[實(shí)用新型]一體式能量采集與存儲器件結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520235047.6
• 申請日: 2015-04-17
• 公開（公告）號: CN204651321U
• 公開（公告）日: 2015-09-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳遠(yuǎn)寧;戴征武
• 申請（專利權(quán)）人: 寧波微能物聯(lián)科技有限公司
• 主分類號: H01L27/142
• 分類號: H01L27/142;H01L27/04
• 代理公司: 上海申新律師事務(wù)所 31272
• 代理人: 朱俊躍

1.一體式能量采集與存儲器件結(jié)構(gòu)，其特征在于，應(yīng)用于無源自供電傳感器系統(tǒng)中，所述一體式能量采集與存儲器件結(jié)構(gòu)包括：

襯底，具有正面表面及相對于該正面表面的背面表面，且該襯底中制備有第一類型摻雜區(qū)和第二類型摻雜區(qū)；

第一保護(hù)層，覆蓋在所述襯底的正面表面上；

金屬連接線，包括第一金屬連接線和第二金屬連接線，且所述第一金屬連接線貫穿所述第一保護(hù)層與位于所述第一類型摻雜區(qū)中所述襯底的正面表面接觸，所述第二金屬連接線貫穿所述第一保護(hù)層與位于所述第二類型摻雜區(qū)中所述襯底的正面表面接觸；

電容器，設(shè)置于所述襯底的背面表面上，且該電容器包括第一電極和第二電極；

第二保護(hù)層，覆蓋所述電容器暴露的表面；

金屬互聯(lián)線，包括第一金屬互聯(lián)線和第二金屬互聯(lián)線，且所述第一金屬互聯(lián)線貫穿所述第二保護(hù)層與所述第一電極連接，所述第二金屬互聯(lián)線貫穿所述第二保護(hù)層與所述第二電極連接；

其中，所述金屬連接線凸出于所述第一保護(hù)層暴露的表面，所述金屬互聯(lián)線凸出于所述第二保護(hù)層暴露的表面。

2.如權(quán)利要求1所述的一體式能量采集與存儲器件結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述電容器還包括：

絕緣層，將所述第一電極和所述第二電極予以隔離。

3.如權(quán)利要求2所述的一體式能量采集與存儲器件結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述絕緣層的材質(zhì)為高介電常數(shù)材料。

4.如權(quán)利要求3所述的一體式能量采集與存儲器件結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述絕緣層的材質(zhì)為氧化鉿、氧化硅、氧化鉭或氧化鋁。

5.如權(quán)利要求2所述的一體式能量采集與存儲器件結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述電容器包括：

若干交替疊置的金屬層；

介質(zhì)層，位于所述金屬層之間，以將相鄰的所述金屬層均予以隔離；

第一層間金屬互聯(lián)線，將奇數(shù)層的金屬層均依次連接，以構(gòu)成所述第一電極；

第二層間金屬互聯(lián)線，將偶數(shù)層的金屬層均依次連接，以構(gòu)成所述第二電極；

第一通孔介質(zhì)層，位于所述第一層間金屬互聯(lián)線與偶數(shù)層的金屬層之間；

第二通孔介質(zhì)層，位于所述第二層間金屬互聯(lián)線與奇數(shù)層的金屬層之間；

其中，所述第一電極與所述第二電極交叉疊置，以構(gòu)成所述電容器的兩個(gè)極板；所述第一通孔介質(zhì)層、所述第二通孔介質(zhì)層與所述介質(zhì)層共同構(gòu)成將所述兩個(gè)極板予以隔離的絕緣層。

6.如權(quán)利要求1所述的一體式能量采集與存儲器件結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括：

射頻天線，設(shè)置于所述第一保護(hù)層或所述第二保護(hù)層暴露的表面上，以采集能量。

7.如權(quán)利要求6所述的一體式能量采集與存儲器件結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述射頻天線包括非閉合的鉤狀結(jié)構(gòu)的射頻能量采集單元和光能量采集單元，以采集光能量和/或射頻能量。

8.如權(quán)利要求1所述的一體式能量采集與存儲器件結(jié)構(gòu)，其特征在于，在位于所述第一類型摻雜區(qū)的襯底中制備有第一類型重?fù)诫s區(qū)，在位于所述第二類型摻雜區(qū)的襯底中制備有第二類型重?fù)诫s區(qū)，且所述第一類型重?fù)诫s區(qū)的離子濃度大于所述第一類型摻雜區(qū)中的離子濃度，所述第二類型重?fù)诫s區(qū)的離子濃度大于所述第二類型摻雜區(qū)中的離子濃度；

其中，所述第一金屬連接線與位于所述第一類型重?fù)诫s區(qū)中的襯底的表面接觸，所述第二金屬連接線與位于所述第二類型重?fù)诫s區(qū)中的襯底的表面接觸。

9.如權(quán)利要求8所述的一體式能量采集與存儲器件結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一類型摻雜區(qū)和所述第一類型重?fù)诫s區(qū)均為P型摻雜區(qū)，所述第二類型摻雜區(qū)和所述第二類型重?fù)诫s區(qū)均為N型摻雜區(qū)。

10.如權(quán)利要求9所述的一體式能量采集與存儲器件結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述N型摻雜區(qū)中的離子為氬離子或磷離子，所述P型摻雜區(qū)中的離子為硼離子或氟化硼離子。

11.如權(quán)利要求1所述的一體式能量采集與存儲器件結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述襯底為半導(dǎo)體襯底或柔性材料，或玻璃基板。

12.如權(quán)利要求1所述的一體式能量采集與存儲器件結(jié)構(gòu)，其特征在于，采用圖形化工藝進(jìn)行所述一體式能量采集與存儲器件結(jié)構(gòu)的?制備。

13.如權(quán)利要求1所述的一體式能量采集與存儲器件結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一保護(hù)層為氮化硅或氧化硅，所述金屬連接線的材質(zhì)為鋁，所述金屬互聯(lián)線、所述第一電極和所述第二電極的材質(zhì)均為鎢、銅或氮化鈦。