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[實用新型]晶體定向儀調角夾具有效

專利信息
申請號: 201520233264.1 申請日: 2015-04-17
公開(公告)號: CN204546362U 公開(公告)日: 2015-08-12
發明(設計)人: 甄偉;趙松彬;陳遠帆 申請(專利權)人: 丹東新東方晶體儀器有限公司
主分類號: B25B11/00 分類號: B25B11/00
代理公司: 沈陽利泰專利商標代理有限公司 21209 代理人: 李樞
地址: 118002 遼寧*** 國省代碼: 遼寧;21
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摘要:
搜索關鍵詞: 晶體 定向 儀調角 夾具
【說明書】:

技術領域

實用新型屬于晶體定向儀領域,特別涉及晶體定向儀調角夾具。

背景技術

生長出來的各種直徑藍寶石單晶晶錠在進行掏棒加工成晶棒前,需要先精確地保證加工后藍寶石圓柱體晶棒端面的方向的準確性,經掏棒機加工成藍寶石單晶晶棒后,藍寶石單晶晶棒材料的端面與晶體C向重合度誤差在允許范圍內、再磨削加工參考邊,最后通過切割加工成藍寶石單晶晶片。藍寶石單晶晶錠在掏棒加工成晶棒前,要有與晶體定向儀相配套的調角夾具,用來保證藍寶石單晶晶錠加工成晶棒后的圓柱體端面方向的準確性。傳統的晶體定向儀在進行藍寶石單晶晶錠加工成晶棒后的圓柱體端面的定向測量時,沒有配備合適的端面定位專用夾具,無法保證加工后的藍寶石單晶晶體端面定位,導致加工的藍寶石單晶晶棒成品率低下,滿足不了藍寶石單晶晶棒加工生產的需要。

實用新型內容

本實用新型的目的,是提供晶體定向儀調角夾具,這種夾具是一種能夠四方位微調及利用四點鎖緊方式調角夾具,定位精確,安全可靠。

采用的技術方案是:

晶體定向儀調角夾具,包括底板、粘晶錠板和調角機構;

底板的中心位置上固定裝設有球頭座,底板上方水平設置有調整板,調整板由球頭座支撐,調整板上分別開設有八個螺栓孔,在底板的對應位置上分別開設有八個螺栓孔,調整板通過調角機構與底板連接;

上述調角機構包括第一調角機構、第二調角機構、第三調角機構、第四調角機構、第五調角機構、第六調角機構、第七調角機構和第八調角機構,第一調角機構包括調整螺栓、第一調整螺母、緊固螺母和第二調整螺母,調整螺栓上套裝有球面墊,調整螺栓穿過調整板的螺栓孔,調整螺栓的下端分別旋設有緊固螺母和第一調整螺母,第一調整螺母的外螺紋與底板上開設的螺栓孔的內螺紋配合,第二調整螺母旋設在第一調整螺母上,第二調角機構、第三調角機構、第四調角機構、第五調角機構、第六調角機構、第七調角機構和第八調角機構的結構與第一調角機構的結構相同;

粘晶錠板通過緊固螺栓固定裝設在調整板的上端面上,粘晶錠板的上端面上固定設置有吊環,調整板和粘晶錠板的對應位置上分別開設有定位螺栓孔,定位螺栓穿過定位螺栓孔,定位螺栓的下端旋設有定位螺母,定位螺栓的下方對應位置設置有定位墊。

上述的晶體定向儀調角夾具與晶體定向儀測角儀20配合使用,工作時,晶體定向儀調角夾具安裝在晶體定向儀測角儀20的工作臺19上,藍寶石晶錠22固定在晶體定向儀調角夾具上,打開光閘16,X射線發生器15產生的X光21經藍寶石晶錠22晶體反射,被X射線接收器18接收,旋轉第一調整螺母,使調整板繞球頭座擺動,改變粘晶錠板上藍寶石晶錠22的位置,當微安表17顯示X射線接收器18接收X光21為設定標準值時,即為找出藍寶石晶棒圓柱體的端面,將夾具體緊固螺母鎖緊后,再將定位螺栓旋至定位墊后鎖緊定位螺母,最后將藍寶石晶錠22粘接在粘晶錠板上,松開緊固螺栓,利用吊環將粘接在粘晶錠板藍寶石晶錠22吊運至掏棒機上加工晶棒。

附圖說明

圖1是本實用新型的剖視結構示意圖。

圖2是本實用新型的俯視結構示意圖。

圖3是本實用新型的使用狀態結構示意圖。

本實用新型的優點在于:

1、結構簡單、使用方便、對操作人員進行簡單培訓即可操作。

2、提供一種能夠四方位微調及采用八點鎖緊方式的晶體定向儀調角夾具,保證了藍寶石單晶晶錠加工成晶棒后的圓柱體端面方向準確,滿足藍寶石單晶晶棒生產的需要。

3、可配合不同規格、型式的晶體定向儀使用。

具體實施方式

晶體定向儀調角夾具,包括底板1、粘晶錠板4和調角機構;

底板1的中心位置上固定裝設有球頭座2,底板1上方水平設置有調整板3,調整板3由球頭座2支撐,調整板3上分別開設有八個螺栓孔,在底板1的對應位置上分別開設有八個螺栓孔,調整板3通過調角機構與底板1連接;

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