[實用新型]一種單晶爐導流筒

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520183536.1
• 申請日: 2015-03-30
• 公開（公告）號: CN204550794U
• 公開（公告）日: 2015-08-12
• 發(fā)明（設計）人: 胡治軍
• 申請（專利權）人: 安徽中晶光技術股份有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型屬于單晶爐設備技術領域，尤其是涉及一種單晶爐導流筒。

背景技術

現(xiàn)有的單晶爐導流筒的結構通常為逐漸減小直徑的圓筒狀結構，起高溫氣體導流的作用，高溫氣體一般為氬氣流，在氬氣流動過程中，不斷的從晶體表面帶走熱量，因此，氬氣流對晶體表面的吹拂對于晶體中的徑向和縱向溫度分布有著重要的影響，而溫度梯度又對晶體中的雜質狀況，原生缺陷的形成以及電阻率和氧含量的徑向分布，有著密切的關系。但現(xiàn)有的這種結構，因為高溫氣體在導流筒中流動的速度快，流動阻力小，所以晶體生長過程中固液界面凹向固體的一側，如果凹陷過大，就會引起徑向含氧量、電阻率、原生缺陷的起伏過大，使晶體參數均勻性變差。一些單晶爐導流筒的開口處雖然設置擋板，但其結構設計不合理，擋板的折角位置為死角，容易引起高溫氣體的氣流回旋，這樣雖然增設了擋板，但是不能均勻的控制導流筒中氣體的流速，難以保證晶體質量。

發(fā)明內容

本實用新型要解決的問題是提供一種單晶爐導流筒，能夠均勻的控制導流筒中氣體的流速，并能夠為導流筒保溫，并且保溫箱為一體式結構，能夠重復利用。

為解決上述技術問題，本實用新型的技術方案是這樣實現(xiàn)的：一種單晶爐導流筒，包括由上而下開口逐漸縮小的筒體、以及筒體外側環(huán)繞固定的封閉式保溫箱、以及筒體內設置的數組開口調節(jié)裝置；所述開口調節(jié)裝置包括開口調節(jié)缸和調節(jié)板組；所述保溫箱中空的腔體內填充有保溫材料；所述調節(jié)板組包括上調節(jié)板和下調節(jié)板；所述下調節(jié)板下端轉動的連接在筒體開口的下端，其上端與上調節(jié)板的下端轉動連接；所述開口調節(jié)缸伸出桿前端鉸接在上調節(jié)板的上端。

進一步的，所述保溫箱橫截面呈梯形，其斜邊貼附于筒體外壁，保溫箱的外輪廓為圓柱形結構。

進一步的，所述保溫箱的外壁對稱的設有至少兩個吊耳。

進一步的，所述開口調節(jié)裝置沿筒體中心均布設置。

進一步的，所述開口調節(jié)缸為電動缸。

進一步的，所述上調節(jié)板和下調節(jié)板均為帶弧度的彎板，且上調節(jié)板與開口調節(jié)缸連接的一端設有鉸軸。

進一步的，所述保溫箱的各棱角均倒圓角。

本實用新型具有的優(yōu)點和積極效果是：

1）開口調節(jié)裝置的結構設計適應氣體流動特點，上調節(jié)板和下調節(jié)板各連接處均無死角，不會因氣流的突然轉向而形成旋流，能夠均勻的對氣流起到導向和流速調節(jié)作用。

2）保溫箱為整體式結構設計，能夠提高導流筒的保溫效果，同時對導流筒起防護作用，防止導流筒受外力沖擊損壞，并且，保溫箱可以整體拆卸，重復利用。

3）保溫箱外形為圓柱狀，其上設有吊耳，易于安裝和吊運。

4）開口調節(jié)缸為電動缸，有利于自動化控制，同時精確度高，可以實現(xiàn)定量調節(jié)。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖；

圖2是本實用新型中保溫箱的結構示意圖；

圖3是本實用新型中上調節(jié)板的結構示意圖。

圖中：1-筒體；2-保溫箱；3-開口調節(jié)缸；4-調節(jié)板組；5-保溫材料；6-上調節(jié)板；7-下調節(jié)板；8-吊耳；9-鉸軸；10-斜邊；11-圓角。

具體實施方式

需要說明的是，在不相沖突的情況下，本實用新型中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。

下面結合附圖對本實用新型的具體實施例做詳細說明。

一種單晶爐導流筒，如圖1所示，包括由上而下開口逐漸縮小筒體1、以及筒體1外側環(huán)繞固定的封閉式保溫箱2、以及筒體1內設置的數組開口調節(jié)裝置；所述開口調節(jié)裝置包括開口調節(jié)缸3和調節(jié)板組4；所述保溫箱2中空的腔體內填充有保溫材料5；所述調節(jié)板組4包括上調節(jié)板6和下調節(jié)板7；所述下調節(jié)板7下端轉動的連接在筒體1開口的下端，其上端與上調節(jié)板6的下端轉動連接；所述開口調節(jié)缸3伸出桿前端鉸接在上調節(jié)板6的上端。

其中，如圖1和圖2所示，所述保溫箱2橫截面呈梯形，其斜邊10貼附于筒體1外壁，保溫箱2的外輪廓為圓柱形結構，外形規(guī)則，易于整體結構的布局。

實際生產中，可以在所述保溫箱2的外壁對稱的設置至少兩個吊耳8，這樣，易于保溫箱2以及裝配好的整個導流筒的安裝和吊運。

其中，所述開口調節(jié)裝置沿筒體1中心均布設置，實現(xiàn)高溫氣流均勻的經過，氣流穩(wěn)定，能有效控制晶體固液界面結晶潛熱的揮發(fā)。

其中，所述開口調節(jié)缸3為電動缸。有利于自動化控制，同時控制精度高，可以實現(xiàn)定量調節(jié)。