[實用新型]一種晶硅太陽能電池氧化設備

有效

• 申請號: 201520243525.8
• 申請日: 2015-04-21
• 公開（公告）號: CN204538069U
• 公開（公告）日: 2015-08-05
• 發明（設計）人: 孫晨財;勾憲芳;高榮剛
• 申請（專利權）人: 中節能太陽能科技（鎮江）有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 北京天平專利商標代理有限公司 11239
• 代理人: 繆友菊

技術領域

本實用新型屬于半導體設備制造領域，具體涉及一種晶硅太陽能電池氧化設備。

背景技術

在晶硅太陽能電池制造過程中，通過在硅片表面形成一層納米級厚度的氧化硅層，可有效防止晶硅太陽能組件PID效應的產生。國內現有的形成氧化層的方法有：1）使用笑氣結合管式PECVD設備，在鍍膜前形成一層氧化層；2）利用氧氣在高溫氧化爐內形成一層氧化層；3）在清洗刻蝕下料部分使用臭氧噴淋的方式形成一層氧化層。

上述3個形成氧化層的方法均存在其局限性及缺點：

1）笑氣改造管式PECVD設備成本昂貴；

2）高溫氧化形成氧化層成本高，能耗高、成品率低；

3）噴淋時間難以控制，氧化層厚度不可控。

發明內容

本實用新型要解決的技術問題是：提供一種結構簡單，兼容能力強，可在現在技術條件下實現對硅片的批量氧化處理的晶硅太陽能電池氧化設備。

為解決上述技術問題，本實用新型的一種晶硅太陽能電池氧化設備，由真空系統、臭氧系統以及反應腔室組成，所述真空系統由真空泵和真空管路組成，真空泵與反應腔室通過真空管路相連通，所述臭氧系統由臭氧發生器和臭氧管路組成，臭氧發生器和反應腔室通過臭氧管路相連通，所述反應腔室上設置密封門。

上述技術方案的工作原理為：

打開密封門，將刻蝕后的硅片連帶承載其的花籃置于反應腔室中，然后關閉密封門。打開真空泵，將反應腔中空氣抽出，然后關閉真空泵并開啟臭氧發生器，向反應腔室中通入臭氧，對硅片進行氧化，通過控制通入臭氧時間的長短即控制反應時間控制氧化層的厚度。

進一步地，為保證排氣充分，真空管路位于反應腔室下方并與反應腔室下部相連通。

進一步地，為使得臭氧進氣順暢且分布均勻，臭氧管路位于反應腔室上方并于反應腔室上部相連通。

進一步地，為使得反應腔室密封效果更好，密封門四周設置密封膠條。

進一步地，為方便放入和取出需氧化硅片，密封門設置2扇。

進一步地，真空泵采用羅茨真空泵。

????本實用新型的有益效果為：通過設置反應腔室、真空系統和臭氧系統，無需改變現有的太陽能電池生產流程即可對刻蝕清洗后的電池片進行氧化處理，形成氧化層后的硅片可下傳后續工序，操作簡單、能夠常溫使用并適于批量生產。此外，氧化層厚度可通過氧化時間進行調節，減少由于氧化不徹底導致的異常產生。

附圖說明

圖1為本實用新型一種晶硅太陽能電池氧化設備的結構示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步描述。

圖1示出了本實用新型一種晶硅太陽能電池氧化設備的一種具體實施方式，圖示的晶硅太陽能電池氧化設備由真空系統、臭氧系統以及反應腔室5組成，所述真空系統由真空泵1和真空管路2組成，真空泵1與反應腔室5通過真空管路2相連通，真空管路2位于反應腔室5下方并與反應腔室5下部相連通，所述臭氧系統由臭氧發生器3和臭氧管路4組成，臭氧發生器3和反應腔室5通過臭氧管路4相連通，臭氧管路4位于反應腔室5上方并于反應腔室5上部相連通，所述反應腔室5上設置2扇密封門6，密封門6四周設置密封膠條，真空泵1采用羅茨真空泵。

上述實施例的操作步驟和工作原理為：

打開密封門6，將刻蝕后的硅片連帶承載其的花籃置于反應腔室5中，然后關閉密封門6。

打開真空泵1，將反應腔室5中空氣抽出，然后關閉真空泵1并開啟臭氧發生器3，向反應腔室5中通入臭氧，對硅片進行氧化，通過控制通入臭氧時間的長短即控制反應時間控制氧化層的厚度。

如上所述，盡管參照特定的優選實施例已經表示和表述了本實用新型，但其不得解釋為對本實用新型自身的限制。在本實用新型權利要求解釋的精神和范圍前提下，可對其在形式上和細節上作出各種變化。