[實用新型]一種玻璃光罩手動顯影夾具

有效

• 申請號: 201520196548.8
• 申請日: 2015-04-03
• 公開（公告）號: CN204479908U
• 公開（公告）日: 2015-07-15
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 廣州市仕元光電有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及玻璃光罩技術領域，尤其涉及一種玻璃光罩手動顯影夾具。

背景技術

玻璃光罩photomask，也稱鉻版，是指在玻璃基板材料上濺射一層金屬涂層然后覆蓋一層表面光阻最后通過曝光顯影蝕刻脫膜相關工序制作各種金屬圖形線路，以便用于感光膠涂層選擇性曝光的一種結構。

由于玻璃光罩在顯影工序中需要玻璃光罩的表面光阻與顯影液完全接觸，要求顯影液中不能有顆粒類雜質否則易造成玻璃光罩產生黑缺陷或者導致玻璃光罩圖形丟失。因此，現有技術中，手動顯影之前操作人員必須佩戴乳膠手套，并且嚴格清洗風干后方可通過夾住玻璃光罩的側邊進行顯影操作。

但是，乳膠手套在實際使用過程中極易出現清洗不干凈，導致對顯影液的污染，并且在使用過程中乳膠手套極易造成機械性破損，導致操作人員手部皮膚與顯影液直接接觸，對操作人員手部皮膚造成傷害，同時會導致顯影液的污染，導致玻璃光罩產生黑缺陷或者導致玻璃光罩圖形丟失。

發明內容

為此，本實用新型所要解決的技術問題是：提供一種玻璃光罩手動顯影夾具，以克服現有技術中玻璃光罩手動顯影所產生的不足。

本實用新型提供了一種玻璃光罩手動顯影夾具，包括：用于固定玻璃光罩的若干夾頭、用于調整若干夾頭之間間距的活動扳手、用于操作玻璃光罩手動顯影的手柄，所述夾頭與所述手柄之間通過若干支架實現連接，所述活動扳手與至少一個支架連接。

其中，所述夾具用于固定玻璃光罩的所述夾頭為兩個，分別為左夾頭和右夾頭，所述夾頭與所述手柄之間連接的所述支架也是兩個，分別為左支架和右支架，所述左夾頭通過所述左支架與所述手柄連接，所述右夾頭通過所述右支架與所述手柄連接，所述活動扳手與所述左支架連接。

進一步地，所述夾具還包括一個彈簧，所述彈簧安裝于所述活動扳手與所述手柄之間。

本實用新型所述一種玻璃光罩手動顯影夾具，通過操作顯影夾具的活動扳手實現夾頭對玻璃光罩的固定進而實現通過夾具輔助玻璃光罩手動顯影操作的功能。克服了背景技術中所述手工操作玻璃光罩顯影乳膠手套易污染顯影液造成玻璃光罩黑缺陷產生的弊端。又由于本實用新型所述夾具是通過手柄操作實現玻璃光罩的顯影工序，克服了背景技術中所述手工操作玻璃光罩顯影易造成操作人員手部皮膚與顯影液直接接觸的弊端。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例所述一種玻璃光罩手動顯影夾具結構示意圖。

具體實施方式

下面，結合附圖對本實用新型進行詳細描述。

如圖1所示，本實施例提供了一種玻璃光罩手動顯影夾具，該夾具包括：用于固定玻璃光罩的左夾頭1、用于固定玻璃光罩的右夾頭4、用于調整左夾頭1和右夾頭4間距的活動扳手3、用于操作玻璃光罩手動顯影的手柄6、用于連接左夾頭1和手柄6的左支架2和用于連接右夾頭4和手柄6的右支架5、以及安裝于活動扳手3與手柄6之間的彈簧7，通過彈簧7實現活動扳手3的調節，活動扳手3與左支架2直接連接，以實現通過活動扳手3調節左支架2向內旋轉，從而實現調節左夾頭1和右夾頭4間距的功能，最終實現左夾頭1和右夾頭4對玻璃光罩的固定。

本實施例所述夾具所使用加工材料為聚四氟乙烯，這種材料具有抗酸抗堿、抗各種有機溶劑的特點，幾乎不溶于所有的溶劑，且方便清洗清潔，可以很好的保證其潔凈度，防止對顯影液的污染。

本實施例所述夾具用于固定玻璃光罩的左夾頭1和右夾頭4根據玻璃光罩的厚度及固定要求設計成凹型結構，用于實現對玻璃光罩斷面的全接觸以及玻璃光罩正反兩側2mm版邊范圍的接觸從而實現對玻璃光罩的固定。

本實施例所述夾具首次在玻璃光罩行業結合玻璃光罩的特點設計加工而成，用于輔助操作人員對玻璃光罩的手動顯影。有效的防止了玻璃光罩手動顯影工序顯影液易被污染的弊端。

本實施例所述夾具由于可以直接通過操作手柄6進行玻璃光罩的顯影工序避免了操作人員手部皮膚易與顯影液直接接觸的弊端。

綜上所述，本實用新型所述一種玻璃光罩手動顯影夾具，通過設置左右夾頭、活動扳手、手柄、以及左右支架，實現了輔助玻璃光罩手動顯影的功能。克服了背景技術中所述手工操作玻璃光罩顯影乳膠手套易污染顯影液造成玻璃光罩黑缺陷產生的弊端。又由于本實用新型所述夾具是通過操作手柄實現玻璃光罩的顯影工序，克服了背景技術中所述手工操作玻璃光罩顯影易造成操作人員手部皮膚與顯影液直接接觸的弊端。

以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。