[實用新型]干涉式光學檢測系統

有效

• 申請號: 201520204083.6
• 申請日: 2015-03-30
• 公開（公告）號: CN204679170U
• 公開（公告）日: 2015-09-30
• 發明（設計）人: 陳帥
• 申請（專利權）人: 陳帥
• 主分類號: G01J5/10
• 分類號: G01J5/10;G01J5/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種干涉式光學檢測系統，屬于紅外光學檢測領域。

背景技術

早在一個世紀之前，人們就已經對紅外進行探測，熱輻射探測器因用途廣泛而備受關注。紅外探測技術在軍事上起到了很重要的作用，一切軍事目標，如空中的飛機、導彈，海洋中的軍艦，陸地上部隊和裝甲車輛，都發射出大量的紅外輻射。利用紅外探測技術可以偵察、跟蹤和監視這些目標。上世紀50年代，紅外尋地對空導彈投入實戰。在70年代開始使用紅外預警衛星用以獲取軍事情報。隨后，熱成像夜視裝置開始大量出現在軍事設備上。在軍事上，紅外成像、紅外制導、紅外預警、紅外偵察等技術發揮著越來越重要的角色。在軍事上的迫切需求同時促進了能對目標物體進行成像的紅外系統的發展。隨著技術的發展和紅外探測器價格的不斷降低，紅外探測技術在民用領域也得到了廣泛的應用。如熱源探測、醫療檢測、海上搜救、汽車監控、電力監測等。

目前，光學讀出方式的研究僅有十幾年。研究展示了將雙材料微懸臂梁用作紅外探測器的可行性，但是目前的方法依然存在一系列的問題，比如系統結構過于復雜、檢測精度較低、穩定性和魯棒性較差等等。

實用新型內容

為了克服現有技術的不足，解決好現有技術的問題，彌補現有目前市場上現有產品的不足。

本實用新型提供了一種干涉式光學檢測系統，主要包括光源、第一光闌、第一透鏡、分光鏡、第二透鏡、第二光闌、電荷耦合器件和反射鏡，所述第一透鏡設置在光源的光線出射方向，分光鏡設置在第一透鏡后方，第二透鏡的法?線方向與第一透鏡的法線方向相互垂直，所述電荷耦合器件設置在第二透鏡的后側，所述反射鏡設置在分光鏡的后側。

優選的，上述第一光闌設置在光源和第一透鏡之間。

優選的，上述第二光闌設置在第二透鏡和電荷耦合器件之間。

優選的，上述系統還包括檢測器，設置在分光鏡與第二透鏡相對的另一側。

優選的，上述光源發出的光線經過第一透鏡后由分光鏡分成兩部分，一部分到達反射鏡，另一部分到達檢測器。

優選的，經過上述反射鏡和檢測器反射回來的光干涉后通過第二透鏡后到達電荷耦合器件。

本實用新型提供的干涉式光學檢測系統通過設置結構來對光線進行干涉，將被檢測面處放置焦平面陣列，來實現紅外圖像的探測，實現了微懸臂梁的旋轉大小與干涉條紋的分布有關，從而提高了精度。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖。

附圖標記：1-光源；2-第一光闌；3-第一透鏡；4-分光鏡；5-第二透鏡；6-第二光闌；7-電荷耦合器件；8-反射鏡；9-檢測器。

具體實施方式

為了便于本領域普通技術人員理解和實施本實用新型，下面結合附圖及具體實施方式對本實用新型作進一步的詳細描述。

本實用新型提供的干涉式光學檢測系統，主要包括光源1、第一光闌2、第一透鏡3、分光鏡4、第二透鏡5、第二光闌6、電荷耦合器件7和反射鏡8，所?述第一透鏡3設置在光源1的光線出射方向，分光鏡4設置在第一透鏡3后方，第二透鏡5的法線方向與第一透鏡3的法線方向相互垂直，所述電荷耦合器件7設置在第二透鏡5的后側，所述反射鏡8設置在分光鏡4的后側。

第一光闌2設置在光源1和第一透鏡3之間。第二光闌6設置在第二透鏡5和電荷耦合器件7之間。系統還包括檢測器9，設置在分光鏡4與第二透鏡5相對的另一側。光源1發出的光線經過第一透鏡3后由分光鏡4分成兩部分，一部分到達反射鏡8，另一部分到達檢測器9。經過反射鏡8和檢測器9反射回來的光干涉后通過第二透鏡5后到達電荷耦合器件7。

其工作原理是：微懸臂梁在吸收面吸收紅外輻射時，會產生形變。光源1發出的光經第一光闌2和第一透鏡3的作用變成平行光射出，照射在分光鏡4上，分光鏡4將這束光分為兩部分，一部分射向反射鏡8，另一部分垂直向下射向被檢測面的檢測器9。反射鏡8和檢測器9反射回來的光再次相遇時發生干涉，并且通過第二透鏡5成像在電荷耦合器件7上。在這個系統中，還可以將被檢測器9處放置焦平面陣列，來實現紅外圖像的探測。其微懸臂梁的旋轉大小與干涉條紋的分布有關。

本實用新型提供的干涉式光學檢測系統通過設置結構來對光線進行干涉，將被檢測面處放置焦平面陣列，來實現紅外圖像的探測，實現了微懸臂梁的旋轉大小與干涉條紋的分布有關，從而提高了精度。

以上所述之具體實施方式為本實用新型的較佳實施方式，并非以此限定本實用新型的具體實施范圍，本實用新型的范圍包括并不限于本具體實施方式，凡依照本實用新型之形狀、結構所作的等效變化均在本實用新型的保護范圍內。