[實用新型]行星齒輪式雙面研磨或拋光機

有效

• 申請號: 201520230801.7
• 申請日: 2015-04-16
• 公開（公告）號: CN204868548U
• 公開（公告）日: 2015-12-16
• 發明（設計）人: 李創宇;范鏡
• 申請（專利權）人: 深圳賽貝爾自動化設備有限公司
• 主分類號: B24B47/12
• 分類號: B24B47/12;B24B37/08;B24B29/02
• 代理公司: 深圳市興科達知識產權代理有限公司 44260
• 代理人: 杜啟剛

[技術領域]

本實用新型涉及研磨機或拋光機，尤其涉及一種行星齒輪式雙面研磨或拋光機。

[背景技術]

雙面研磨/拋光機非常適用于硬脆性材料薄形精密零件的上、下兩平行端面的同時磨削及拋光，可以加工出平面度、等厚度及粗糙度要求非常高的薄形零件，所以在光學及半導體材料的加工領域得到了廣泛應用。

如圖1和圖2所示，傳統的雙面研磨(拋光機)采用行星輪系傳動結構，包括機架、太陽輪10、內齒圈11、下研磨盤12，上研磨盤40、行星齒輪41、太陽輪驅動機構、內齒圈驅動機構、下研磨盤驅動機構、上研磨盤驅動機構。太陽輪驅動機構包括太陽輪驅動軸2，太陽輪10固定在太陽輪驅動軸2的上端。工件100放置在行星齒輪41的空腔內，設備工作時，行星齒輪41由內齒圈11和太陽輪10帶動圍繞著太陽輪10進行公轉，行星齒輪41也進行一定速度的自轉。此時上研磨盤40和下研磨盤12壓持著加工零件4進行相對轉動，實現了對工件4上下平面進行同時研磨(或拋光)的加工。

行星齒輪41的厚度略小于工件4的厚度，碳素鋼制做的行星齒輪41硬度較高，在與太陽輪10、內齒圈11在配合工作的過程中，會對設備上太陽輪10、內齒圈11的嚙合處造成嚴重的局部磨損。

對于傳統的研磨/拋光機設備，操作人員需定期對太陽輪10手工進行加減墊片，調整太陽輪10的高度，錯開其磨損的部位，使太陽輪10輪齒的磨損均勻，以延長太陽輪10使用壽命。

內齒圈11的直徑較大，齒數多，磨損相對比太陽輪輕一些，但內齒圈11在多個位置加減墊片的方法很難將調內齒圈平，內齒圈11在保養時可以翻轉使用，也可以在維護保養時對端面進行切削，減薄其厚度。

雙面研磨機(拋光機)的太陽輪及內齒圈的嚙合處磨損一直以來都是雙面研磨機設備保養的主要問題，太陽輪和內齒圈高度的調整也是費工費時保養操作，并且還可能因太陽輪或內齒圈調整裝配不良而造成加工零件的良率下降。

[發明內容]

本實用新型要解決的技術問題是提供一種太陽輪磨損均勻、行星齒輪機構零部件使用壽命長、維護保養工作量較小的行星齒輪式雙面研磨或拋光機。

本實用新型進一步要解決的技術問題是提供一種內齒圈磨損均勻的行星齒輪式雙面研磨或拋光機。

為了解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案是，一種行星齒輪式雙面研磨或拋光機，包括機架、太陽輪、內齒圈、下研磨盤，太陽輪驅動機構、內齒圈驅動機構、下研磨盤驅動機構、上研磨盤驅動機構和太陽輪升降機構；太陽輪驅動機構包括太陽輪驅動軸，太陽輪固定在太陽輪驅動軸的上端；機架包括機座和固定在機座上的安裝座，太陽輪驅動軸的中部由安裝座支承，太陽輪升降機構包括升降驅動機構、第一螺套、第二螺套、托板和復數根拉桿；第一螺套松套在安裝座外面，由安裝座支承，第二螺套的內螺紋與第一螺套的外螺紋旋合，第一螺套由升降驅動機構驅動；安裝座的下部包括復數個拉桿孔，拉桿的上端固定在第二螺套上，拉桿的下端穿過拉桿孔，固定在托板上，托板安裝在太陽輪驅動軸的下部。

以上所述的行星齒輪式雙面研磨或拋光機，安裝座下部包括突緣，安裝座的突緣固定在機座上；安裝座的突緣上包括三個所述的拉桿孔，所述的拉桿為三根；第一螺套的下端由安裝座的突緣支承，第一螺套的外螺紋位于第一螺套的上部，第一螺套的下部包括齒輪；升降驅動機構包括減速機和由減速機帶動的驅動齒輪，第一螺套的齒輪由驅動齒輪帶動。

以上所述的行星齒輪式雙面研磨或拋光機，下研磨盤驅動機構包括托盤，下研磨盤驅動軸和下研磨盤驅動齒輪；下研磨盤驅動軸穿過安裝座的內孔，下研磨盤驅動軸的上部和下部由安裝座分別通過軸承支承；下研磨盤固定在托盤上，托盤固定在下研磨盤驅動軸的上端，下研磨盤驅動齒輪固定在下研磨盤驅動軸的下端。

以上所述的行星齒輪式雙面研磨或拋光機，太陽輪驅動機構包括滑套和太陽輪驅動齒輪，下研磨盤驅動軸為空心軸，太陽輪驅動軸穿過下研磨盤驅動軸的內孔；滑套套在太陽輪驅動軸的外面，與太陽輪驅動軸滑動配合；滑套的上端和下端由研磨盤驅動軸分別通過軸承支承；托板通過止推軸承安裝在太陽輪驅動軸的下部,太陽輪驅動齒輪固定在太陽輪驅動軸的下端。