[實用新型]一種過濾粉塵雜質(zhì)用過濾罐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520214034.0
• 申請日: 2015-04-10
• 公開（公告）號: CN204610201U
• 公開（公告）日: 2015-09-02
• 發(fā)明（設計）人: 周明月;劉嘉;于書瀚;趙帥;王林;鄭海峰;張新波
• 申請（專利權(quán)）人: 天津市環(huán)歐半導體材料技術(shù)有限公司
• 主分類號: F04B39/16
• 分類號: F04B39/16
• 代理公司: 天津中環(huán)專利商標代理有限公司 12105
• 代理人: 胡京生

技術(shù)領域

????本實用新型涉及一種雜質(zhì)過濾裝置，特別涉及一種過濾粉塵雜質(zhì)用過濾罐。

背景技術(shù)

隨著市場的發(fā)展，直拉法重摻雜單晶成為半導體市場上的主流產(chǎn)品，但是此規(guī)格單晶硅在生產(chǎn)過程中爐腔內(nèi)會產(chǎn)生大量氣體揮發(fā)物和固體粉末雜質(zhì)，導致真空泵在抽真空過程中將大量雜質(zhì)帶入泵體內(nèi)，造成泵體損壞，嚴重影響泵體使用壽命，增加了維修及拆洗頻次，大大影響生產(chǎn)效率進而提高了生產(chǎn)成本。而我們以往使用的濾網(wǎng)型過濾罐，罐中濾網(wǎng)的使用時效性不足以滿足一爐單晶的生產(chǎn)時間，致使到生產(chǎn)中后期，影響抽空速率和過濾效果，最終影響了產(chǎn)品的品質(zhì)。

發(fā)明內(nèi)容

????鑒于現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本實用新型通過在直拉爐和真空泵之間加裝過濾罐裝置，可有效過濾氣體揮發(fā)物及粉末雜質(zhì)，具體技術(shù)方案是一種過濾粉塵雜質(zhì)用過濾罐，包括罐體、罐蓋、升降把手、腳輪、進氣管、孔板、出氣管、排污管、旁通管、旁通閥、排污閥、把手旋轉(zhuǎn)連接裝置，其特征在于：罐體底端面固定數(shù)個腳輪，罐蓋通過升降把手與罐體連接在一起并可升起后通過把手旋轉(zhuǎn)連接裝置平移離開罐體，進氣管為直角彎管固定于罐體的側(cè)壁上部使其一端在罐體外、一端在罐體內(nèi)，在罐體內(nèi)一端管口處固定有孔板，在罐體的側(cè)壁上還固定有出氣管，進氣管與出氣管用旁通管連通，旁通管內(nèi)固定有旁通閥，罐體底端面固定有排污管，排污管內(nèi)固定有排污閥，罐體內(nèi)加注過濾油，孔板與過濾油液面距離為30~50mm。

本實用新型的有益效果是減少了由于雜質(zhì)導致的泵體磨損，延長了真空泵使用壽命，減少拆洗次數(shù)，降低人工勞動量，降低了生產(chǎn)成本。

附圖說明

??圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)正視圖。

??圖2是本實用新型的結(jié)構(gòu)俯視圖。?

具體實施方式

????如圖1、2所示，一種過濾粉塵雜質(zhì)用過濾罐，包括罐體1、罐蓋2、升降把手3、腳輪4、進氣管5、孔板6、出氣管7、排污管8、旁通管9、旁通閥10、排污閥11、把手旋轉(zhuǎn)連接裝置12，罐體1底端面固定三個腳輪4，罐蓋2通過升降把手3與罐體1連接在一起并可升起后通過把手旋轉(zhuǎn)連接裝置12平移離開罐體1，進氣管5與爐體連接，進氣管5為直角彎管焊接于罐體1的側(cè)壁上部使其一端在罐體1外、一端在罐體1內(nèi)，在罐體1內(nèi)一端管口處焊接有孔板6，以防止抽空氣體的氣流造成的過濾油飛濺，在罐體1的側(cè)壁上還焊接有出氣管7，進氣管5與出氣管7用旁通管9連通，可防止因濾油內(nèi)雜質(zhì)過多，而造成的油面升高超過孔板6、抽速下降，無法排出雜質(zhì)時減小對產(chǎn)品品質(zhì)的影響，旁通管9內(nèi)固定有旁通閥10，罐體1底端面焊接有排污管8，排污管8內(nèi)固定有排污11，方便過濾罐的放油清理；罐體1內(nèi)加注過濾油，孔板6與過濾油液面距離為30~50mm，可更有效的將氣體中的雜質(zhì)包裹在油中，過濾后的氣體可延罐體上方與真空泵連接口處抽入泵體內(nèi)，過濾油完全使用真空泵換下的泵油，廢物再利用，降低運行成本，提高泵油價值。

控制原理

過濾罐后級真空泵開始工作后，對過濾罐進行抽空，過濾罐內(nèi)部即成為負壓，過濾罐就會對前級進行抽空,隨著氣體的抽空，揮發(fā)物和固體粉末雜質(zhì)會隨氣體一起進入過濾罐，打入到過濾罐中的濾油內(nèi)。由于氣體極不容易溶于油，而粉塵顆粒可與油融合形成懸濁液，故通過此步驟后，則達到了揮發(fā)物與氣體的分離，實現(xiàn)了去除粉塵的目的。

當濾油內(nèi)粉塵沉積過多時，液位會上升，達到一定高度時，則會影響過濾罐前級的真空度，此時，便可以進行周期型保養(yǎng)，更換掉過濾罐中的廢棄濾油。