[實用新型]一種金屬有機化學氣相沉積設備有效

申請號：	201520223081.1	申請日：	2015-04-10
公開（公告）號：	CN204690100U	公開（公告）日：	2015-10-07
發明（設計）人：	姜姍姍;王恩通;薛金輝;王中慧;康艷珍	申請（專利權）人：	呂梁學院
主分類號：	C23C16/18	分類號：	C23C16/18;C23C16/46
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	033000 ***	國省代碼：	山西;14
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種金屬有機化學沉積設備
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【權利要求書】：

1.一種金屬有機化學氣相沉積設備，其特征在于，包括中心其他入口(1)、噴淋氣體入口(2)、側壁吹掃氣體入口(3)、石墨盤(4)、電阻片加熱器(5)、石英整流罩(6)、氣體出口(7)和加熱器反射板(8)，所述石墨盤(4)上方設置有由中心至邊緣分別設置有中心其他入口(1)、噴淋氣體入口(2)、側壁吹掃氣體入口(3)，石墨盤(4)下方設置有電阻片加熱器(5)，所述電阻片加熱器(5)下方設置有多個加熱器反射板(8)，所述石墨盤(4)和加熱器反射板(8)外側設置有石英整流罩(6)，石英整流罩(6)下方設置有氣體出口(7)。

2.根據權利要求1所述的一種金屬有機化學氣相沉積設備，其特征在于，所述的噴淋氣體入口(2)為間距15mm的環形氣體入口。

3.根據權利要求1所述的一種金屬有機化學氣相沉積設備，其特征在于，所述的電阻片加熱器(5)為環形片。

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