[實用新型]掃描電子顯微鏡

有效

• 申請號: 201520249489.6
• 申請日: 2015-04-19
• 公開（公告）號: CN204809184U
• 公開（公告）日: 2015-11-25
• 發明（設計）人: 劉曉嵐
• 申請（專利權）人: 劉曉嵐
• 主分類號: H01J37/28
• 分類號: H01J37/28
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及顯微領域，尤其涉及一種掃描電子顯微鏡。

背景技術

在材料科學中，隨著半導體器件和新材料等高技術的發展，往往要求對表面的精細結構能觀察到分子或原子量級的大小。特別是納米材料，由于其尺寸被限制在100nm以下，因此需要能夠對這種小尺寸的材料進行高精度顯像的設備來進一步支撐納米材料的發展。本實用新型提出一種掃描電子顯微鏡，通過設置放大器的反饋來控制電子探針的掃描頻率和強度，實現對材料的高精度顯像，從而能夠對各種材料進行多種形式的表面的觀察與分析。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型提供了一種掃描電子顯微鏡，包括電子槍、聚光鏡、物鏡、掃描線圈、電子探針、收集器、樣品臺、閃爍器、光電倍增管、放大器、顯像管以及掃描發生器；所述電子槍的發生方向依次設置有聚光鏡、物鏡以及樣品臺，所述電子探針設置在樣品臺上方對樣品進行掃描，所述電子探針通過掃描線圈與所述掃描發生器連接；所述收集器設置在樣品臺附近對樣品的次電子進行收集，所述收集器與所述閃爍器相連，所述閃爍器與所述光電倍增管相連，所述光電倍增管與所述放大器連接，所述放大器還連接所述顯像管以及掃描發生器。

所述電子槍、聚光鏡、物鏡、掃描線圈、電子探針、收集器以及樣品臺均設置在鏡筒內。

所述掃描電子顯微鏡還設置有真空系統，用于在所述鏡筒內產生真空環境。

所述放置于樣品臺上的樣品在固定、脫水后，要噴涂上一層重金屬微粒。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作一簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員而言，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型一實施例提供的掃描電子顯微鏡的結構示意圖。

具體實施方式

為使本實用新型實施例的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整的描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

圖1為本實用新型一實施例提供的掃描電子顯微鏡的結構示意圖，如圖1所示，本實施例的掃描電子顯微鏡通過電子與樣品的相互作用，能夠顯示樣品的各種圖像。本實施例的掃描電子顯微鏡的電子槍發射電子束(一般為50μm)，并經過其陰陽極間的加速電壓(2～30kV)后，由聚光鏡及物鏡進行聚焦，形成電子束斑(約10nm)，然后照射到樣品表面。電子探針通過掃描線圈的作用，在樣品表面做光柵狀掃描(光柵線條數目取決于行掃描和幀掃描速度)，當入射電子打到樣品表面時，將有99％以上的入射電子能量轉變成樣品熱能，約1％的入射電子能量，將激發樣品產生各種有用的信息，包括二次電子、背散射電子和X射線等，不同的信息，從樣品中所得到各種信息的強度和分布同樣品表面形貌、成分、晶體取向以及表面狀態的一些物理性質(如電性質、磁性質等)等因素有關。激發出的次級電子的多少與電子束入射角度和樣品表面的起伏有關，次級電子越多的地方，在影像上相應的點就越亮，反之則暗。次級電子由收集器收集，然后由閃爍器轉變為光信號，再經光電倍增管和放大器轉變為電信號來控制顯像管上電子束的強度，顯示出與電子束同步的掃描圖像。圖像為立體形象，反映了標本的表面結構。放大器同時將電信號反饋給掃描發生器，對掃描發生器的強度和頻率進行調整。

為了使標本表面發射出次級電子，標本在固定、脫水后，要噴涂上一層重金屬微粒，重金屬在電子束的轟擊下發出次級電子信號。

最后應說明的是：以上實施例僅用以說明本實用新型的技術方案，而非對其限制；盡管參照前述實施例對本實用新型進行了詳細的說明，本領域的普通技術人員應當理解：其依然可以對前述各實施例所記載的技術方案進行修改，或者對其中部分技術特征進行等同替換，而這些修改或者替換，并不使相應技術方案的本質脫離本實用新型各實施例技術方案的精神和范圍。