[實用新型]一種量測工具

有效

• 申請號: 201520210815.2
• 申請日: 2015-04-09
• 公開（公告）號: CN204666069U
• 公開（公告）日: 2015-09-23
• 發明（設計）人: 詹云
• 申請（專利權）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類號: G01B5/02
• 分類號: G01B5/02
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 吳俊

技術領域

本實用新型涉及半導體量測領域，尤其涉及一種量測工具。

背景技術

在半導體生產中，很多設備都需要精確量測高度，而因為機械單元齒輪、皮帶磨損等原因造成位置偏移，需要定期對高度進行檢查和調整，該周期一般為3到6個月。另外由于特殊制程的特殊要求，需要不同的高度，我們需要一邊測量高度，一邊進行調整。

然而，目前的量測方式是通過不同規格的塞規進行量測，這種情況下就需要多重規格的塞規，且量測精度不高，在高度的調整時，量測高度不準確導致參考性不強，需要調整次數較多。

實用新型內容

鑒于上述問題，本實用新型提供一種量測工具，其特征在于，包括

底板，具有一水平表面，且該底板之上設置有與所述水平表面垂直的固定桿；

第一直角三角形錐體，套設于所述固定桿上，以使得該第一直角三角形錐體能夠沿所述固定桿垂直于所述水平表面方向往復運動；

第二直角三角形椎體，設置在所述第一直角三角形錐體與所述底板之間，且該第二直角三角形錐體的斜面與第一直角三角形錐體的斜面貼合；

其中，所述第二直角三角形椎體平行于所述水平面進行運動，以驅動所述第一直角三角形椎體沿所述固定桿垂直于所述水平表面并遠離該水平表面方向運動。

上述的量測工具，其特征在于，所述量測工具還包括：

垂直擋板，固定設置在所述底板上，貼合所述第二直角三角形椎體；

拉桿，穿過所述垂直擋板固定在所述第二直角三角形椎體的一直角面上，來回推動所述拉桿并帶動所述第二直角三角形錐體平行于所述水平表面運動。

上述的量測工具，其特征在于，所述拉桿上設有刻度，根據該刻度獲取所述第二直角三角形錐體運動的距離，并利用第二直角三角形錐體的任一銳角的角度及所述距離計算出所述第一直角三角形錐體升降的高度值。

上述的量測工具，其特征在于，所述底板、所述第一直角三角形椎體、所述第二直角三角形椎體、所述垂直擋板和所述拉桿的材料均為硬質塑料。

上述的量測工具，其特征在于，所述第二直角三角形錐體的斜面與所述水平表面之間的夾角為α，且該α大于0度小于90度。

上述的量測工具，其特征在于，所述拉桿推進長度為L，則量測公式為：

H＝h+L*tanα

其中，量測的距離為H，所述量測工具固有高度為h。

上述的量測工具，其特征在于，所述夾角小于45°時，所述第二直角三角形椎體水平方向移動距離大于所述第一直角三角形椎體垂直方向移動的距離。

上述的量測工具，其特征在于，所述第一直角三角形錐體的側面圖形與所述第二直角三角形椎體的側面圖形為相似圖形。

綜上所述，本實用新型使用一種新的量測工具，能夠準確實時讀出高度，為高度調整提供直觀的位置參照，提高工作效率和質量。

附圖說明

參考所附附圖，以更加充分的描述本實用新型的實施例。然而，所附附圖僅用于說明和闡述，并不構成對本實用新型范圍的限制。

圖1是本實用新型結構俯視圖；

圖2是本實用新型結構正視圖；

圖3是本實用新型量測示意圖；

圖4是本實用新型結構示意圖。

具體實施方式

為了使本實用新型的技術方案及優點更加易于理解，下面結合附圖作進一步詳細說明。應當說明，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。

本實用新型的核心思想是：通過直角三角形的特殊性質，利用水平移動的距離算出高度，得到準確的高度值。

如圖1、圖2、圖3所示，本實用新型設計了一種量測工具，用來精確量測半導體設備的高度，該工具包括：

底板5，具有一水平表面，在該底板5上設置有若干與水平表面垂直的固定桿6；

第一直角三角形椎體1和第二直角三角形椎體2，第一直角三角椎體1的其中一直角面與底板5水平平面平行，并活動套設于在這些固定桿6上，以使得該第一直角三角形錐體能夠沿著固定桿垂直于水平表面方向往復運動，且該第一直角三角形椎體1的斜面與第二直角三角形椎體2的斜面貼合。該第二直角三角形錐體2分別有第一直角面和第二直角面，第二直角三角形錐體2的第一直角面貼合底板5的上表面放置；

垂直擋板4，該垂直擋板4固定在底板5上，而且第二直角三角形錐體2的第二直角面與該擋板4的表面貼合；

設有刻度的拉桿3，該拉桿3固定在第二直角三角形錐體2的第二直角面上并貫穿垂直擋板4，用來測量第二直角三角形椎體運動的距離。