[實用新型]一種晶棒斷線施救方形分流氣管

有效

• 申請號: 201520216783.7
• 申請日: 2015-04-13
• 公開（公告）號: CN204546803U
• 公開（公告）日: 2015-08-12
• 發明（設計）人: 余小金;江春豐;郜勇軍
• 申請（專利權）人: 浙江矽盛電子有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B08B3/04
• 代理公司: 浙江翔隆專利事務所(普通合伙) 33206
• 代理人: 錢震

技術領域

本實用新型涉及一種晶棒斷線施救方形分流氣管。

背景技術

在晶棒經多線切割機切片的過程中會因為各種原因出現斷線的情況，當出現斷線情況時，傳統的施救方法是將切割機上的晶棒抬離線網，并用一個可以放入多線切割機加工倉內的容器放入線切割加工倉內，然后下降工作臺將晶棒放入容器內，再向容器內倒入清洗液直至倒入的清洗液滿過晶棒的已切割的位置，然后用兩根氣管向水中通入壓縮空氣使水翻滾來不斷沖洗晶片間的砂漿，因為壓縮空氣是由兩根氣管的氣管口直接排出進入清洗液中，使清洗液離氣管口越近的地方翻滾的越厲害，造成了清洗不均勻，清洗時間較長(4～5小時/次)，并且因局部清洗液翻滾的厲害還會造成破片的現象，在吹干晶片的時候還需要人工手持氣管慢慢移動來吹干晶片，該方法費時又費力。

發明內容

本實用新型的目的是提供能一種在晶棒進行切片加工時出現斷線的情況能快速的清洗晶片之間的砂漿的裝置。

為了達到該目的本實用新型采取的方案是：一種晶棒斷線施救方形分流氣管，包括氣管、三通和定形鋼筋，所述氣管上均勻分布了出氣孔，所述定形鋼筋放置在氣管內，所述氣管的兩端與三通連接，在定形鋼筋的定形作用下將氣管折成長方形，該長方形的大小以剛好可以放置在晶棒的下方為準，在切割晶棒出現斷線的情況時，將切割機上的晶棒抬離線網，并用一個可以放入多線切割機加工倉內的容器放入線切割加工倉內，在把該晶棒斷線施救方形分流氣管放置在容器內晶棒的下方，然后下降工作臺將晶棒放入容器內，再向容器內倒入清洗液直至倒入的清洗液滿過晶棒的已切割的位置，然后把壓縮空氣的氣管與該晶棒斷線施救方形分流氣管的三通連接，然后通入壓縮空氣。

本實用新型的有益效果是：該晶棒斷線施救方形分流氣管出氣口分布均勻，出氣口清洗液翻滾強度相對平衡，對晶棒的清洗比較均勻不易傷到晶片，減少破片現象；同時也很大的縮短了清洗晶片間砂漿的時間，提高了清洗效率；在吹干晶片時效果更好，不需要人工手持操作，就能吹干晶片上的水分，使兩兩相鄰的晶片不會因水分的原因而粘在一起；給后續線網的對入帶來很大的方便，避免因線網無法對入而放棄部分晶棒的浪費。

附圖說明

圖1是一種晶棒斷線施救方形分流氣管主視圖；

圖2是一種晶棒斷線施救方形分流氣管右視圖；

圖3是一種晶棒斷線施救方形分流氣管使用示意圖；

附圖標記說明:

圖中1為三通，2為氣管，3為定形鋼筋，4為出氣孔，5為晶棒斷線施救方形分流氣管，6為容器，7為晶棒。

具體實施方式

下面通過實施例，并結合附圖，對本實用新型的技術方案作進一步具體的說明。

參照圖1到圖3，該晶棒斷線施救方形分流氣管主要由氣管(2)、三通(1)和定形鋼筋(3)組成，氣管(2)上均勻分布了出氣孔(4)，定形鋼筋(3)放置在氣管(2)內，氣管(2)的兩端與三通(1)連接，在定形鋼筋(3)的定形作用下將氣管(2)折成長方形，該長方形的大小以剛好可以放置在晶棒的下方為準，在切割晶棒出現斷線的情況時，將切割機上的晶棒(7)抬離線網，并用一個可以放入多線切割機加工倉內的容器(6)放入線切割加工倉內，把該晶棒斷線施救方形分流氣管(5)放置在容器(6)內晶棒(7)下方，然后下降工作臺將晶棒(7)放入容器(6)內，再向容器(6)內倒入清洗液直至倒入的清洗液滿過晶棒的已切割的位置，然后把壓縮空氣的氣管與該晶棒斷線施救方形分流氣管(5)的三通(1)連接，然后通入壓縮空氣。

最后，應當指出，以上實施例僅是本實用新型較有代表性的例子。顯然，本實用新型不限于上述實施例，還可以有許多變形。凡是依據本實用新型的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均應認為屬于本實用新型的保護范圍。