[實用新型]微懸臂梁熱振動信號測量裝置

有效

• 申請號: 201520237515.3
• 申請日: 2015-04-20
• 公開（公告）號: CN204666496U
• 公開（公告）日: 2015-09-23
• 發明（設計）人: 李天軍
• 申請（專利權）人: 紹興文理學院
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G01H9/00
• 代理公司: 紹興市越興專利事務所 33220
• 代理人: 張媛

1.一種微懸臂梁熱振動信號測量裝置，其特征在于，包括：

入射光路組件，包括依次沿光傳播方向設置的線偏振器、第一分光鏡、沃拉斯頓棱鏡、第一會聚透鏡以及第二分光鏡；偏振激光經線偏振器后形成線偏振光并入射至第一分光鏡，改變入射方向后經沃拉斯頓棱鏡形成兩束偏振方向相互垂直的入射線偏振光，經第一會聚透鏡匯聚后分別垂直入射至微懸梁臂的尖端和基片上，分別反射后形成兩束偏振方向相互垂直的反射偏振光，并經沃拉斯頓棱鏡匯聚在一起并入射至第二分光鏡，形成兩束檢測偏振光；

兩路檢測光路組件，每一所述檢測光路組件均包括光電檢測電路，兩束檢測偏振光分別入射至兩路光電檢測電路，光電檢測電路將光信號轉換為電信號后，通過計算兩路電信號來得到兩束反射線偏振光的相位差。

2.根據權利要求1?所述的微懸臂梁熱振動信號測量裝置，其特征在于，經沃拉斯頓棱鏡后形成的兩束偏振方向相互垂直的入射線偏振光間的出光角度為1?度～?3?度，且所述第一會聚透鏡的焦距為25?毫米～?35?毫米。

3.根據權利要求1?所述的微懸臂梁熱振動信號測量裝置，其特征在于，所述沃拉斯頓棱鏡可活動式設置在第一分光鏡和第一會聚透鏡間，且活動的方向為沿線偏振光入射至沃拉斯頓棱鏡所在的方向。

4.根據權利要求1?所述的微懸臂梁熱振動信號測量裝置，其特征在于，所述線偏振器和第一分光鏡間還設置有二分之一波片。

5.根據權利要求1?所述的微懸臂梁熱振動信號測量裝置，其特征在于，每一所述檢測光路組件均包括依次設置的第二會聚透鏡和第三分光鏡，且每一所述光電檢測電路均包括兩個光電二極管，檢測偏振光經第二匯聚透鏡會聚后經第三分光器分成兩束偏振光，分別入射到同一檢測光路組件內的兩個光電二極管上。

6.根據權利要求5?所述的微懸臂梁熱振動信號測量裝置，其特征在于，在每一檢測光路組件中，第三分光鏡的光軸與沃拉斯頓棱鏡的光軸間的夾角呈45?度，且沃拉斯頓棱鏡的光軸與入射至沃拉斯頓棱鏡上的線偏振光的偏振方向間的夾角呈45?度，且在其中一檢測光路組件中，檢測偏振光入射至第二會聚透鏡前還經過一四分之一波片。

7.根據權利要求1?所述的微懸臂梁熱振動信號測量裝置，其特征在于，入射光路組件還包括設置在線偏振器前端的激光發生器和起偏器，激光發生器發出激光，經起偏器起偏后形成偏振光，再入射至線偏振器。

8.根據權利要求7?所述的微懸臂梁熱振動信號測量裝置，其特征在于，所述激光發生器為He-Ne?激光器。

9.根據權利要求1?所述的微懸臂梁熱振動信號測量裝置，其特征在于，所述線偏振器為格蘭泰勒棱鏡。

10.根據權利要求5?所述的微懸臂梁熱振動信號測量裝置，其特征在于，所述第一分光鏡和第二分光鏡均為立體分光鏡，所述第三分光鏡為方解石棱鏡。