[實(shí)用新型]臥式雙端口平面斐索干涉測(cè)試裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520241333.3
• 申請(qǐng)日: 2015-04-20
• 公開（公告）號(hào): CN204758259U
• 公開（公告）日: 2015-11-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙智亮;陳立華;林大建;葛瑞紅;趙子嘉;鄭萬(wàn)國(guó)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 成都太科光電技術(shù)有限責(zé)任公司;趙智亮
• 主分類號(hào): G01M11/02
• 分類號(hào): G01M11/02
• 代理公司: 上海精晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31253
• 代理人: 馮子玲

1.一種臥式雙端口平面斐索干涉測(cè)試裝置，特征在于其構(gòu)成包括激光光源模塊、大測(cè)試端口模塊、小測(cè)試端口模塊、變焦成像模塊和測(cè)試對(duì)準(zhǔn)模塊：

所述的激光光源模塊包括632.8nm的標(biāo)準(zhǔn)激光光源(233)和凸透聚焦物鏡組(232)，沿激光光源(233)輸出光束方向依次是凸透聚焦物鏡組(232)和第一45°分光反射鏡(231)；

所述的小測(cè)試端口模塊由沿光束前進(jìn)方向依次的第一45°分光反射鏡(231)、第二45°分光反射鏡(221)、45°切換反射鏡(214)、φ120mm口徑凸透準(zhǔn)直物鏡組(213)、φ120mm口徑透射標(biāo)準(zhǔn)平面鏡(212)和φ120mm口徑反射標(biāo)準(zhǔn)平面鏡(211)構(gòu)成，所述的第一45°分光反射鏡(231)、第二45°分光反射鏡(221)和45°切換反射鏡(114)與光路的夾角為45°，所述的φ120mm口徑凸透準(zhǔn)直物鏡組(213)的數(shù)值孔徑與所述的凸透聚焦物鏡組(232)的數(shù)值孔徑相等，且φ120mm口徑凸透準(zhǔn)直物鏡組(213)的焦點(diǎn)與所述的凸透聚焦物鏡組(232)對(duì)所述的標(biāo)準(zhǔn)激光光源(233)輸出平行光聚焦焦點(diǎn)重合，所述的φ120mm口徑透射標(biāo)準(zhǔn)平面鏡(212)在光束前進(jìn)方向上第一面為楔角面，第二面為標(biāo)準(zhǔn)平面參考面，且面形精度PV值優(yōu)于30nm，該標(biāo)準(zhǔn)平面參考面垂直于φ120mm口徑凸透準(zhǔn)直物鏡組(213)的光軸，所述的φ120mm口徑反射標(biāo)準(zhǔn)平面鏡(211)在光前進(jìn)方向上的第一面為反射標(biāo)準(zhǔn)參考面，且面形精度PV值優(yōu)于30nm，該φ120mm口徑反射標(biāo)準(zhǔn)平面鏡(211)垂直于φ120mm口徑凸透準(zhǔn)直物鏡組(213)的光軸，與φ120mm口徑透射標(biāo)準(zhǔn)平面鏡參考面形成標(biāo)準(zhǔn)干涉測(cè)試腔，被測(cè)試光學(xué)元件置于φ120mm口徑透射標(biāo)準(zhǔn)平面鏡的標(biāo)準(zhǔn)平面參考面與φ120mm口徑標(biāo)準(zhǔn)反射平面鏡(211)的反射參考面之間，實(shí)現(xiàn)干涉測(cè)試；

