[實(shí)用新型]飛秒激光微形貌加工裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520241843.0
• 申請日: 2015-04-21
• 公開（公告）號: CN204711399U
• 公開（公告）日: 2015-10-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 豆照良;唐嘯鳴
• 申請（專利權(quán)）人: 天津納微華瑞科技有限公司
• 主分類號: B23K26/0622
• 分類號: B23K26/0622;B23K26/70
• 代理公司: 北京東方匯眾知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11296
• 代理人: 張淑賢;毛軍

1.一種飛秒激光微形貌加工裝置，其特征在于，

包括自動化機(jī)械手和飛秒激光裝置；

所述自動化機(jī)械手的夾持器對所述飛秒激光裝置進(jìn)行夾持；

所述飛秒激光裝置包括飛秒激光器、中性衰減片、分束片、準(zhǔn)直透鏡、小孔陣列板及聚焦透鏡，沿所述飛秒激光器射出的激光輸出光路上依次設(shè)置有中性衰減片、分束片、準(zhǔn)直透鏡、小孔陣列板及聚焦透鏡。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的飛秒激光微形貌加工裝置，其特征在于，所述自動化機(jī)械手包括夾持器、底座、移動座、旋轉(zhuǎn)臺、第一臂、第二臂及第三臂；

所述移動座可滑動的設(shè)置在所述底座上，所述旋轉(zhuǎn)臺可轉(zhuǎn)動的設(shè)置在所述移動座上，所述第一臂的一端可轉(zhuǎn)動的設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)臺上，所述第一臂的另一端與所述第二臂的一端鉸接，所述第二臂的另一端與所述第三臂的一端鉸接，所述第三臂的另一端固定有夾持器；

所述第一臂相對旋轉(zhuǎn)臺的轉(zhuǎn)動軸、第二臂相對第一臂的轉(zhuǎn)動軸及第三臂相對第二臂的轉(zhuǎn)動軸相互平行。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的飛秒激光微形貌加工裝置，其特征在于，所述飛秒激光器為輸出脈沖寬度為5～500fs；波長為800nm；脈沖重復(fù)頻率為1～1000kHz；單脈沖最大能量1μJ～500mJ的飛秒激光器。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的飛秒激光微形貌加工裝置，其特征在于，所述飛秒激光器為輸出脈沖寬度為150fs、波長為800nm、脈沖重復(fù)頻率為1kHz、單脈沖最大能量50μJ的飛秒激光器。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的飛秒激光微形貌加工裝置，其特征在于，所述飛秒激光器為輸出脈沖的能量密度為3.1×10¹³W/cm²的飛秒激光器。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的飛秒激光微形貌加工裝置，其特征在于，所述飛秒激光器為輸出脈沖寬度為150fs、波長為800nm、脈沖重復(fù)頻率為1kHz、單脈沖最大能量2mJ的飛秒激光器。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的飛秒激光微形貌加工裝置，其特征在于，所述飛秒激光器為輸出脈沖的能量密度為8.2×10⁹W/cm²的飛秒激光器。