[實用新型]用于MOCVD設備的報警裝置

有效

• 申請號: 201520236382.8
• 申請日: 2015-04-17
• 公開（公告）號: CN204515976U
• 公開（公告）日: 2015-07-29
• 發明（設計）人: 焦建軍;黃小輝;周德保;康建;梁旭東
• 申請（專利權）人: 圓融光電科技股份有限公司
• 主分類號: G08B21/00
• 分類號: G08B21/00
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 陶敏;黃健

技術領域

本實用新型涉及發光二極管(Light-Emitting?Diode，LED)設備領域，尤其涉及一種用于金屬有機化合物化學氣相沉淀(Metal-organic?Chemical?Vapor?Deposition，MOCVD)設備的報警裝置。

背景技術

MOCVD設備對于水、電、氣以及尾氣排放處理的要求非常嚴格，與其相連的任何附屬設施的稍微波動產生的信號，或者發出的誤報警信號，都有可能傳入到MOCVD設備的主電腦中，對機臺報警產生影響，甚至導致宕機。

如圖1為現有技術中MOCVD設備的報警裝置圖。尾氣處理器A出現報警信號后，信號直接連通到MOCVD設備，MOCVD設備在接收到報警后停機并報警。

MOCVD設備接收到宕機指令后會造成機器的急停，在機器急停的過程中，會切斷水、電、氣，此時，水管會由于冷卻水停止循環導致溫度急劇上升而破裂，電動馬達會由于斷電導致轉速迅速下降，使大盤異常磨損，真空泵會由于切斷氣導致異常停止，使得尾氣倒灌到反應室中。因此，為了避免上述情況的產生，亟需提出一種用于MOCVD設備的報警裝置。

實用新型內容

本實用新型提供一種用于MOCVD設備的報警裝置，以解決現有技術中，由于誤報警信號傳輸至MOCVD設備的主電腦而導致的機臺報警或宕機。

本實用新型提供一種用于MOCVD設備的報警裝置，設置在尾氣處理器和金屬有機化合物化學氣相沉淀MOCVD設備之間，包括依次相連的報警器、報警信號等級控制器、延時裝置和信號取消開關；

所述報警器用于在檢測到報警信號時發出警報，并將所述報警信號發送給所述報警信號等級控制器；

所述報警信號等級控制器用于根據所述報警信號，確定所述報警信號的延遲時間；將與所述延遲時間對應的延遲信號發送給所述延時裝置；

所述延時裝置用于根據接收到的所述延遲信號確定所述報警信號的延遲時間，并對所述報警信號進行延遲傳輸處理；

所述信號取消開關用于在所述延遲時間內，若判斷所述報警信號為誤報警信號，則發出取消信號，消除所述報警信號。

如上所述的裝置，其中，所述報警器包括聲光報警器和報警顯示屏；

所述聲光報警器用于在檢測到所述報警信號時發出聲音警報和燈光閃爍警報；所述報警顯示屏用于顯示所述報警信號和所述報警信號的等級。

如上所述的裝置，其中，所述報警信號的延遲時間是根據所述報警信號的危險程度和危害大小預先設定并存儲在所述報警信號等級控制器中的。

本實用新型提供的用于MOCVD設備的報警裝置，設置在尾氣處理器和MOCVD設備之間，包括依次相連的報警器、報警信號等級控制器、延時裝置和信號取消開關；報警器用于在檢測到報警信號時發出警報，并將報警信號發送給報警信號等級控制器；報警信號等級控制器用于根據報警信號，確定報警信號的延遲時間；將與延遲時間對應的延遲信號發送給延時裝置；延時裝置用于根據接收到的延遲信號確定報警信號的延遲時間，并對報警信號進行延遲傳輸處理；信號取消開關用于在延遲時間內，若判斷報警信號為誤報警信號，則發出取消信號，消除報警信號。以避免由于誤報警信號傳輸至MOCVD設備的主電腦而導致的機臺報警或宕機。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作一簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為現有技術中MOCVD設備的報警裝置圖；

圖2為本實用新型實施例提供的用于MOCVD設備的報警裝置的結構示意圖。

具體實施方式

為使本實用新型實施例的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。