[實(shí)用新型]一種激光背面焊接制備正面微納結(jié)構(gòu)的裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201520251181.5 | 申請(qǐng)日： | 2015-04-17 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN204504508U | 公開（公告）日： | 2015-07-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 于艷玲 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 溫州職業(yè)技術(shù)學(xué)院 |
| 主分類號(hào)： | B23K26/21 | 分類號(hào)： | B23K26/21;B23K26/064;B23K26/70 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 325035 浙江省溫州*** | 國(guó)省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 激光 背面 焊接 制備 正面 結(jié)構(gòu) 裝置 | ||
1.一種激光背面焊接制備正面微納結(jié)構(gòu)的裝置，其特征在于，包括圓柱筒形工作臺(tái)(1)、線圈(2)、基板夾持機(jī)構(gòu)(3)、掃描聚焦透鏡(4)和XY兩軸激光振鏡(5)；
所述圓柱筒形工作臺(tái)(1)內(nèi)部中空，上表面為工作面，工作面上放置有待制備微納結(jié)構(gòu)的基板(8)，所述基板(8)通過基板夾持機(jī)構(gòu)(3)夾持固定；所述工作面上設(shè)置有一圓孔(6)，所述圓孔(6)上安裝有全透保護(hù)鏡片；所述線圈(2)沿圓柱筒形工作臺(tái)(1)的圓周方向纏繞，用于在通電時(shí)產(chǎn)生與基板(8)垂直的豎直方向磁場(chǎng)；所述圓柱筒形工作臺(tái)(1)的側(cè)面設(shè)置有一激光入射孔(7)，掃描聚焦透鏡(4)和XY兩軸激光振鏡(5)均安裝在圓柱筒形工作臺(tái)(1)的內(nèi)部中空腔內(nèi)；
外部激光束從激光入射孔(7)水平入射至XY兩軸激光振鏡(5)，經(jīng)XY兩軸激光振鏡(5)的反射后垂直入射至掃描聚焦透鏡(4)，激光束經(jīng)掃描聚焦透鏡(4)聚焦后透過全透保護(hù)鏡片輸出聚焦光斑至基板(8)的背面。
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說明：
1、專利原文基于中國(guó)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書；
2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利（升級(jí)中）；
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