[實用新型]一種抗干擾階梯平面角反射鏡激光干涉儀

有效

• 申請號: 201520184836.1
• 申請日: 2015-03-30
• 公開（公告）號: CN204439012U
• 公開（公告）日: 2015-07-01
• 發明（設計）人: 張白;韋海成;康學亮
• 申請（專利權）人: 北方民族大學
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02
• 代理公司: 四川力久律師事務所 51221
• 代理人: 林輝輪

1.一種抗干擾階梯平面角反射鏡激光干涉儀，包括激光源(1)、分光鏡(2)、固定階梯平面角反射鏡(3)、移動角反射鏡(4)、光電探測器組(5)，其特征在于：

所述激光源(1)包括n個平行激光束，其中n≥2，所述光電探測器組(5)包括n個光電探測器件；

所述固定階梯平面角反射鏡(3)包括成直角的兩個反射階梯面，每個所述反射階梯面包括n個成階梯形的反射平面，相鄰兩個反射平面的間距等于?其中k為自然數、λ為激光源(1)發出的激光波長，所述移動角反射鏡(4)包括成直角的兩個反射平面；

所述激光源(1)發出的每束激光經過所述分光鏡(2)反射后，分別射入對應一個反射平面，每個所述反射平面將每束激光反射到對應的所述光電探測器組(5)的各個光電探測器件；所述激光源(1)發出的每束激光經過所述分光鏡(2)透射后，分別入射到所述移動角反射鏡(4)后反射到對應的光電探測器組(5)的各個光電探測器件。

2.根據權利要求1所述的一種抗干擾階梯平面角反射鏡激光干涉儀，其特征在于，所述固定階梯平面角反射鏡(3)包括直角形反射鏡本體(31)以及n-1個反射薄片(32)組合而成，每個所述反射薄片(32)的厚度為其中k為自然數。

3.根據權利要求2所述的一種抗干擾階梯平面角反射鏡激光干涉儀，其特征在于，每個所述反射薄片(32)厚度均為。

4.根據權利要求3所述的一種抗干擾階梯平面角反射鏡激光干涉儀，其特征在于，所述反射鏡本體(31)以及反射薄片(32)為一體成型體。

5.根據權利要求1-4任一所述的一種抗干擾階梯平面角反射鏡激光干涉儀，其特征在于，所述激光源(1)的n個激光束等距分布，且相鄰兩個所述激光束的間距等于激光波長的整數倍。

6.根據權利要求5所述的一種抗干擾階梯平面角反射鏡激光干涉儀，其特征在于，相鄰兩個所述激光源(1)發出的激光束之間的間距均為100-10000倍的激光波長。