所述的大測(cè)試端口模塊由沿光路依次的第一45°分光反射鏡(231)、第二45°分光反射鏡(221)、45°轉(zhuǎn)折反射鏡(104)、φ600mm口徑凸透準(zhǔn)直物鏡組(103)、φ600mm口徑透射標(biāo)準(zhǔn)平面鏡(102)和φ600mm口徑反射標(biāo)準(zhǔn)平面鏡(101)構(gòu)成，第一45°分光反射鏡(231)、第二45°分光反射鏡(221)和45°轉(zhuǎn)折反射鏡(104)與光路的夾角為45°，所述的φ600mm口徑凸透準(zhǔn)直物鏡組(103)的數(shù)值孔徑與所述的凸透聚焦物鏡組(232)的數(shù)值孔徑相等，且φ600mm口徑凸透準(zhǔn)直物鏡組(103)的焦點(diǎn)與所述的凸透聚焦物鏡組(232)的焦點(diǎn)重合，所述的φ600mm口徑透射標(biāo)準(zhǔn)平面鏡(102)在光前進(jìn)方向上第一面為楔角面，第二面為標(biāo)準(zhǔn)平面參考面，且面形精度PV值優(yōu)于63nm，該標(biāo)準(zhǔn)平面參考面垂直于φ600mm口徑凸透準(zhǔn)直物鏡組(103)的光軸，所述的φ600mm口徑反射標(biāo)準(zhǔn)平面鏡(101)在光前進(jìn)方向上的第一面為反射標(biāo)準(zhǔn)參考面，且面形精度PV值優(yōu)于63nm，所述的φ600mm口徑反射標(biāo)準(zhǔn)平面鏡(101)的反射標(biāo)準(zhǔn)參考面垂直于φ600mm口徑凸透準(zhǔn)直物鏡組(103)的光軸，與φ600mm口徑透射標(biāo)準(zhǔn)平面鏡(102)的標(biāo)準(zhǔn)平面參考面形成標(biāo)準(zhǔn)干涉測(cè)試腔，被測(cè)試的大口徑光學(xué)元件置于φ600mm口徑透射標(biāo)準(zhǔn)平面鏡的標(biāo)準(zhǔn)平面參考面與φ600mm口徑反射標(biāo)準(zhǔn)平面鏡的反射標(biāo)準(zhǔn)參考面之間，實(shí)現(xiàn)干涉測(cè)試；

所述的小測(cè)試端口和大測(cè)試端口共用所述的變焦成像模塊和測(cè)試對(duì)準(zhǔn)模塊，通過移動(dòng)所述的45°切換反射鏡(214)來(lái)分配大端口小端口對(duì)變焦成像模塊和測(cè)試對(duì)準(zhǔn)模塊的使用權(quán)：所述的45°切換反射鏡(214)具有沿著φ120mm口徑凸透準(zhǔn)直物鏡組(213)的光軸向遠(yuǎn)離它的方向開放或遮擋所述的大測(cè)試端口光路的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，當(dāng)所述的45°切換反射鏡(214)遮擋所述的大測(cè)試端口光路時(shí)，進(jìn)行小端口測(cè)試，當(dāng)所述的45°切換反射鏡(214)開放所述的大測(cè)試端口光路時(shí)，進(jìn)行大端口測(cè)試；無(wú)論進(jìn)行小端口測(cè)試或大端口測(cè)試，在被測(cè)元件表面、透射標(biāo)準(zhǔn)平面鏡的標(biāo)準(zhǔn)透射參考面和反射標(biāo)準(zhǔn)平面鏡的反射標(biāo)準(zhǔn)參考面形成沿原光路返回的干涉測(cè)試光；

所述的干涉測(cè)試光沿原光路返回，經(jīng)所述的第二45°分光反射鏡(221)反射后透過第一45°分光反射鏡(231)，沿該透射后的光路方向依次的第一凹透鏡(241)、第一凸透鏡(242)、5倍變焦鏡頭(243)、第二凸透鏡(244)和第二凹透鏡(245)和CCD(246)構(gòu)成所述的變焦成像模塊，所述的第一凹透鏡(241)、第一凸透鏡(242)構(gòu)成一次成像鏡頭，該一次成像鏡頭的一次像面與所述的5倍變焦鏡頭(243)的前焦平面重合，所述的第二凸透鏡(244)和第二凹透鏡(245)共同構(gòu)成CCD成像鏡頭，該CCD成像鏡頭的物面與所述的5倍變焦鏡頭(243)的出射像面重合，所述的CCD采用1024×1024像素的工業(yè)級(jí)高分辨率CCD，所述的CCD成像鏡頭成像在所述的CCD靶面上；最后通過CCD光電轉(zhuǎn)換輸出干涉測(cè)試圖像，通過判讀和分析CCD輸出干涉圖獲得被測(cè)元件面形數(shù)據(jù)；

所述的測(cè)試對(duì)準(zhǔn)模塊包括毛玻片(222)、對(duì)準(zhǔn)成像鏡組(223)和對(duì)準(zhǔn)成像CMOS(224)，所述的干涉測(cè)試光沿原光路返回，在透過第二45°分光反射鏡(221)的光路上依次是所述的毛玻片(222)、對(duì)準(zhǔn)成像鏡組(223)和對(duì)準(zhǔn)成像CMOS(224)，所述的毛玻片(222)位于所述的φ600mm口徑凸透準(zhǔn)直物鏡組(103)和φ120mm口徑凸透準(zhǔn)直物鏡組(213)的焦平面上，所述的對(duì)準(zhǔn)成像鏡組(223)和對(duì)準(zhǔn)成像CMOS(224)對(duì)毛玻片(222)全視場(chǎng)成像。