[實用新型]一種大尺寸靶材吊運裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520241026.5
• 申請日: 2015-04-20
• 公開（公告）號: CN204643536U
• 公開（公告）日: 2015-09-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉志杰;呂保國;董亭義;高巖;王越;夏乾坤;李嘉
• 申請（專利權(quán)）人: 有研億金新材料有限公司
• 主分類號: B66C1/02
• 分類號: B66C1/02
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11246
• 代理人: 朱琨

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于金屬材料加工和微電子材料制造領(lǐng)域，涉及一種大尺寸靶材吊運裝置。

背景技術(shù)

目前大尺寸靶材在平板顯示、太陽能領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。以TFT(Thin?Film?Transistor，薄膜場效應(yīng)晶體管)、PDP(Plasma?Display?Panel，等離子顯示板)為代表的大尺寸靶材多采用高純材料，該類材料特點為材料硬度低、厚度薄,形狀尺寸變化大，加工后零件表面不允許存在任何磕碰劃傷，吊運時零件會存在變形等問題，不同尺寸零件需要配置不同的工裝。為解決上述問題，急需設(shè)計一套工裝，可以通過靈活的組合適應(yīng)不同零件的吊運，同時工裝采用高剛性連接，防止吊運過程中的變形。連接點位置采取單層扁平真空吸盤，與零件接觸后不造成任何劃傷。

實用新型內(nèi)容

為了解決上述問題，本實用新型提出了一種大尺寸靶材吊運裝置，包括：主橫梁、支撐梁、氣動吸盤、銷軸、氣動控制開關(guān)、氣源系統(tǒng)；其中，多個氣動吸盤固定在主橫梁和支撐梁下方，主橫梁一側(cè)開有槽，槽上下兩側(cè)開口對齊的固定孔，且這些固定孔等距分布，主橫梁和支撐梁的兩端均開有固定孔，通過將支撐梁的固定孔與主橫梁兩端的固定孔或中間的固定孔用銷軸固定后形成多種吊運裝置，用于適應(yīng)不同形狀的靶材；氣動吸盤通過氣動控制開關(guān)與氣源系統(tǒng)相連。

所述主橫梁和支撐梁通過固定孔依次交替沿直線固定，用于吊裝帶線靶材。

所述主橫梁為兩根，且互相平行，主橫梁之間通過兩根互相平行的支撐梁固定，支撐梁兩端可在主橫梁的槽內(nèi)滑動來調(diào)整固定位置，通過調(diào)整兩根支撐梁之間的距離來適應(yīng)不同寬度的方形靶材。

所述氣動吸盤為扁平真空吸盤。

所述氣動吸盤均處于同一平面上。

所述主橫梁上安裝有吊環(huán)，為吊裝受力點。

所述銷軸為定位銷，防止主橫梁和支撐梁在固定孔處相對旋轉(zhuǎn)。

本實用新型可以通過單元橫梁之間的任意組合形成不同形狀的工裝來吊運不同尺寸的靶材。當?shù)踹\長寬比較大的長條形零件時，工裝沿直線進行組合，通過吸盤吸附進行吊運。針對長寬比較小的方形零件，可以按回型組合工裝，對于不同寬度的方板可沿零件寬度方向調(diào)整橫梁來實現(xiàn)吊運。本實用新型與現(xiàn)有吊運工裝相比，增加了氣動吸盤，降低了零件吊運時的磕碰劃傷，獲得了更好的零件表面質(zhì)量。本實用新型所提供的一種大尺寸靶材吊運工裝對吸盤進行了合理布局，在零件重心位置增加吸盤數(shù)量，有效的緩解了零件在吊運過程中的變形問題，可以獲得平面度更好的靶材。本實用新型所提供的一種大尺寸靶材吊運工裝結(jié)構(gòu)簡單，可以任意組合，根據(jù)所需吊運的零件快速組合成所需工裝，減少了專用工裝數(shù)量，降低了工裝成本。

附圖說明

圖1是本實用新型的主橫梁示意圖；

圖2是本實用新型的支撐梁示意圖；

圖3是本實用新型的定位銷示意圖；

圖4是本實用新型沿直線方向組合示意圖；

圖5是本實用新型回字形組合方式一示意圖；

圖6是本實用新型回字形組合方式二示意圖；

圖7是本實用新型實施例1示意圖；

圖8是本實用新型實施例2示意圖。

具體實施方式

本實用新型提出了一種大尺寸靶材吊運裝置。下面結(jié)合附圖，對優(yōu)選實施例作詳細說明。

一種大尺寸靶材吊運裝置，包括：主橫梁、支撐梁、氣動吸盤、銷軸、氣動控制開關(guān)、氣源系統(tǒng)；其中，多個氣動吸盤固定在主橫梁和支撐梁下方，如圖1和2所示，主橫梁一側(cè)開有槽，槽上下兩側(cè)開口對齊的固定孔，且這些固定孔等距分布，主橫梁和支撐梁的兩端均開有固定孔，通過將支撐梁的固定孔與主橫梁兩端的固定孔或中間的固定孔用銷軸固定后形成多種吊運裝置，用于適應(yīng)不同形狀的靶材；氣動吸盤通過氣動控制開關(guān)與氣源系統(tǒng)相連。

如圖3所示，銷軸為定位銷，防止主橫梁和支撐梁在固定孔處相對旋轉(zhuǎn)。

如圖4所示，主橫梁和支撐梁通過固定孔依次交替沿直線固定，用于吊裝帶線靶材。

如圖5和6所示所述主橫梁為兩根，且互相平行，主橫梁之間通過兩根互相平行的支撐梁固定，支撐梁兩端可在主橫梁的槽內(nèi)滑動來調(diào)整固定位置，通過調(diào)整兩根支撐梁之間的距離來適應(yīng)不同寬度的方形靶材。

所述氣動吸盤均處于同一平面上。

所述主橫梁上安裝有吊環(huán)，為吊裝受力點。