[實用新型]抗干擾階梯平面反射激光干涉儀

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520184605.0
• 申請日: 2015-03-30
• 公開（公告）號: CN204439011U
• 公開（公告）日: 2015-07-01
• 發(fā)明（設計）人: 張白;康學亮;毛建東
• 申請（專利權）人: 北方民族大學
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02
• 代理公司: 四川力久律師事務所 51221
• 代理人: 林輝輪

1.一種抗干擾階梯平面反射激光干涉儀，包括激光源(1)、分光鏡(2)、固定反射鏡(3)、移動反射鏡(4)、光電探測器組(5)，其特征在于，所述激光源(1)包括n個平行激光束，其中n≥2，所述光電探測器組(5)包括n個光電探測器件，所述固定反射鏡(3)的反射面為n個成階梯型的反射平面，相鄰兩個反射平面的間距等于λ/2n+kλ/2，其中k為自然數(shù)、λ為激光源(1)發(fā)出的激光波長；每個所述激光源(1)發(fā)出的激光經(jīng)過所述分光鏡(2)反射后，垂直射入對應一個反射平面，每個所述反射平面將對應激光束反射到對應的所述光電探測器組(5)的各個光電探測器件；所述激光源(1)發(fā)出的每束激光經(jīng)過所述分光鏡(2)透射后，分別垂直入射到所述移動反射鏡(4)后反射到對應的光電探測器組(5)的各個光電探測器件。

2.根據(jù)權利要求1所述的抗干擾階梯平面反射激光干涉儀，其特征在于，所述固定反射鏡(3)包括平面反射鏡本體(35)以及n-1個反射薄片(36)組合而成，每個所述反射薄片(36)的厚度為λ/2n+kλ/2，其中k為自然數(shù)。

3.根據(jù)權利要求2所述的抗干擾階梯平面反射激光干涉儀，其特征在于，每個所述反射薄片(36)厚度均為λ/2n。

4.根據(jù)權利要求3所述的抗干擾階梯平面反射激光干涉儀，其特征在于，所述反射鏡本體(35)以及n-1個厚度相同的反射薄片(36)為一體成型體。