[實(shí)用新型]共聚焦拉曼光譜儀及其光路裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520234553.3
• 申請(qǐng)日: 2015-04-17
• 公開（公告）號(hào): CN204514812U
• 公開（公告）日: 2015-07-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉召貴;黃沖;王立峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇天瑞儀器股份有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/65
• 分類號(hào): G01N21/65;G01N21/01
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種共聚焦拉曼光譜儀的光路裝置，其特征在于，包括在光路上依次設(shè)置的下述結(jié)構(gòu)：

激發(fā)光源系統(tǒng)，所述激發(fā)光源系統(tǒng)包括激發(fā)光源和擴(kuò)束鏡；

拉曼濾光片組，所述拉曼濾光片組具有一側(cè)接收水平入射光并在另一側(cè)形成與入射光垂直的出射光的濾光片結(jié)構(gòu)；

顯微鏡系統(tǒng)，所述顯微鏡系統(tǒng)包括分別設(shè)置于所述拉曼濾光片組樣品出射光一側(cè)的顯微物鏡和設(shè)置于所述拉曼濾光片組的樣品出射光對(duì)側(cè)的管鏡；

單色儀，來自所述管鏡匯聚的拉曼信號(hào)射向所述單色儀；以及

單光子計(jì)數(shù)器，所述單光子計(jì)數(shù)器探測(cè)來自所述單色儀的拉曼信號(hào)，

其中，從所述激發(fā)光源發(fā)出的激光由所述擴(kuò)束鏡擴(kuò)束，穿過所述拉曼濾光片組至所述顯微物鏡，并通過所述顯微物鏡將所述激光聚焦在樣品上并激發(fā)出拉曼信號(hào)，所述拉曼信號(hào)經(jīng)過所述顯微物鏡后變成平行光再通過所述拉曼濾光片組濾掉瑞利散射，此后經(jīng)過所述管鏡聚焦于所述單色儀的入射狹縫處，并被出射狹縫處的所述單光子計(jì)數(shù)器探測(cè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的共聚焦拉曼光譜儀的光路裝置，其特征在于，所述拉曼濾光片組包括垂直放置的窄帶濾光片、二向分光部件和水平放置的瑞利濾光片，所述顯微物鏡設(shè)置于所述二向分光部件出射光一側(cè)，所述管鏡設(shè)置于所述瑞利濾光片的出射光一側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的共聚焦拉曼光譜儀的光路裝置，其特征在于，所述二向分光部件為45°平面反射鏡。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的共聚焦拉曼光譜儀的光路裝置，其特征在于，所述光路裝置還包括一次或多次反射裝置，所述反射裝置接受來自所述管鏡匯聚的拉曼信號(hào)并將其反射至所述單色儀。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的共聚焦拉曼光譜儀的光路裝置，其特征在于，所述反射裝置為平面反射鏡。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的共聚焦拉曼光譜儀的光路裝置，其特征在于，所述顯微物鏡采用復(fù)消色差平場(chǎng)無窮遠(yuǎn)金相顯微物鏡。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的共聚焦拉曼光譜儀的光路裝置，其特征在于，所述顯微物鏡的數(shù)值孔徑NA為0.4以上。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的共聚焦拉曼光譜儀的光路裝置，其特征在于，所述光路裝置還包括固體樣品成像系統(tǒng)，所述固體樣品成像系統(tǒng)包括推拉反射裝置、CCD成像裝置，所述推拉反射裝置帶有滑動(dòng)裝置，當(dāng)固體樣品需實(shí)現(xiàn)對(duì)焦，所述推拉反射裝置移動(dòng)至光路中，完成對(duì)焦后，所述推拉反射裝置移出光路。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的共聚焦拉曼光譜儀的光路裝置，其特征在于，所述CCD成像裝置中的CCD靶面到所述管鏡的距離和所述單色儀的入射狹縫到所述管鏡的距離相等。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的共聚焦拉曼光譜儀的光路裝置，其特征在于，聚焦在所述樣品上的光斑的直徑為1.6μm以下。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的共聚焦拉曼光譜儀的光路裝置，其特征在于，所述擴(kuò)束鏡實(shí)現(xiàn)7倍以上的擴(kuò)束。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拉曼光譜儀光路裝置，其特征在于，所述單色儀系統(tǒng)的入射狹縫寬度為32-40μm。

13.一種共聚焦拉曼光譜儀，其特征在于，包括權(quán)利1-12任一項(xiàng)所述的光路裝置。