[實(shí)用新型]單拋片刷洗機(jī)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201520232981.2 | 申請(qǐng)日: | 2015-04-16 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN204632734U | 公開(kāi)(公告)日: | 2015-09-09 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 李繼忠;李述周 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 常州市科沛達(dá)超聲工程設(shè)備有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | H01L21/67 | 分類(lèi)號(hào): | H01L21/67;B08B1/00;H01L33/00 |
| 代理公司: | 常州市科誼專利代理事務(wù)所 32225 | 代理人: | 肖興坤 |
| 地址: | 213025 江蘇省常*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 單拋片 刷洗 | ||
1.一種單拋片刷洗機(jī),其特征在于,它包括機(jī)架(1),機(jī)架(1)上設(shè)置有封閉外殼,封閉外殼內(nèi)具有:
上料機(jī)構(gòu)(2),所述上料機(jī)構(gòu)(2)具有上料工位,并且上料機(jī)構(gòu)(2)包括槽體(21)、承載籃(22)和槽體Z向升降機(jī)構(gòu)(23),承載籃(22)設(shè)置在槽體(21)內(nèi),并且承載籃(22)用于層裝藍(lán)寶石片,槽體Z向升降機(jī)構(gòu)(23)與槽體(21)的底部固定連接以便當(dāng)槽體Z向升降機(jī)構(gòu)(23)動(dòng)作時(shí),所述的槽體(21)內(nèi)的承載籃上某一層藍(lán)寶石片位于上料工位上;
裝料取片機(jī)構(gòu)(3),所述裝料取片機(jī)構(gòu)(3)具有取片工位,所述裝料取片機(jī)構(gòu)(3)具有裝料取片手(31),當(dāng)裝料取片機(jī)構(gòu)(3)動(dòng)作時(shí),所述裝料取片手(31)將上料工位上的藍(lán)寶石片輸送至取片工位上;
卸料機(jī)構(gòu)(4),卸料機(jī)構(gòu)(4)具有裝片工位;
卸料取片機(jī)構(gòu)(5),所述卸料取片機(jī)構(gòu)(5)具有卸料工位,所述卸料取片機(jī)構(gòu)(5)具有卸料取片手(51),當(dāng)卸料取片機(jī)構(gòu)(5)動(dòng)作時(shí),所述的卸料取片手(51)將卸料工位上的藍(lán)寶石片輸送至裝片工位上;
藍(lán)寶石容置集中槽體(6),所述藍(lán)寶石容置集中槽體(6)具有旋轉(zhuǎn)甩干工位(61)和多個(gè)旋轉(zhuǎn)刷洗工位(62),并且多個(gè)旋轉(zhuǎn)刷洗工位(62)和旋轉(zhuǎn)甩干工位(61)從前往后依次銜接;
取片搬運(yùn)機(jī)械手(7),所述取片搬運(yùn)機(jī)械手(7)具有多個(gè)抓片機(jī)構(gòu)(71),抓片機(jī)構(gòu)(71)對(duì)應(yīng)于取片工位、多個(gè)旋轉(zhuǎn)刷洗工位(62)、旋轉(zhuǎn)甩干工位(61)和卸料工位以便取片搬運(yùn)機(jī)械手(7)動(dòng)作時(shí),可將其中一個(gè)工位上的藍(lán)寶石片輸送至相鄰的下一個(gè)工位上;
刷洗機(jī)構(gòu)(8),所述刷洗機(jī)構(gòu)(8)具有多個(gè)活動(dòng)刷洗頭組件,并且活動(dòng)刷洗頭組件和旋轉(zhuǎn)刷洗工位(62)一一對(duì)應(yīng)以便活動(dòng)刷洗頭組件刷洗相對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)刷洗工位(62)上的藍(lán)寶石片;
噴淋清洗裝置,所述噴淋清洗裝置具有多組噴淋嘴組,并且每個(gè)旋轉(zhuǎn)刷洗工位(62)對(duì)應(yīng)一個(gè)噴淋嘴組。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單拋片刷洗機(jī),其特征在于:所述的上料機(jī)構(gòu)(2)還具有承載籃壓緊裝置,所述承載籃壓緊裝置具有壓緊臂(24)和壓緊座(25),壓緊座(25)鉸接在機(jī)架(1)上,壓緊臂(24)固定連接在壓緊座(25)上,壓緊臂(24)抵接槽體(21)內(nèi)的承載籃的上端以便其將承載籃壓緊在槽體(21)內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單拋片刷洗機(jī),其特征在于:所述的上料機(jī)構(gòu)(2)還具有整片機(jī)構(gòu),整片機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)整片組件(26),整片組件(26)包括擺缸和擺桿,擺桿固定連接在擺缸的活動(dòng)桿端,并且兩個(gè)擺桿配合以便將承載籃上失位的藍(lán)寶石片推至回位。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單拋片刷洗機(jī),其特征在于:所述的裝料取片機(jī)構(gòu)(3)還具有X向移動(dòng)組件(32)、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(33)、X向滑座(34)和Y向移動(dòng)組件(35),X向移動(dòng)組件(32)安裝在機(jī)架(1)上,X向移動(dòng)組件(32)通過(guò)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(33)與X向滑座(34)傳動(dòng)連接以便X向移動(dòng)組件(32)驅(qū)動(dòng)X向滑座(34)相對(duì)于機(jī)架(1)在X向上移動(dòng),Y向移動(dòng)組件(35)固定連接在X向滑座(34)上,裝料取片手(31)安裝在Y向移動(dòng)組件(35)上以便Y向移動(dòng)組件(35)驅(qū)動(dòng)裝料取片手(31)相對(duì)于機(jī)架(1)在Y向上移動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單拋片刷洗機(jī),其特征在于:所述的刷洗機(jī)構(gòu)(8)還具有X向動(dòng)力件(81)、第一傳動(dòng)組件(82)和X向滑板(83),所述活動(dòng)刷洗頭組件包括Z向刷洗升降機(jī)構(gòu)(84)、Z向刷洗板(85)、刷洗頭(86)和刷洗頭驅(qū)動(dòng)組件(87),X向動(dòng)力件(81)通過(guò)第一傳動(dòng)組件(82)與X向滑板(83)傳動(dòng)連接以便X向動(dòng)力件(81)驅(qū)動(dòng)X向滑板(83)相對(duì)于機(jī)架(1)X向移動(dòng),Z向刷洗升降機(jī)構(gòu)(84)安裝在X向滑板(83)上,所述Z向刷洗板(85)安裝在Z向刷洗升降機(jī)構(gòu)(84)上以便Z向刷洗升降機(jī)構(gòu)(84)驅(qū)動(dòng)Z向刷洗板(85)相對(duì)于機(jī)架(1)Z向移動(dòng),所述刷洗頭驅(qū)動(dòng)組件(87)安裝在Z向刷洗板(85)上,刷洗頭(86)可旋轉(zhuǎn)地安裝在Z向刷洗板(85)上,刷洗頭驅(qū)動(dòng)組件(87)驅(qū)動(dòng)刷洗頭(86)旋轉(zhuǎn)。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于常州市科沛達(dá)超聲工程設(shè)備有限公司,未經(jīng)常州市科沛達(dá)超聲工程設(shè)備有限公司許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買(mǎi)此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201520232981.2/1.html,轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來(lái)源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 同類(lèi)專利
- 專利分類(lèi)
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類(lèi)目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門(mén)適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門(mén)適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門(mén)適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門(mén)適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





