[實用新型]指紋識別芯片的封裝結構有效
| 申請號: | 201520204869.8 | 申請日: | 2015-04-07 |
| 公開(公告)號: | CN204680659U | 公開(公告)日: | 2015-09-30 |
| 發明(設計)人: | 萬里兮;王曄曄;錢靜嫻;金凱;翟玲玲;黃小花;沈建樹 | 申請(專利權)人: | 華天科技(昆山)電子有限公司 |
| 主分類號: | H01L23/31 | 分類號: | H01L23/31;H01L23/488 |
| 代理公司: | 昆山四方專利事務所 32212 | 代理人: | 盛建德;段新穎 |
| 地址: | 215300 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 指紋識別 芯片 封裝 結構 | ||
1.一種指紋識別芯片的封裝結構,包括一芯片基底(100),所述芯片基底的正面(100a)為功能面,所述功能面具有感應區(101)、介質層(103)、預設切割道(104)和若干導電焊墊(102),若干所述導電焊墊嵌設于所述感應區周邊的介質層內,并與所述感應區通過內部金屬布線電性連接,且所述導電焊墊的正面部分暴露在所述介質層外;其特征在于:還包括第一絕緣層(6)、若干第一凹槽(2)、第二絕緣層(3)、金屬布線層(4)和保護層(5);
所述第一絕緣層形成于所述導電焊墊正面暴露的部分上,并延伸覆蓋住所述介質層的正面;
所述第一凹槽形成于所述芯片基底的背面(100b)并與所述導電焊墊位置相對,并自所述芯片基底的背面向正面延伸,使所述第一凹槽的底部暴露出所述導電焊墊背面正對的介質層;
所述第一凹槽的底部形成有第二凹槽(7),所述第二凹槽暴露出所述導電焊墊的背面,所述第二凹槽的底部形成有第三凹槽(8),所述第三凹槽暴露出所述第一絕緣層;所述金屬布線層形成于所述第一凹槽的側壁上,一端延伸至所述第二凹槽的底部,與所述導電焊墊電性連接,另一端延伸至所述芯片基底的背面上;
所述第二絕緣層形成于所述芯片基底與所述金屬布線層?之間;
所述保護層形成于所述金屬布線層上,并延伸至所述第三凹槽內,與所述第一絕緣層的背面相接。
2.根據權利要求1所述的指紋識別芯片的封裝結構,其特征在于:所述第一絕緣層與所述保護層的材質相同,所述第一絕緣層的材質為氧化硅、氮化硅、氮氧化硅或感光性高分子材料。
3.根據權利要求1所述的指紋識別芯片的封裝結構,其特征在于:所述第一絕緣層、所述保護層均與所述介質層的材質相同,所述介質層的材質為氧化硅、氮化硅、氮氧化硅。
4.根據權利要求2或3所述的指紋識別芯片的封裝結構,其特征在于:所述第一絕緣層的材質與所述第二絕緣層的材質相同。
5.根據權利要求1所述的指紋識別芯片的封裝結構,其特征在于:所述芯片基底背面形成有作為金屬布線層與外部件連接窗口的焊球。
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