[實用新型]一種超聲噴霧熱解鍍膜裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520257987.5
• 申請日: 2015-04-27
• 公開（公告）號: CN204570035U
• 公開（公告）日: 2015-08-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 程江;李璐;閆雪蓮;楊鑫;胡榮;張晟熙
• 申請（專利權(quán)）人: 重慶文理學(xué)院
• 主分類號: C23C18/12
• 分類號: C23C18/12
• 代理公司: 重慶弘旭專利代理有限責(zé)任公司 50209
• 代理人: 熊雄

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種濕法鍍膜裝置，特別是一種超聲噴霧熱解鍍膜裝置。

背景技術(shù)

超聲噴霧熱解鍍膜是利用超聲波打擊液體，使水柱邊緣產(chǎn)生霧氣，采用載氣將霧氣運輸至加熱的基片，在基片表面沉積薄膜的技術(shù)，非常適合用于制備氧化鋅、氧化錫、氧化鉬等薄膜。相對于其他濕法鍍膜技術(shù)，其優(yōu)勢在于制備的薄膜品質(zhì)較好，雜質(zhì)和缺陷密度低；相對于真空鍍膜技術(shù)，具有低成本、大面積等優(yōu)勢，經(jīng)過一定改進，可實現(xiàn)卷對卷(Roll-to-Roll)生產(chǎn)。但是，在現(xiàn)有的超聲噴霧熱解鍍膜裝置中進行制備薄膜材料，多數(shù)采用管式爐或固定加熱臺對基片進行加熱,薄膜均勻性和厚度難以控制，且重復(fù)性差。

在CN1887444A和CN101070593A的發(fā)明專利申請文件中均對噴霧頭的形狀進行了設(shè)計，雖然具有一定的效果，但仍未從根本上解決問題。采用CN103757613A的發(fā)明專利申請中公開的XY可移動熱平臺，在一定程度上可以提高超聲噴霧熱解制備的薄膜尺寸和均勻性，然而薄膜的尺寸越大，需要的鍍膜時間越長。由于長時間工作，導(dǎo)致超聲噴霧器發(fā)熱量過大，易造成設(shè)備的損壞。雖然市面上的某些超聲噴霧器安裝了溫度過高保護功能，但同時限制了超聲噴霧器的連續(xù)工作。此外，超聲噴霧鍍膜設(shè)備長時間工作之后，霧氣容易在管道和出口處凝結(jié)成水滴，一旦滴于基片表面將會對薄膜造成嚴重的破壞。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的就是提供一種可長時間工作且能夠制備大面積薄膜的超聲噴霧熱解鍍膜裝置。

本實用新型的目的是通過這樣的技術(shù)方案實現(xiàn)的，一種超聲噴霧熱解鍍膜裝置，包括氣柜、超聲霧化裝置、噴霧頭、和帶基片的加熱臺，所述氣柜通過進氣管與超聲霧化裝置連通，所述超聲霧化裝置通過管道與噴霧頭連通，所述噴霧頭位于加熱臺上方且與加熱臺相對應(yīng)，在所述加熱臺下方設(shè)置有XY移動平臺，在所述超聲霧化裝置外設(shè)置有冷卻裝置。

其中，所述冷卻裝置包括雙層杯體冷卻桶，在所述雙層杯體之間具有冷卻腔，在所述冷卻桶的上部和下部分別設(shè)置有與冷卻腔連通的冷卻水出水口和冷卻水進水口，所述超聲霧化裝置位于冷卻桶內(nèi)。

進一步描述，所述超聲霧化裝置包括均位于冷卻桶內(nèi)的料杯和超聲霧化器，所述超聲霧化器位于料杯的下方，所述料杯具有密封蓋，所述進氣管和管道均穿過密封蓋與料杯連通。

為了防止滴水問題的產(chǎn)生，所述噴霧頭包括圓柱形中空噴頭體，在所述噴頭體的下端設(shè)置有穿過噴頭體的噴霧嘴，所述噴霧嘴的上部與噴頭體下部的內(nèi)腔構(gòu)成存水槽，在所述噴頭體的下部設(shè)置有與存水槽連通的出水口，所述出水口通過橡膠管與廢液杯連接。

為了能夠自動調(diào)節(jié)噴霧頭的高度，所述管道通過管夾與豎直設(shè)置的絲杠滑臺連接。

由于采用了上述技術(shù)方案，本實用新型具有結(jié)構(gòu)設(shè)計巧妙、操作方便、成本低廉的優(yōu)點，采用它不但能夠長時間進行大面積薄膜的制備，使薄膜的產(chǎn)品面積和厚度得到控制，而且還解決了鍍膜過程中滴水問題的產(chǎn)生，提高了薄膜產(chǎn)品的成品率及品質(zhì)。

附圖說明

本實用新型的附圖說明如下：

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型的超聲霧化裝置和冷卻裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實用新型的噴霧頭結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本實用新型的具體實施方式作進一步詳細的說明，但本實用新型并不局限于這些實施方式，任何在本實施例基本精神上的改進或替代，仍屬于本實用新型權(quán)利要求所要求保護的范圍。

實施例1：如圖1所示，一種超聲噴霧熱解鍍膜裝置，包括氣柜1、超聲霧化裝置、噴霧頭、和帶基片2的加熱臺3，所述氣柜1通過進氣管4與超聲霧化裝置連通，所述超聲霧化裝置通過管道5與噴霧頭連通，所述噴霧頭位于加熱臺3上方且與加熱臺3相對應(yīng)，在所述加熱臺3下方設(shè)置有XY移動平臺13，在所述超聲霧化裝置外設(shè)置有冷卻裝置。

如圖2所示，本實用新型的冷卻裝置包括雙層杯體冷卻桶6，在所述雙層杯體之間具有冷卻腔7，在所述冷卻桶6的上部和下部分別設(shè)置有與冷卻腔7連通的冷卻水出水口8和冷卻水進水口9，所述超聲霧化裝置位于冷卻桶6內(nèi)。

進一步，上述超聲霧化裝置包括均位于冷卻桶6內(nèi)的料杯10和超聲霧化器11，所述超聲霧化器11位于料杯10的下方，所述料杯10具有密封蓋12，所述進氣管4和管道5均穿過密封蓋12與料杯10連通。