[實(shí)用新型]一種自動(dòng)式特殊氣體分配箱

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520253663.4
• 申請(qǐng)日: 2015-04-23
• 公開（公告）號(hào): CN204647848U
• 公開（公告）日: 2015-09-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 甘萬(wàn)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海盛韜半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): F17C13/00
• 分類號(hào): F17C13/00;F17C13/04;F17C13/02;F17D5/02
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及特殊氣體輸送領(lǐng)域，尤其涉及一種自動(dòng)式特殊氣體分配箱。

背景技術(shù)

由于全球電子和光伏產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體和光伏制造業(yè)也得到了迅猛的發(fā)展。據(jù)2006年中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)研究報(bào)告指出：“2006年底，中國(guó)國(guó)內(nèi)有近50家晶圓制造廠，112家IC封裝和IC裝配廠，450家IC設(shè)計(jì)公司。2006年中國(guó)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值807億元人民幣，大約為100億美元，其中封測(cè)350億元，晶圓制造242億元，IC設(shè)計(jì)215億元。中國(guó)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體市場(chǎng)的規(guī)模在2006年超過(guò)600億美元。其中前20大廠家就占有300億美元以上。”光伏產(chǎn)業(yè)在近兩年快速發(fā)展，是未來(lái)新能源產(chǎn)業(yè)的主力軍。

而在半導(dǎo)體和光伏相關(guān)產(chǎn)業(yè)常用的制程中，往往需要使用許多特殊氣體，其中一些有毒、腐蝕、可燃的氣體危害性相當(dāng)高，一旦這些氣體供應(yīng)系統(tǒng)發(fā)生閥件適當(dāng)損壞(如受腐蝕或人為操作失誤等因素)造成氣體泄漏，將威脅到人員生命安全、設(shè)備損失及生產(chǎn)中斷，其危害性是讓我們必特別重視且不可小看的。

其中，特殊氣體分配箱在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中使用非常廣泛。在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的初期曾發(fā)生不少的事故。數(shù)據(jù)顯示，特殊氣體分配箱意外事故常造成事業(yè)單位財(cái)產(chǎn)損失、環(huán)境污染、人員傷亡、爆炸及死亡問(wèn)題。而造成意外事故的主要原因?yàn)槿藶槭д`。國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體廠都采用各種管理及危害分析方法來(lái)達(dá)到風(fēng)險(xiǎn)的適當(dāng)控制，但在人員手動(dòng)控制的狀態(tài)下，仍然無(wú)法降低風(fēng)險(xiǎn)性。

特殊氣體分配箱是一種用在半導(dǎo)體和光伏產(chǎn)業(yè)中的設(shè)備，主要是為工藝機(jī)臺(tái)連續(xù)配送工藝氣體。因工藝一般為鋼瓶包裝，在工廠運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中須不斷更換新的氣體鋼瓶，拆除在線的用空的氣體鋼瓶，即鋼瓶更換流程。在鋼瓶更換過(guò)程中為保證有毒有害氣體不外漏而威脅到人身安全，拆除用空的鋼瓶前，須用高純氮?dú)庵脫Q與鋼瓶相連的管線內(nèi)的有毒有害氣體，這在鋼瓶更換流程稱之為換瓶前吹。為確保有毒有害氣體能置換干凈，須重復(fù)開關(guān)排空閥和吹掃閥60次以上。當(dāng)空鋼瓶拆除換裝上新的鋼瓶后須對(duì)新裝好的鋼瓶接口做泄漏測(cè)試。對(duì)泄漏測(cè)試通過(guò)的鋼瓶我們要做換瓶后吹掃，以清除換瓶過(guò)程中有可能帶入氣體管線的空氣、水分和微小的顆粒。這個(gè)過(guò)程須連續(xù)持續(xù)3至4小時(shí)。

目前，現(xiàn)有特殊氣體分配箱的操作均須人工手動(dòng)來(lái)完成。因此帶來(lái)諸多不合理因素：1、操作員機(jī)械連續(xù)重復(fù)同一個(gè)動(dòng)作，誤操作幾率高。2、操作員在整個(gè)操作過(guò)程中因需要手動(dòng)開關(guān)閥門，直接面對(duì)輸送有毒有害氣體設(shè)備時(shí)間長(zhǎng)，人員安全風(fēng)險(xiǎn)大。3、手動(dòng)特殊氣體輸送柜在有氣體泄漏、火災(zāi)報(bào)警等緊急情況是無(wú)法自己關(guān)閉閥門，切斷氣源來(lái)減少危害。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種自動(dòng)式特殊氣體分配箱，可以有效的確保工廠正常生產(chǎn)和員工人身安全，實(shí)現(xiàn)設(shè)備狀況現(xiàn)場(chǎng)顯示，同時(shí)具備操作人員無(wú)需直接接觸有毒、有害介質(zhì)等優(yōu)點(diǎn)。

上述的一種自動(dòng)式特殊氣體分配箱，包括箱體和設(shè)置于箱體表面的聲光報(bào)警器、觀察窗以及雙開門，所述雙開門位于箱體的上部，所述觀察窗位于箱體的下部，所述聲光報(bào)警器和觀察窗均位于雙開門上；其中，所述箱體的內(nèi)部包括控制操作單元、氣瓶工作單元、吹掃單元以及報(bào)警單元；

所述控制操作單元包括控制器、操控裝置以及控制電路，所述操控裝置和控制電路均位于箱體的下部，所述操控裝置通過(guò)控制器與控制電路相連；所述氣瓶工作單元包括氣動(dòng)調(diào)節(jié)閥、壓力傳感器、過(guò)濾器以及工作管路，所述氣動(dòng)調(diào)節(jié)閥與控制器相連；

所述吹掃單元包括吹掃氣體進(jìn)口、氣動(dòng)吹掃氮?dú)飧綦x閥、氣動(dòng)排放閥以及真空泵，所述吹掃氣體進(jìn)口位于箱體上，所述氣體吹掃氮?dú)飧綦x閥的一端通過(guò)工作管路與吹掃氣體進(jìn)口相互連通，所述真空泵位于箱體的內(nèi)部，所述真空泵的出口通過(guò)管道連接到所述的箱體外；

所述報(bào)警單元包括氣體泄露傳感器和所述聲光報(bào)警器，所述氣體泄露傳感器位于箱體的內(nèi)部且與控制器相連；所述箱體的內(nèi)部還設(shè)置有氣動(dòng)閥。

上述設(shè)備中，所述吹掃單元還包括單向閥，所述單向閥位于吹掃氣體進(jìn)口與氣動(dòng)吹掃氮?dú)飧綦x閥之間。

上述設(shè)備中，所述操控裝置為觸摸屏。

上述設(shè)備中，所述觀察窗為防爆玻璃窗。

上述設(shè)備中，所述氣動(dòng)排放閥包括高壓氣動(dòng)排放閥、低壓氣動(dòng)排放閥以及隔離閥。

上述設(shè)備中，所述吹掃單元還設(shè)置有微流閥，所述微流閥的進(jìn)口端與吹掃氣體進(jìn)口相連通，所述微流閥的出口端與工作管路相連接。