖，這時盡管系統依然處于振動環境中，但對各干涉圖的影響相同，從根本上克服了振動的影響，實現了相位的動態測量。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖。

附圖標記：1-光源；2-第一半反半透鏡；3-第一反射鏡；41-第二反射鏡；42一第一移相器；43-第一探測器；51-第二半反半透鏡；52-第二移相器；53-第二探測器；61-第三半反半透鏡；62一第三移相器；63-第三探測器；71-第三反射鏡；72-第四移相器；73-第四探測器。

具體實施方式

為了便于本領域普通技術人員理解和實施本實用新型，下面結合附圖及具體實施方式對本實用新型作進一步的詳細描述。

如圖1所示，本實用新型提供的空間移相系統，空間移相系統主要包括光源1、多個半反半透鏡、多個反射鏡、多個探測器和多個移相器，其中，每個探測器對應一個移相器，多個探測器之間并列平行設置，多個移相器也并列平行設置。

其中，多個半反半透鏡包括第一半反半透鏡2、第二半反半透鏡51和第三半反半透鏡61。多個反射鏡包括第一反射鏡3、第二反射鏡41、第三反射鏡71。第一半反半透鏡2對應第一反射鏡3和第二半反半透鏡51設置，第一反射鏡3對應第三半反半透鏡61設置。第二反射鏡41設置在第一移相器42前側，第二半反半透鏡51設置在第二移相器52前側，第三半反半透鏡61設置在第三移相器62前側，第三反射鏡71設置在第四移相器72前側。

本實用新型的工作方法是：光源1發出的光線經過第一半反半透鏡2后，一路經過第二半反半透鏡51后分別到達第二移相器52和到達第二反射鏡41，另一路經第一反射鏡3反射后到達第三半反半透鏡61，再分別到達第三移相器62和第三反射鏡71。