[實用新型]一種兩槽手動清洗機片盒掛件

有效

• 申請號: 201520191609.1
• 申請日: 2015-04-01
• 公開（公告）號: CN204564719U
• 公開（公告）日: 2015-08-19
• 發明（設計）人: 胡曉亮;趙文龍;高燁;崔小換
• 申請（專利權）人: 麥斯克電子材料有限公司
• 主分類號: B08B13/00
• 分類號: B08B13/00;H01L21/677
• 代理公司: 洛陽明律專利代理事務所 41118
• 代理人: 盧洪方

技術領域

本實用新型屬于單晶硅拋光片生產技術領域，主要涉及一種兩槽手動清洗機片盒掛件。

背景技術

單晶硅拋光片是IC行業的基礎材料，而清洗機是生產硅拋光片的必要設備。兩槽手動清洗機由于其低廉的價格和較好的性能優勢，目前在國內硅拋光片廠家的應用非常普遍，主要用作清洗去除硅片表面顆粒、沾污和有蠟拋光后硅片去蠟。兩槽清洗機是指此設備包含有兩個槽體，其中一個槽體是放化學液槽，用來去除硅片表面的顆粒、沾污和有蠟拋光后硅片去蠟；另一個槽體為純水快速噴淋和倒洗槽，用來去除硅片表面的化學液殘留。清洗時需要先將裝有硅片的片盒放入化學液槽并啟動化學清洗程序，等化學液清洗程序結束后，將裝有硅片的片盒再放入純水快速噴淋和倒洗槽，啟動快速噴淋和倒洗程序。而實現將裝有硅片的片盒在兩個槽體間移動的裝置為片盒掛件。

目前，國內主要以生產直徑為4英寸、5英寸和6英寸的單晶硅拋光片為主。兩槽手動清洗機生產廠會根據客戶所加工的產品尺寸不同分別配備適用于4英寸、5英寸、6英寸的不同寬度和大小的片盒掛件。這樣，在實際生產中便會出現生產線上會因加工不同直徑的硅片產品，而需要頻繁的更換不同的片盒掛件以實現對不同直徑產品的清洗工作的問題。另外，目前清洗機生產廠配備的片盒掛件，員工需要抓住觸發支撐橫軸手動搬運，操作很不方便。

實用新型內容

鑒于現有技術中存在的問題，本實用新型設計提出了一種新型的兩槽手動清洗機片盒掛件，目的是解決在生產不同直徑單晶硅拋光片產品時需頻繁更換片盒掛件的問題和搬運不方便的問題。

為實現上述發明目的，本實用新型采取的具體技術方案是：一種兩槽手動清洗機片盒掛件，由側擋板、觸發支撐橫軸，可移動擋板，固定橫梁構成；其中：側擋板的頂部設計有手柄，側擋板下部在兩塊側擋板之間的中間位置和靠近側擋板內側位置上焊有四根固定橫梁；固定橫梁上分別開有一個與4英寸硅片片盒寬度尺寸相同的4英寸硅片卡槽和一個與5英寸硅片片盒寬度尺寸相同的5英寸硅片卡槽；可移動擋板安裝在4英寸硅片卡槽、5英寸硅片卡槽內；觸發支撐橫軸相對應安裝在側擋板上端外部兩側。所述的一種兩槽手動清洗機片盒掛件，其中觸發支撐橫軸表面鍍有聚偏氟乙烯鍍層，以防止腐蝕、老化。所述的一種兩槽手動清洗機片盒掛件，其中側擋板、固定橫梁、可移動擋板均采用聚偏氟乙烯材料制做。

本實用新型所述的一種兩槽手動清洗機片盒掛件，所用組件數量少，加工工藝簡單，安裝操作方便，可靠性強，有效地解決了在實際生產中因加工不同尺寸、直徑的硅片而頻繁更換不同的尺寸規格的片盒掛件的問題，同時在側擋板上部增加手柄式設計，方便了現場搬運操作，提高了工作效率。

附圖說明

圖1為本實用新型片盒掛件結構示意圖；

圖2為本實用新型片盒掛件側視圖；

圖3為本實用新型片盒掛件中固定橫梁結構示意圖；

圖4為本實用新型固定橫梁上硅片卡槽示意圖。

圖中：1、側擋板；2、手柄；3、觸發支撐橫軸；4、可移動擋板；5、固定橫梁；6、4英寸硅片卡槽；7、5英寸硅片卡槽。

具體實施方式

下面結合附圖給出本實用新型的實施方式如下：

如圖1、圖2、圖3、圖4所示，本實用新型所述的一種兩槽手動清洗機片盒掛件，由側擋板1、手柄2、觸發支撐橫軸3、可移動擋板4、固定橫梁5、4英寸硅片卡槽6、5英寸硅片卡槽7構成；其中，為了方便現場員工搬運操做，在側擋板1的項部設計有手柄2，在側擋板1的下部，兩塊側擋板1之間的中間位置和靠近側擋板1內側位置上焊接有四根固定橫梁5，在固定橫梁5上分別開有一個與4英寸硅片片盒寬度尺寸相同的4英寸硅片卡槽6和一個與5英寸硅片片盒寬度尺寸相同的5英寸硅片卡槽7；可移動擋板4可安裝在4英寸硅片卡槽6、5英寸硅片卡槽7內；側擋板1、固定橫梁5、可移動擋板4均采用聚偏氟乙烯材料制做。觸發支撐橫軸3相對應的安裝在側擋板1上端的外部兩側上，起觸發程序開關和支撐片盒掛件的功能，觸發支撐橫軸3采用金屬材料制做，其表面鍍有聚偏氟乙烯鍍層。當清洗4英寸硅片或者清洗5英寸硅片時，只需將可移動擋板4安裝到4英寸硅片卡槽6內或者5英寸硅片卡槽7內即可，去掉可移動擋板4便可清洗6英寸硅片，不需要更換不同規格尺寸的片盒掛件。