[實用新型]一種用于激光切割設備的陶瓷吸附平臺

有效

• 申請號: 201520252563.X
• 申請日: 2015-04-23
• 公開（公告）號: CN204747780U
• 公開（公告）日: 2015-11-11
• 發明（設計）人: 侯若洪;楊偉
• 申請（專利權）人: 深圳光韻達激光應用技術有限公司
• 主分類號: B23K26/70
• 分類號: B23K26/70;B23K26/38
• 代理公司: 深圳新創友知識產權代理有限公司 44223
• 代理人: 余敏

【技術領域】

本實用新型涉及吸附平臺，特別是涉及一種用于激光切割設備的吸附平臺。

【背景技術】

激光加工中有多種聚焦方式，常用的有聚焦鏡直接聚焦和振鏡加平場鏡兩種，其中振鏡加平場鏡的組合方式加工速度快、方法靈活等優點而得到廣泛的應用。其對于激光源無特殊要求，可以搭載各種波長、脈寬類型的激光器。加工材料主要針對于較薄的平板型材料，包括聚合物薄膜、玻璃、陶瓷、金屬薄膜薄板等。

如圖1所示，為振鏡加平場鏡式激光切割設備的結構示意圖。主要結構包括機臺1、運動平臺2、吸附平臺3、激光器及光路4(擴束鏡、反射鏡、振鏡、平場鏡等)四個部分。其中，吸附平臺3用于將待切割的材料放置其上，利用吸氣裝置產生真空負壓來吸附固定材料，然后利用激光聚焦于待切割的材料進行切割。

如圖2和3所示，分別為激光切割設備的俯視示意圖和側視示意圖。吸附平臺包括外圍支撐板302和上方鏤空板301。外圍支撐板302內部為空腔，通過通氣口7連接外部的抽氣管道，在內部空腔內形成負壓。鏤空板301為開設有圓形、六邊形或者矩形形狀的通孔的平板。在支撐板302上覆蓋鏤空板301用來支撐被切割材料9。吸附平臺的工作原理通過通氣口7連接外部的抽氣管道、吸氣系統，通過吸氣系統來調節吸力，產生真空負壓來達到吸附固定被切割材料9的目的。該吸附平臺的一個缺點是：對于一切柔軟易變形的薄膜材料進行吸附時，薄膜材料會因吸力而凹陷變形，切割時會離焦，影響切割，尤其是通氣口附近吸附力大變形會更大。對于金屬薄膜材料吸附變形后還存在無法恢復的問題。另外，鏤空板材料受到激光照射后會碳化發黑，粘在被切割材料上，污染材料。

【實用新型內容】

本實用新型所要解決的技術問題是：彌補上述現有技術的不足，提出一種用于激光切割設備的陶瓷吸附平臺，吸附柔性薄膜材料時不會發生塌陷變形的現象，且切割過程不會造成材料被污染。

本實用新型的技術問題通過以下的技術方案予以解決：

一種用于激光切割設備的陶瓷吸附平臺，包括平板和支撐板；所述平板為具有微孔結構的陶瓷板，所述微孔結構為尺寸在0.05～0.2毫米的孔洞，所述陶瓷板的厚度為15～25毫米；所述平板位于所述支撐板的上方，所述支撐板的側壁和/或底部開設有供連接抽氣管道的通氣口結構。

優選的技術方案中，

所述陶瓷吸附平臺還包括格柵結構，所述格柵結構位于所述支撐板的內部空腔中；所述格柵結構包括橫豎交錯排列的多個金屬片結構，所述金屬片結構為其上設置有多個孔和溝槽的金屬片，所述溝槽設置在兩個孔之間，用于供兩個金屬片結構相互嵌合。

本實用新型與現有技術對比的有益效果是：

本實用新型的吸附平臺，使用一定厚度的微孔結構的陶瓷材料作為平板，微孔結構的孔洞尺寸在0.05～0.2毫米，可以使空氣透過，從而達到吸附目的。由于孔洞尺寸在0.05～0.2毫米，遠小于傳統的蜂窩狀鏤空板的孔的尺寸，鏤空比約為10％，因此即便吸附柔性薄膜材料，也不會出現薄膜材料凹陷進孔洞中造成塌陷變形的現象。而吸附平臺采用陶瓷材料，陶瓷材料耐激光切割，切割后不會產生碳化等污染源，因此不會造成被切割材料的污染。

【附圖說明】

圖1是現有技術中的振鏡加平場鏡式激光切割設備的結構示意圖；

圖2是現有技術中的振鏡加平場鏡式激光切割設備的俯視結構示意圖

圖3是現有技術中的振鏡加平場鏡式激光切割設備的側視結構示意圖；

圖4是本實用新型具體實施方式的吸附平臺的結構示意圖；

圖5是本實用新型具體實施方式的吸附平臺的平板的結構示意圖；

圖6是本實用新型具體實施方式的吸附平臺中的柵格結構的示意圖；

圖7是本實用新型具體實施方式的吸附平臺中的金屬片結構的示意圖；

圖8是圖7所示的金屬片結構交錯排列形成柵格結構的狀態示意圖。

【具體實施方式】

下面結合具體實施方式并對照附圖對本實用新型做進一步詳細說明。

如圖4所示，為本具體實施方式的吸附平臺的結構示意圖。吸附平臺包括平板100、支撐板102。如圖5所示，平板100為具有微孔結構的陶瓷板，所述微孔結構為尺寸在0.05～0.2毫米的孔洞，所述陶瓷板的厚度為15～25毫米。平板100位于支撐板102的上方，支撐板102的側壁和/或底部開設有供連接抽氣管道的通氣口結構7。其中，通氣口結構7可以設定在吸附平臺的側面或底面，數量可以為一個到多個。